CN216880798U - 一种淬硬性薄片清洗装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及淬硬性薄片加工领域，尤其是涉及一种淬硬性薄片清洗装置，包括：壳体，壳体内具有腔体；装载机构，装载机构容置于腔体内，装载机构包括：连接部，连接部用于连接薄片；驱动部，驱动部连接于连接部与壳体之间，并作用于连接部上，连接部受控于驱动部而形成有第一工位和第二工位；在第一工位下，薄片位于腔体外部而处于非清洗状态；在第二工位下，薄片位于腔体内部而处于清洗状态；以及清洗机构，清洗机构位于腔体内，清洗机构用于对位于第二工位上的薄片进行清洗并干燥。解决了现有技术中薄片清洗效果不佳的技术问题；达到提高薄片清洗效果的技术效果。

Description

一种淬硬性薄片清洗装置

技术领域

本申请涉及淬硬性薄片加工领域，尤其是涉及一种淬硬性薄片清洗装置。

背景技术

以半导体晶片为例的淬硬性薄片，其加工制作需要经过切片、倒角、研磨、抛光等工艺步骤。在经过研磨后，薄片上会留有清洗液及粉末等残留物质，如果不对残留物质清洗干净，将造成至少两个方面的问题：一是影响薄片的后续加工，造成薄片的划伤、碎片等质量问题；二是薄片上的污染物会通过片盒、固定夹等方式污染其他薄片。

现有技术中，薄片清洗方法分为两种：一是人工手动清洗；二是设备自动化清洗。在自动化清洗设备的使用过程中，薄片一般被固定在清洗盘上，再通过喷嘴喷洒清洗液进行清洁；在这种清洗过程中，存在至少两个问题：一是在清洗后没有后续处理，会造成薄片存在白斑、水印等表面缺陷，影响薄片质量。

因此，现有技术的技术问题在于：薄片清洗效果不佳。

实用新型内容

本申请提供一种淬硬性薄片清洗装置，解决了现有技术中薄片清洗效果不佳的技术问题；达到提高薄片清洗效果的技术效果。

本申请提供的一种淬硬性薄片清洗装置，采用如下的技术方案：

一种淬硬性薄片清洗装置，包括：壳体，所述壳体内具有腔体；装载机构，所述装载机构容置于所述腔体内，所述装载机构包括：连接部，所述连接部用于连接薄片；驱动部，所述驱动部连接于所述连接部与所述壳体之间，并作用于所述连接部上，所述驱动部驱动所述连接部使得所述连接部形成有第一工位和第二工位；在第一工位下，所述薄片位于所述腔体外部而处于非清洗状态；在第二工位下，所述薄片位于所述腔体内部而处于清洗状态；以及清洗机构，所述清洗机构位于所述腔体内，所述清洗机构用于对位于第二工位上的薄片进行清洗并干燥。

作为优选，所述连接部与所述壳体之间设置有导向组件，所述导向组件包括：导向杆，所述导向杆具有一组或多组，所述导向杆沿第一方向连接于所述连接部和所述壳体之间，通过所述导向杆使得所述连接部和连接于连接部上的薄片可在第一方向上移动。

作为优选，所述连接部包括：连接平台，所述连接平台与所述导向杆固定连接；吸盘，所述吸盘连接于所述连接平台上，所述吸盘用于吸附薄片。

作为优选，所述驱动部具体为气缸，所述气缸固定连接于所述壳体的底部和所述连接平台之间，并沿第一方向作用于所述连接平台上。

作为优选，所述连接部上连接有旋转组件，所述旋转组件包括：主轴，所述主轴穿设于所述连接部并与所述吸盘连接，所述主轴相对于所述连接部具有旋转自由度；第一电机，所述第一电机连接并作用于所述主轴上。

作为优选，所述清洗机构：喷洗组件，所述喷洗组件连接于所述壳体上，用于对连接于所述连接部上的薄片进行喷洗；吹气组件，所述吹气组件连接于所述壳体上，用于对连接于所述连接部上的薄片进行风干。

作为优选，所述喷洗组件包括：第一喷洗单元，所述第一喷洗单元包括：第一喷头，所述第一喷头朝向并作用于位于第二工位上的薄片的下表面；固定件，所述固定件连接于所述第一喷头和所述连接平台之间。

作为优选，所述喷洗组件还包括：第二喷洗单元，所述第二喷洗单元包括：第二喷头，所述第二喷头作用于位于第二工位上的薄片的上表面；转动件，所述转动件连接于所述第二喷头和所述壳体之间，通过所述转动件使得所述第二喷头旋转。

作为优选，所述吹气组件包括：吹气管，所述吹气管位于所述腔体内，并连接于所述壳体上；吹气孔，所述吹气孔开设于所述吹气管上，所述吹气管朝向所述位于第一工位上的薄片的下表面。

作为优选，所述清洗装置还包括防水机构，所述防水机构包括：伸缩罩体，所述伸缩罩体罩设于所述导向组件外，所述伸缩罩体的第一端固定连接于所述壳体，所述伸缩罩体的第二端固定连接于所述连接部的下方。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1、本申请所述薄片的清洗装备通过驱动部驱动薄片上升和下降形成两个工位，在清洗结束之后驱动薄片上升，减小薄片与清洗环境之间的接触，减小在薄片表面形成水印、白斑的可能，解决了现有技术中薄片清洗效果不佳的技术问题；达到提高薄片清洗效果的技术效果。

2、本申请所述薄片的清洗装置设置了吹气组件，对清洗之前薄片进行风干处理，吹去附在薄片表面上的水珠和细屑，提高薄片清洗效果。

3、本申请所述薄片的清洗装置设置了旋转组件，旋转组件驱动清洗之后的薄片旋转，从而起到对薄片甩干的作用，减少在薄片表面形成水印和白斑，进一步提高薄片的清洗效果。

4、本申请所述薄片的清洗装置对薄片清洗、甩干的一体化，有利于减少加工空间、提高加工效率。

附图说明

图1是本申请所述清洗装置的立体示意图；

图2是本申请所述清洗装置的爆炸图；

图3是本申请所述清洗装置的俯视图；

图4是图3的剖视图；

图5是本申请所述清洗装置的连接部示意图；

图6是本申请所述清洗装置的清洗机构示意图；

图7是本申请所述清洗装置的第二喷洗单元示意图；

图8是本申请所述清洗装置的吹气组件示意图。

附图标记说明：100、壳体；101、腔体；200、装载机构；201、连接部；2011、连接平台；2012、连接法兰；2013、环形安装板；2014、吸盘；202、驱动部；2021、气缸；203、导向组件；2031、导向杆；2032、导向座；204、旋转组件；2041、主轴；2042、第一电机；300、清洗机构；310、喷洗组件；311、第一喷洗单元；312、第二喷洗单元； 3121、第二喷头；3122、转轴；3123、第二电机；320、吹气组件；321、吹气管；322、吹气孔；400、防水机构；401、第一防水板；402、第二防水板；403、伸缩罩体。

具体实施方式

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本申请实施例提供了一种淬硬性薄片清洗装置，解决了现有技术中薄片清洗效果不佳的技术问题；达到提高薄片清洗效果的技术效果。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

一种淬硬性薄片清洗装置，用于薄片的清洗，包括壳体100、装载机构200、清洗机构300以及防水机构400。壳体100用于作为各个机构的安装基础，同时提供薄片清洗环境；装载机构200用于在清洗时固定薄片，同时用于驱动薄片进入或送出清洗环境；清洗机构300用于清洗薄片；防水机构400用于清洗机构300和装载机构200之间的隔离。

壳体100，如图1-3所示，壳体100提供薄片清洗环境。在一个实施例中，壳体100 为一矩形壳体100，用于作为装载机构200、清洗机构300以及防水机构400的安装基础，在壳体100内部具有一上下贯通的腔体101，薄片的清洗过程在腔体101内进行，腔体101的方向呈第一方向布置，即呈竖直方向布置。

装载机构200，如图2所示，装载机构200用于在清洗时固定薄片，同时用于驱动薄片进入或送出清洗环境。装载机构200包括连接部201、驱动部202、导向组件203 以及旋转组件204，连接部201用于连接薄片；驱动部202用于驱动连接部201及薄片移动；导向组件203用于对连接部201的移动方向进行导向；旋转组件204用于对薄片进行旋转甩干。在驱动部202的作用下，使得连接部201以及薄片定向移动而形成第一状态和第二状态，在第一状态下，连接部201及薄片位于腔体101外部，此时薄片处于非清洗状态；在第二状态下，连接部201及薄片位于腔体101内部，此时薄片处于清洗状态。

连接部201，如图4、5所示，连接部201用于连接薄片。连接部201位于腔体101 的内部，且连接部201相对于壳体100可活动，使得在驱动部202作用下连接部201 与薄片相对于壳体100发生移动。连接部201包括连接平台2011和吸盘2014，连接平台2011呈水平布置的圆盘状，连接平台2011位于腔体101的内部，具体的说，连接平台2011由环形安装板2013和连接法兰2012构成，连接法兰2012连接于环形安装板 2013中；其中，在第二状态下，连接平台2011以上的腔体101部分作为清洗腔体101，薄片的清洗过程在清洗腔体101内完成。吸盘2014位于连接法兰2012的上方，吸盘 2014通过主轴2041与连接法兰2012连接，使得吸盘2014相对于连接法兰2012可旋转；其中，在主轴2041上开设有气道，气道与外部连接负压件连通，通过负压件在气道中形成负压而将薄片吸附于吸盘2014上。

导向组件203，如图2所示，导向组件203用于对连接部201的移动方向进行导向。导向组件203包括导向杆2031，导向杆2031具有一组或多组，导向杆2031呈第一方向布置，在一个实施例中，导向杆2031的数量为两个，两个导向杆2031和驱动部202 以均匀分布于环形安装板2013的圆周上；每个导向杆2031的顶部与环形安装板2013 的底面固定连接，每个导向杆2031的底部则插设与固定连接于壳体100上的导向座 2032上，在驱动部202作用于连接平台2011上，在导向杆2031的导向作用下，使得连接平台2011在第一方向上移动，即竖直方向上升降。

驱动部202，如图2、4所示，驱动部202用于驱动连接部201及薄片移动。驱动部202连接于连接部201和壳体100之间，在一个实施例中，驱动部202采用气缸2021，气缸2021的布置方向呈第二方向，气缸2021的输出端固定连接于环形安装板2013上，另一端则固定连接于壳体100上；在气缸2021作用下，连接平台2011及薄片在第一方向发生移动，即实现竖直方向上的升降动作。具体的，在薄片清洗之前，气缸2021驱动下使得连接平台2011和吸盘2014的位置位于壳体100的顶部，换言之，连接平台 2011和吸盘2014位于腔体101之外，此时连接平台2011和吸盘2014位于第一工位上，吸附于吸盘2014上的薄片处于待清洗状态；气缸2021驱动连接平台2011和吸盘2014 下降，直至连接平台2011和吸盘2014下降至腔体101内部，此时连接平台2011和吸盘2014位于第二工位上，在清洗机构300的清洗作用下，吸附于吸盘2014上的薄片处于清洗状态。

旋转组件204，如图2、4所示，旋转组件204用于对薄片进行旋转甩干。旋转组件204容置于腔体101内部，且连接于连接法兰2012的下方，旋转组件204包括主轴 2041和第一电机2042，主轴2041呈第一方向布置，即竖直方向布置，且主轴2041穿设于连接法兰2012上，主轴2041的顶部与吸盘2014固定连接，且主轴2041通过轴承连接于连接法兰2012上；第一电机2042通过联轴器连接并作用于主轴2041上，使得主轴2041在第一电机2042驱动下，带动吸盘2014发生旋转，薄片被吸附于吸盘2014 上，从而实现薄片的甩干。

清洗机构300，如图6、7所示，清洗机构300用于清洗薄片。清洗机构300容置于腔体101内部，清洗机构300包括喷洗组件310和吹气组件320，喷洗组件310连接于壳体100上，用于对连接于连接部201上的薄片进行喷洗；吹气组件320连接于壳体100上，用于对连接于连接部201上的薄片进行风干。

喷洗组件310，喷洗组件310用于对薄片进行喷洗。喷洗组件310包括第一喷洗单元311和第二喷洗单元312，在薄片位于第二工位上时，第一喷洗单元311用于清洗薄片的下表面，第二喷洗单元312用于清洗薄片的上表面。

第一喷洗单元311，如图6所示，用于清洗薄片的下表面。薄片被吸附于吸盘2014上之后，第一喷洗单元311位于薄片的下方，第一喷洗单元311包括第一喷头和固定件，在一个实施例中，第一喷头采用点式喷头，第一喷头通过固定件固定连接于环形安装板 2013上，固定件可以采用支架等对第一喷头进行固定，使得第一喷洗单元311连同连接平台2011一起升降。

第二喷洗单元312，如图7所示，用于清洗薄片的上表面。第二喷洗单元312包括第二喷头3121和转动件，薄片被吸附于吸盘2014上之后，第二喷头3121位于薄片的下方，在一个实施例中，第二喷头3121采用雾化喷头，第二喷头3121通过转动件连接于壳体100上，具体的，转动件包括转轴3122和第二电机3123，转轴3122呈中空，且连接于第二喷头3121和第二电机3123之间，第二电机3123固定连接于壳体100的内壁上并作用于转轴3122上；当第二电机3123驱动转轴3122进行转动时，第二喷头 3121随之转动，从而实现第二喷头3121对薄片上表面进行雾化清洗。

点式喷头及雾化喷头通过接头被同时供给水、气，实现水气共喷。通过调节水、气大小，达到雾化效果，以减少清洗过程中对薄片的物理损伤。

吹气组件320，如图8所示，吹气组件320用于对薄片进行风干。吹气组件320位于腔体101内，吹气组件320包括吹气管321和吹气孔322，吹气管321呈中空且长直状，连接于壳体100的内壁顶部；吹气孔322具有多个，吹气孔322开设于吹气管321 上，其中，吹气孔322的开设方向朝向薄片的下表面。在薄片清洗之前，薄片位于第一工位上时，吹气管321连接外部的气源，通过吹气孔322向薄片的下表面喷气，从而将薄片上附着的水珠、细屑等吹去。

防水机构400，如图3所示，防水机构400用于清洗机构300和装载机构200之间的隔离。防水机构400包括伸缩罩体403、第一防水板401以及第二防水板402，第一防水板401和第二防水板402均位于腔体101内部；第一防水板401呈环形，连接平台 2011的环形安装板2013固定连接于第一防水板401的内圈并竖直向下延伸；第二防水板402呈环形，第二防水板402位于第一防水板401的正下方，且与壳体100的底部连接，在第一防水板401和第二防水板402之间形成防水空间；第二喷洗单元312的转轴3122位于第二防水板402和壳体100之间，导向组件203和旋转组件204位于防水空间内；其中，第二电机3123连接于壳体100的外部，且作用于转轴3122上。伸缩罩体 403位于防水空间的内部，伸缩罩体403具有良好的伸缩性能，伸缩罩体403罩设于导向组件203和旋转组件204的外部，伸缩罩体403的顶部连接于环形安装板2013上，伸缩罩体403的底部连接于壳体100的底部，在连接平台2011上下升降时，伸缩罩体 403随之伸缩。

工作原理/步骤：

在气缸2021的驱动下，连接平台2011上升到第一工位上，外部机械手送入薄片，吹气组件320向薄片喷气，将附着于薄片上的水珠和细屑吹去；薄片经过吹扫之后，机械手将薄片放置于吸盘2014上，薄片通过负压吸附于吸盘2014上，此时吸盘2014为腔体101外部，气缸2021驱动连接平台2011下降直至薄片进入到腔体101内部，第一喷洗单元311和第二喷气单元同时分别对薄片的下表面和上表面进行水气共喷，第一喷头向薄片的下表面喷水，第二喷头3121在第二电机3123的驱动下在薄片的上表面进行雾化清洗；喷洗结束之后，在第一电机2042驱动下，主轴2041和吸盘2014受到旋转驱动，薄片被带动旋转，将表面的液体甩干，经过甩干之后，气缸2021驱动连接平台 2011上升至第一工位，完成薄片清洗。

技术效果：

1、本申请所述薄片的清洗装备通过驱动部202驱动薄片上升和下降形成两个工位，在清洗结束之后驱动薄片上升，减小薄片与清洗环境之间的接触，减小在薄片表面形成水印、白斑的可能，解决了现有技术中薄片清洗效果不佳的技术问题；达到提高薄片清洗效果的技术效果。

2、本申请所述薄片的清洗装置设置了吹气组件320，对清洗之前薄片进行风干处理，吹去附在薄片表面上的水珠和细屑，提高薄片清洗效果。

3、本申请所述薄片的清洗装置设置了旋转组件204，旋转组件204驱动清洗之后的薄片旋转，从而起到对薄片甩干的作用，减少在薄片表面形成水印和白斑，进一步提高薄片的清洗效果。

4、本申请所述薄片的清洗装置对薄片清洗、甩干的一体化，有利于减少加工空间、提高加工效率。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体内具有腔体；

装载机构，所述装载机构容置于所述腔体内，所述装载机构包括：

连接部，所述连接部用于连接薄片；

驱动部，所述驱动部连接于所述连接部与所述壳体之间，并作用于所述连接部上，所述驱动部驱动所述连接部使得所述连接部形成有第一工位和第二工位；在第一工位下，所述薄片位于所述腔体外部而处于非清洗状态；在第二工位下，所述薄片位于所述腔体内部而处于清洗状态；以及

清洗机构，所述清洗机构位于所述腔体内，所述清洗机构用于对位于第二工位上的薄片进行清洗并干燥。

2.根据权利要求1所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述连接部与所述壳体之间设置有导向组件，所述导向组件包括：

导向杆，所述导向杆具有一组或多组，所述导向杆沿第一方向连接于所述连接部和所述壳体之间，通过所述导向杆使得所述连接部和连接于连接部上的薄片可在第一方向上移动。

3.根据权利要求2所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述连接部包括：

连接平台，所述连接平台与所述导向杆固定连接；

吸盘，所述吸盘连接于所述连接平台上，所述吸盘用于吸附薄片。

4.根据权利要求3所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述驱动部具体为气缸，所述气缸固定连接于所述壳体的底部和所述连接平台之间，并沿第一方向作用于所述连接平台上。

5.根据权利要求3所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述连接部上连接有旋转组件，所述旋转组件包括：

主轴，所述主轴穿设于所述连接部并与所述吸盘连接，所述主轴相对于所述连接部具有旋转自由度；

第一电机，所述第一电机连接并作用于所述主轴上。

6.根据权利要求3所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述清洗机构：

喷洗组件，所述喷洗组件连接于所述壳体上，用于对连接于所述连接部上的薄片进行喷洗；

吹气组件，所述吹气组件连接于所述壳体上，用于对连接于所述连接部上的薄片进行风干。

7.根据权利要求6所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述喷洗组件包括：

第一喷洗单元，所述第一喷洗单元包括：

第一喷头，所述第一喷头朝向并作用于位于第二工位上的薄片的下表面；

固定件，所述固定件连接于所述第一喷头和所述连接平台之间。

8.根据权利要求6所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述喷洗组件还包括：

第二喷洗单元，所述第二喷洗单元包括：

第二喷头，所述第二喷头作用于位于第二工位上的薄片的上表面；

转动件，所述转动件连接于所述第二喷头和所述壳体之间，通过所述转动件使得所述第二喷头旋转。

9.根据权利要求6所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述吹气组件包括：

吹气管，所述吹气管位于所述腔体内，并连接于所述壳体上；

吹气孔，所述吹气孔开设于所述吹气管上，所述吹气管朝向所述位于第一工位上的薄片的下表面。

10.根据权利要求2所述的一种淬硬性薄片清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括防水机构，所述防水机构包括：

伸缩罩体，所述伸缩罩体罩设于所述导向组件外，所述伸缩罩体的第一端固定连接于所述壳体，所述伸缩罩体的第二端固定连接于所述连接部的下方。

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