CN219716822U - 一种晶圆片甩干装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆片甩干装置，属于晶圆片加工技术领域。本实用新型包括机体，机体的内部固定安装有固定板，固定板上转动安装有固定管，固定管的上端固定连接有固定台，固定台的顶部固定安装有支撑块，支撑块的顶部固定安装有吸附台，吸附台内固定安装有橡胶圈，橡胶圈上开设有多组第一连接槽与第二连接槽，多组第二连接槽呈环形阵列设置在橡胶圈上，第一连接槽与第二连接槽连通，橡胶圈上开设有吸附孔，吸附孔与第二连接槽连通。本实用新型通过在橡胶圈上开设第一连接槽和第二连接槽，当真空设备抽真空时，可使吸附孔配合第一连接槽与第二连接槽对吸附台上的晶圆片吸附固定，从而使橡胶圈增加对晶圆片吸附性，提高对晶圆片的固定效果。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆片加工技术领域，具体是涉及一种晶圆片甩干装置。
背景技术
晶圆片是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。在晶圆片加工使用前，需对晶圆片进行研磨处理，包括粗磨和精磨，以使表面无划痕，研磨后通过纯水清洗，并甩干晶圆片表面纯水。晶圆片甩干过程为，将晶圆片放置于吸附台上，封盖罩罩设吸附台，吸附台带动晶圆片高速转动甩干表面纯水；然而在晶圆片高速转动过程中，虽然吸附台上的橡胶圈能摩擦吸附晶圆片，但仍存在晶圆片甩飞撞击封盖罩的情况，导致晶圆片损坏，因此我们需要提出一种晶圆片甩干装置。
发明内容
本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种晶圆片甩干装置。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种晶圆片甩干装置，包括机体，所述机体的内部固定安装有固定板，所述固定板上转动安装有固定管，所述固定管的上端固定连接有固定台，所述固定台的顶部固定安装有支撑块，所述支撑块的顶部固定安装有吸附台，所述吸附台内固定安装有橡胶圈，所述橡胶圈上开设有多组第一连接槽与第二连接槽，多组所述第二连接槽呈环形阵列设置在橡胶圈上，所述第一连接槽与第二连接槽连通，所述橡胶圈上开设有吸附孔，所述吸附孔与第二连接槽连通。
作为优选，所述固定板的底部固定安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴上固定安装有第一皮带轮，所述固定管的表面固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮通过皮带与第二皮带轮传动。
作为优选，所述固定管上开设有多组排液口，所述排液口与固定管内的空腔连通。
作为优选，所述机体的内部固定安装有定位架，所述支撑块设置在定位架内，所述机体的侧部连通有排水管。
作为优选，所述机体的顶部设置有封盖罩，所述封盖罩上固定安装有透明观察窗。
作为优选，所述封盖罩的内顶部固定安装有四组固定块，四组所述固定块呈两两对应设置在封盖罩的内顶部，所述固定块的侧部固定安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆活动安装在固定块上，所述螺纹杆上螺纹安装有安装板，所述安装板的底部固定安装有连接管，所述固定块上固定连接有限位杆，所述安装板滑动安装在限位杆上。
本实用新型具有的有益效果：本实用新型通过在橡胶圈上开设第一连接槽和第二连接槽，当真空设备抽真空时，可使吸附孔配合第一连接槽与第二连接槽对吸附台上的晶圆片吸附固定，从而使橡胶圈增加对晶圆片吸附性，提高对晶圆片的固定效果，防止晶圆片在高速转动甩干表面纯水时甩飞，导致晶圆片甩飞撞击封盖罩而损坏。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图；
图2是本实用新型机体的一种视角的结构示意图；
图3是本实用新型机体的另一种视角的结构示意图；
图4是图3中A部的放大图；
图5是本实用新型支撑块和吸附台的一种连接结构示意图；
图6是本实用新型吸附台的一种结构示意图；
图7是本实用新型封盖罩的一种结构示意图。
图中：1、机体；2、封盖罩；3、固定板；4、第一驱动电机；5、固定管；6、第一皮带轮；7、排液口；8、连接管；9、固定台；10、支撑块；11、吸附台；12、安装板；13、橡胶圈；14、第一连接槽；15、第二连接槽；16、吸附孔；17、排水管；18、定位架；19、第二皮带轮；20、透明观察窗；21、固定块；22、第二驱动电机；23、螺纹杆；24、限位杆。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
实施例：一种晶圆片甩干装置，如图1-图7所示，包括机体1，机体1的内部固定安装有固定板3，固定板3上转动安装有固定管5，固定管5的上端固定连接有固定台9，固定台9的顶部固定安装有支撑块10，支撑块10的顶部固定安装有吸附台11，吸附台11内固定安装有橡胶圈13，橡胶圈13上开设有多组第一连接槽14与第二连接槽15，多组第二连接槽15呈环形阵列设置在橡胶圈13上，第一连接槽14与第二连接槽15连通，橡胶圈13上开设有吸附孔16，吸附孔16与第二连接槽15连通。
通过吸附孔16的设置，通过真空设备抽真空，从而可使吸附孔16对第一连接槽14与第二连接槽15内抽真空，从而可使晶圆片吸附固定在橡胶圈13上。
固定板3的底部固定安装有第一驱动电机4，第一驱动电机4的输出轴上固定安装有第一皮带轮6，固定管5的表面固定连接有第二皮带轮19，第一皮带轮6通过皮带与第二皮带轮19传动。
固定管5上开设有多组排液口7，排液口7与固定管5内的空腔连通，机体1的内部固定安装有定位架18，支撑块10设置在定位架18内，机体1的侧部连通有排水管17。
通过排液口7的设置，对晶圆片上甩下的纯水可经过排液口7后，进入至固定管5内，通过进入至固定管5内的纯水可落在机体1的内底部后，可经过排水管17排出。
机体1的顶部设置有封盖罩2，封盖罩2上固定安装有透明观察窗20，封盖罩2的内顶部固定安装有四组固定块21，四组固定块21呈两两对应设置在封盖罩2的内顶部，固定块21的侧部固定安装有第二驱动电机22，第二驱动电机22的输出轴通过联轴器固定连接有螺纹杆23，螺纹杆23活动安装在固定块21上，螺纹杆23上螺纹安装有安装板12，安装板12的底部固定安装有连接管8，固定块21上固定连接有限位杆24，安装板12滑动安装在限位杆24上。
通过连接管8的设置，连接管8上连通有连通软管，连通软管与真空设备连接，通过第二驱动电机22的输出轴转动带动螺纹杆23进行转动，通过螺纹杆23在转动时，可带动安装板12进行移动，通过安装板12在移动时，可使连接管8靠近晶圆片，真空设备通过连通软管可向连接管8内输气，通过连接管8可将气体喷向晶圆片，从而可对晶圆片上的纯水进行清理，可提高对晶圆片上纯水清理的效率。
在具体使用的过程中，首先将晶圆片放置在吸附台11上，通过定位架18可对晶圆片的位置进行定位，从而可防止晶圆片的位置偏移，在将晶圆片放置在吸附台11上时，晶圆片的底部与橡胶圈13的顶部贴合，通过真空设备抽真空，从而可使吸附孔16对第一连接槽14与第二连接槽15内抽真空，从而可使晶圆片吸附固定在橡胶圈13上；
在将晶圆片放置在机体1内后，将封盖罩2关闭，然后第一驱动电机4进行工作，通过第一驱动电机4的输出轴转动带动第一皮带轮6进行转动，第一皮带轮6转动时通过皮带带动第二皮带轮19进行转动，第二皮带轮19转动时可带动固定管5转动，固定管5转动时可带动固定台9转动，固定台9转动带动吸附台11旋转，从而在吸附台11旋转时带动晶圆片在高速转动时甩干表面纯水；
在吸附台11旋转带动晶圆片高速转动甩干表面纯水时，第二驱动电机22进行工作，第二驱动电机22的输出轴转动带动螺纹杆23进行转动，通过螺纹杆23在转动时，可带动安装板12进行移动，通过安装板12在移动时，可使连接管8靠近晶圆片，真空设备通过连通软管可向连接管8内输气，通过连接管8可将气体喷向晶圆片，从而可对晶圆片上的纯水进行清理，可提高对晶圆片上纯水清理的效率。
最后，应当指出，以上实施例仅是本实用新型较有代表性的例子。显然，本实用新型不限于上述实施例，还可以有许多变形。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均应认为属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆片甩干装置，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的内部固定安装有固定板(3)，所述固定板(3)上转动安装有固定管(5)，所述固定管(5)的上端固定连接有固定台(9)，所述固定台(9)的顶部固定安装有支撑块(10)，所述支撑块(10)的顶部固定安装有吸附台(11)，所述吸附台(11)内固定安装有橡胶圈(13)，所述橡胶圈(13)上开设有多组第一连接槽(14)与第二连接槽(15)，多组所述第二连接槽(15)呈环形阵列设置在橡胶圈(13)上，所述第一连接槽(14)与第二连接槽(15)连通，所述橡胶圈(13)上开设有吸附孔(16)，所述吸附孔(16)与第二连接槽(15)连通。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片甩干装置，其特征在于，所述固定板(3)的底部固定安装有第一驱动电机(4)，所述第一驱动电机(4)的输出轴上固定安装有第一皮带轮(6)，所述固定管(5)的表面固定连接有第二皮带轮(19)，所述第一皮带轮(6)通过皮带与第二皮带轮(19)传动。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片甩干装置，其特征在于，所述固定管(5)上开设有多组排液口(7)，所述排液口(7)与固定管(5)内的空腔连通。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片甩干装置，其特征在于，所述机体(1)的内部固定安装有定位架(18)，所述支撑块(10)设置在定位架(18)内，所述机体(1)的侧部连通有排水管(17)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片甩干装置，其特征在于，所述机体(1)的顶部设置有封盖罩(2)，所述封盖罩(2)上固定安装有透明观察窗(20)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆片甩干装置，其特征在于，所述封盖罩(2)的内顶部固定安装有四组固定块(21)，四组所述固定块(21)呈两两对应设置在封盖罩(2)的内顶部，所述固定块(21)的侧部固定安装有第二驱动电机(22)，所述第二驱动电机(22)的输出轴通过联轴器固定连接有螺纹杆(23)，所述螺纹杆(23)活动安装在固定块(21)上，所述螺纹杆(23)上螺纹安装有安装板(12)，所述安装板(12)的底部固定安装有连接管(8)，所述固定块(21)上固定连接有限位杆(24)，所述安装板(12)滑动安装在限位杆(24)上。
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