CN209143197U - 载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备，载具定位组件包括定位件和解锁件；定位件包括固定段和卡爪段，固定段被设置为用于固定定位件，卡爪段包括一对弹性卡爪，弹性卡爪上设有扩张部和弹性部；扩张部被设置为用于与载具上的定位孔滑动配合，扩张部位于定位件面对载具的一侧；解锁件上设有与一对弹性卡爪的扩张部滑动配合的解锁孔。本实用新型的载具定位组件通过定位件的卡爪段和载具上的定位孔的配合，可将载具牢固可靠地定位在定位件上，并通过解锁件可将定位件上的载具方便地拆卸下来。

Description

载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备

技术领域

本实用新型涉及载具运输领域，更具体地，涉及一种载具定位组件、移载装置、传送装置和载具运输设备。

背景技术

载具可用于承载待加工的零部件或加工完成的零部件。例如，在半导体器件的制备过程中，常常需要通过载具承载未进行工艺的硅片或工艺完成的硅片，并由载具运输设备来将载具运输至相应的工位。上述载具可例如为硅片承载花篮等。

现有的载具运输设备主要包括导轨式机械手和AGV(Automated Guided Vehicle，自动导引运输车)，导轨式机械手或AGV可将载具在不同的工位之间来回运输。现有的载具运输设备通过夹爪夹持载具或通过平台放置载具的方式将载具定位在载具运输设备上，但是这些载具定位方式容易产生载具定位不牢固的问题，会导致载具在运输过程中的掉落或遗失。

因此，如何提供一种可牢固可靠的定位载具的载具定位组件成为本领域亟需解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种可牢固可靠的定位载具的载具定位组件的新技术方案。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种载具定位组件。

该载具定位组件包括定位件和解锁件；其中，

所述定位件包括固定段和卡爪段，所述固定段被设置为用于固定所述定位件，所述卡爪段包括一对弹性卡爪，所述弹性卡爪上设有扩张部和弹性部；

所述扩张部被设置为用于与载具上的定位孔滑动配合，所述扩张部位于所述定位件面对载具的一侧，所述弹性部被设置为在外力的作用下发生弹性形变，以使得一对所述弹性卡爪的所述扩张部相向或相背运动；

所述解锁件上设有与一对所述弹性卡爪上的所述扩张部滑动配合的解锁孔。

可选的，所述弹性卡爪上还设有定位槽；

所述定位槽位于所述扩张部和所述弹性部之间，所述定位槽被设置为用于与载具上的定位孔的内沿卡合。

可选的，所述载具定位组件还包括限位套；

所述限位套环绕在所述定位件外，且所述限位套的自由端与所述扩张部和所述弹性部的连接处相对齐，以限制载具在所述弹性卡爪上的移动行程。

可选的，所述载具定位组件还包括解锁件驱动单元；

所述解锁件驱动单元被设置为用于驱动所述解锁件朝向靠近或远离所述定位件的方向移动。

可选的，所述载具定位组件还包括弹性件；

所述弹性卡爪上设有弹性件安装部，所述弹性卡爪上设有弹性件安装部，所述弹性件安装部与所述扩张部和所述弹性部的连接处相对应，所述弹性件通过所述弹性件安装部安装在一对所述弹性卡爪之间。

根据本实用新型的第二方面，提供了一种移载装置。

该移载装置包括升降机构、平移机构和本实用新型的载具定位组件；其中，

所述定位件安装在所述升降机构上，所述升降机构安装在所述平移机构上，所述升降机构被设置为用于带动所述定位件朝向靠近或远离第一工位的方向移动，所述平移机构被设置为用于带动所述升降机构在第一工位和第二工位之间移动。

可选的，所述平移机构包括升降机构固定板、滑轨、滑台和滑台安装座，所述升降机构固定在所述升降机构固定板上，所述升降机构固定板与所述滑轨滑动配合，所述第二滑台安装在所述滑台安装座上，所述滑台被设置为用于驱动所述升降机构固定板沿着所述滑轨移动。

根据本实用新型的第三方面，提供了一种传送装置。

该传送装置包括传送机构和/或本实用新型的载具定位组件；其中，

所述定位件安装在所述传送机构上。

可选的，所述传送机构上设有支撑柱，所述支撑柱被设置为用于与载具上的支撑孔相配合。

根据本实用新型的第四方面，提供了一种载具运输设备。

该载具运输设备包括本实用新型的移载装置和本实用新型的传送装置。

本实用新型的载具定位组件通过定位件的卡爪段和载具上的定位孔的配合，可将载具牢固可靠地定位在定位件上，并通过解锁件可将定位件上的载具方便地拆卸下来。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本实用新型的实施例，并且连同其说明一起用于解释本实用新型的原理。

图1为本公开载具定位组件实施例的结构示意图。

图2为本公开移载装置实施例的结构示意图。

图3为本公开传送装置实施例的结构示意图。

图4为本公开载具运输设备实施例的结构示意图。

图中标示如下：

载具定位组件-1，定位件-11，固定段-111，卡爪段-112，扩张部-1121，弹性部-1122，定位槽-1123，弹性件安装部-1124，解锁件-12，解锁孔-120，限位套-13，解锁件驱动单元-14，弹性件-15，安装板-16，升降机构-2，平移机构-3，升降机构固定板-31，滑轨-32，滑台-33，滑台安装座-34，传送机构-4，载具-01，待料机端口-02。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

为了解决现有的载具定位方式的载具定位不牢固，导致载具在运输过程中的掉落或遗失的问题，本公开提供了一种载具定位组件。

如图1所示，本公开的载具定位组件1包括定位件11和解锁件12。

定位件11包括固定段111和卡爪段112。固定段111可用于固定定位件11。固定段111可通过螺栓连接或焊接等方式将定位件11固定至需求位置，例如，支架或传送带等。固定段111的形状可根据实际需求灵活选择，例如，柱状或块状等。卡爪段112包括一对弹性卡爪，弹性卡爪上设有扩张部1121和弹性部1122。通常，一对弹性卡爪可镜像对称设置。

扩张部1121可与载具01上的定位孔滑动配合，扩张部1121位于定位件11面对载具01的一侧。通常，扩张部1121的外形尺寸沿着远离其自由端的方向逐渐增大。具体实施时，扩张部1121的外表面可具有与定位件11的中心轴成锐角的斜面，一对弹性卡爪上的扩张部1121完全并拢时可组成锥形形状或截顶圆锥形状。弹性部1122可在外力的作用下发生弹性形变，以使得一对弹性卡爪上的扩张部1121相向或相背运动。

当载具01的定位孔与定位件11的扩张部1121相接触时，扩张部1121受到的源自载具01的力传递至弹性部1122。弹性部1122在该力的作用下发生弹性形变，使得一对弹性卡爪的扩张部1121相向运动，此时定位件11的端部的径向尺寸减小，载具01可沿着扩张部1121移动。随着载具01沿着扩张部1121的移动，弹性卡爪施加给载具01一定的作用力，使得载具01可通过定位孔锁固在扩张部1121上；或者，载具01的定位孔可穿过整个扩张部1121后移动至弹性部1122，在弹性部1122的弹力的作用下，载具01可通过定位孔锁固在弹性卡爪上。

解锁件12上设有与一对弹性卡爪的扩张部1121滑动配合的解锁孔120。解锁孔120通过与扩张部1121的滑动配合，可将载具01自定位件11上拆卸下来。具体地，当需要拆卸载具01时，驱动解锁件12朝向定位件11移动，使得解锁孔120与定位件11的扩张部1121相接触。随着解锁件12沿着扩张部1121移动，扩张部1121受到的源自解锁件12的力传递至弹性部1122，弹性部1122在解锁件12的作用力作用下发生弹性形变，使得一对弹性卡爪的扩张部1121相向运动，定位件11的端部的径向尺寸减小。当定位件11的端部的径向尺寸减小至小于载具01的定位孔的尺寸时，载具01由锁固状态转变成未锁固状态，即可自定位件11上拆卸下来。

解锁件12可安装在与定位件11相对的其它部件上，通过马达或电机等驱动单元驱动实现移动；或者，解锁件12可由使用者手持进行操作。

本公开的载具定位组件1通过定位件11的卡爪段112和载具01上的定位孔的配合，可将载具01牢固可靠地定位在定位件11上，并通过解锁件12可将定位件11上的载具方便地拆卸下来。

在本公开载具定位组件的一个实施例中，弹性卡爪上还设有定位槽1123。定位槽1123位于扩张部1121和弹性部1122之间，且定位槽1123可与载具01上的定位孔的内沿卡合。定位槽1123的设置有利于更牢固可靠地将载具01固定在定位件11上。在该实施例中，扩张部1121、定位槽1123和弹性部1122顺次排布。定位槽1123可与载具01的定位孔的内沿卡合，定位槽1123的深度可根据实际需求灵活设置。通常，一对弹性卡爪上的两个定位槽1123的底壁之间的距离小于一对弹性卡爪上的两个扩张部1121的外表面之间的最大距离，上述距离均是指沿着垂直于定位件11的中心轴的方向的距离。

在该实施例中，当需要将载具01固定至定位件11上时，载具01可越过扩张部1121移动至定位槽1123。此时扩张部1121受到来自载具01的力消失，弹性部1122的弹性形变恢复，一对弹性卡爪的扩张部1121和定位槽1123相背运动，载具01的定位孔的内沿与定位槽1123相卡合，从而使得载具01锁固在定位槽1123内。当需要拆卸载具01时，在解锁件12的作用下，一对弹性卡爪的扩张部1121相向运动，随着扩张部1121的最大处的径向尺寸减小至小于载具01的定位孔的尺寸，载具01可自由地在弹性卡爪上移动，从而自定位件11上拆卸下来。

在本公开载具定位组件的一个实施例中，载具定位组件1还包括限位套13。限位套13环绕在定位件11外，且限位套13的自由端与扩张部1121和弹性部1122的连接处相对齐，以限制载具01在弹性卡爪上的移动行程。当载具01在弹性卡爪上移动至与限位套13的端部相抵时，载具01便不能再在弹性卡爪上移动，从而可方便地确定载具01在弹性卡爪上的固定位置。具体实施时，限位套13可通过焊接或螺栓连接等方式安装在定位件11的固定段111上；或者，限位套13可安装在安装有定位件11的其它部件上。

当定位件11上未设有定位槽1123时，限位套13的自由端可与扩张部1121和弹性部1122的连接处相对齐。当定位件11上设有定位槽1123时，限位套13的端部可与定位槽1123邻近弹性部1122的侧壁相对齐。

在本公开载具定位组件的一个实施例中，载具定位组件1还包括解锁件驱动单元14。解锁件驱动单元14可驱动解锁件12朝向靠近或远离定位件11的方向移动。解锁驱动单元14可例如为气缸或马达等。通过解锁件驱动单元14驱动解锁件12朝向靠近或远离定位件11的方向移动，解锁件12上的解锁孔120可与弹性卡爪的扩张部1121相配合或离开弹性卡爪。

在本公开载具定位组件的一个实施例中，载具定位组件1还包括弹性件15。弹性卡爪上设有弹性件安装部1124，弹性件安装部1124与扩张部1121和弹性部1122的连接处相对应。弹性件15通过弹性件安装部1124安装在一对弹性卡爪之间。弹性件15可例如为压缩弹簧或弹臂等。弹性件安装部1124可例如为弹性卡爪上的槽或凸起。通过弹性件15提供给弹性卡爪的弹性力，可实现弹性卡爪相向或相背运动的缓冲，从而提高载具01装载或卸载的使用体验。

当定位件11上未设有定位槽1123时，弹性件安装部1124可与扩张部1121和弹性部1122的连接处相对应。当定位件11上设有定位槽1123时，弹性件安装部1124可与定位槽1123相对应。

在本公开载具定位组件的一个实施例中，载具定位机构1还包括安装板16，定位件11和限位套13均固定在安装板16上。安装板16的设置有利于更方便地安装布置载具定位机构1。安装板16可通过螺栓连接或卡接等方式可拆卸的安装在载具定位机构1所安装的其它部件上。定位件11和限位套13可通过焊接或一体成型等方式固定在安装板16上。

为了更清楚地说明本公开的载具定位组件，下面，以图1中示出的实施例对载具定位组件进行说明：

如图1所示，载具定位组件1包括定位件11、解锁件12、限位套13、解锁驱动单元14、弹性件15和安装板16。

定位件11包括固定段111和卡爪段112。卡爪段112包括一对弹性卡爪，一对弹性卡爪可镜像对称设置。弹性卡爪上设有扩张部1121、弹性部1122、定位槽1123和弹性件安装部1124，扩张部1121、定位槽1123和弹性部1122顺次排布，扩张部1121位于定位件11面对载具01的一侧。扩张部1121可与载具01上的定位孔滑动配合，且扩张部1121的外形尺寸沿着远离其自由端的方向逐渐增大。弹性部1122可在外力的作用下发生弹性形变，以使得一对弹性卡爪上的扩张部1121相向或相背运动。弹性件安装部1124为一对弹性卡爪相对的表面上设置的凹槽，并且弹性件安装部1124与定位槽1123相对应。弹性件15为压缩弹簧，其通过弹性件安装部1124安装在一对弹性卡爪之间。

限位套13环绕在定位件11外，且限位套13的端部与定位槽1123邻近弹性部1122的侧壁相对齐，以限制载具01在弹性卡爪上的移动行程。

定位件11的固定段111和限位套13均固定在安装板16上。

解锁件12上设有与一对弹性卡爪的扩张部1121滑动配合的解锁孔120。解锁孔120通过与扩张部1121的滑动配合，可将载具01自定位件11上拆卸下来。解锁件驱动单元14可驱动解锁件12朝向靠近或远离定位件11的方向移动。

在该实施例中，当需要将载具01装载至定位件11上时，载具01的定位孔与定位件11的扩张部1121相接触，扩张部1121受到的来自载具01的力传递至弹性部1122。弹性部1122在该力的作用下发生弹性形变，使得一对弹性卡爪的扩张部1121相向运动，此时定位件11的端部的径向尺寸减小，载具01可沿着扩张部1121朝向定位槽1123移动，同时，弹性件15在定位件11的作用下收缩。随着载具01越过扩张部1121移动至定位槽1123，扩张部1121受到来自载具01的力消失，弹性部1122的弹性形变恢复，同时弹性件15伸长，一对弹性卡爪的扩张部1121和定位槽1123相背运动，载具01的定位孔的内沿与定位槽1123相卡合，从而使得载具01锁固在定位槽1123内。

当需要拆卸载具01时，解锁件驱动单元14驱动解锁件12朝向定位件11移动，使得解锁孔120与定位件11的扩张部1121相接触。随着解锁件12沿着扩张部1121移动，扩张部1121受到的来自解锁件12的力传递至弹性部1122，弹性部1122在解锁件12的作用力作用下发生弹性形变，同时，弹性件15收缩，使得一对弹性卡爪的扩张部1121相向运动，定位件11的端部的径向尺寸减小。当定位件11的端部的径向尺寸减小至小于载具01的定位孔的尺寸时，载具01由锁固状态转变成未锁固状态，即可自定位件11上拆卸下来。

如图2所示，本公开还提供了一种移载装置。

该移载装置包括升降机构2、平移机构3和本公开的载具定位组件1。

定位件11安装在升降机构2上。具体实施时，定位件11可通过焊接或螺栓连接等方式安装在升降机构2上。解锁件12和解锁件驱动单元14可安装或放置在升降机构2上。升降机构2安装在平移机构3上，升降机构2可例如为电控平移台或气动滑台等。升降机构2可通过焊接或螺栓连接或连接支架连接等方式安装在平移机构3上。升降机构2可带动定位件11朝向靠近或远离第一工位的方向移动，定位件11上固定的载具随着升降机构2一起朝向靠近或远离第一工位的方向移动。平移机构3可带动升降机构2在第一工位和第二工位之间移动，从而带动升降机构2上的定位件11在第一工位和第二工位之间移动。

当载具01为硅片承载花篮时，第一工位可为待料机端口02，第二工位可为硅片承载花篮传送带。这样，本公开移载装置的升降机构2可带动载具定位组件1的定位件11朝向靠近或远离待料机端口02的方向移动，从而将硅片承载花篮移送至待料机端口02内或将待料机端口02内的硅片承载花篮移出。平移机构3可带动升降机构2在硅片承载花篮传送带和待料机端口02之间移动，从而将硅片承载花篮自硅片承载花篮传送带移送至待料机端口02或将硅片承载花篮自待料机端口02移送至硅片承载花篮传送带。

本公开移载装置的升降机构2和平移机构3可相对独立的运动，使得载具定位组件1的定位件11上固定的载具01可稳定可靠的在第一工位和第二工位之间移动。

在本公开移载装置的一个实施例中，为了保证平移机构3运动的稳定性和可靠性，平移机构3包括升降机构固定板31、滑轨32、滑台33和滑台安装座34。第二滑台33可例如为滚珠丝杠滑台、同步带滑台或齿条滑台。升降机构2固定在升降机构固定板31上，升降机构固定板31与滑轨32滑动配合，从而升降机构固定板31可在外力驱动下沿着滑轨32移动。滑台33安装在滑台安装座34上，滑台33可驱动升降机构固定板31沿着滑轨32移动。通过滑台33输出的动力，升降机构固定板31沿着滑轨32移动，带动升降机构2一起移动，安装在升降机构2上的定位件11以及定位件11上固定的载具01也随着升降机构固定板31沿着滑轨32移动。

如图3所示，本公开还提供了一种传送装置。

该传送装置包括传送机构4和本公开的载具定位组件1。定位件11安装在传送机构4上。具体实施时，定位件11可通过焊接或螺栓连接或卡接或连接支架连接等方式安装在传送机构4上。传送机构4可例如为传送带或传送平台等。

本公开传送装置的载具定位组件1可方便可靠的将载具01固定在传送机构4上。

在本公开传送装置的一个实施例中，传送机构4上设有支撑柱(图中未示出)。支撑柱可与载具01上的支撑孔相配合，使得载具01通过载具定位组件1的定位件51固定在传送机构4上的同时，还通过支撑柱支撑在传送机构4上，保证了载具01在传送机构4上传送的安全性。

如图4所示，本公开还提供了一种载具运输设备。

该载具运输设备包括本公开的移载装置和/或本公开的传送装置。本领域技术人员可根据实际需求将本公开的移载装置或本公开的传送装置与现有的移载装置或传送装置进行组合。

本公开载具运输设备的移载装置的升降机构2和平移机构3可相对独立的运动，使得载具定位组件1的定位件11上固定的载具01可稳定可靠的在传送装置和其它工位之间移动。本公开载具运输设备的传送装置的载具定位组件1可方便可靠的将载具01固定在传送机构4上。由此，载具01在移载装置和传送装置上的定位牢固可靠，载具01可在其它工位和传送机构4之间高效精确地运输。

当载具01为硅片承载花篮时，硅片承载花篮在待料机端口02和传送机构4之间移动。在此，本公开的载具运输设备可具有正向装载状态和逆向装载状态。

当载具运输设备处于正向装载状态时，需要将载具01自传送机构4移送至待料机端口02内。具体地，移载装置上的载具定位组件1的定位件11先承接在传送机构4上的定位件11所定位的载具01。接着平移机构3朝向远离传送机构4、靠近待料机端口02的方向移动，安装在平移机构3上的升降机构2以及安装在升降机构2上的定位件11与平移机构3同步移动。当平移机构3移动至载具01位于待料机端口02的上方时，平移机构3停止移动。此时，升降机构2带着定位件11朝向待料机端口02的方向移动，直至定位件11上的载具01被传送至待料机端口02内的相应位置后，载具01自定位件11上拆卸下来。随后定位件11可承接待料机端口02内的其它载具01或者空置，并通过升降机构2的移动离开待料机端口02。

当载具运输设备处于逆向装载状态时，需要将载具01自待料机端口02内移送至传送机构4。具体地，移载装置上的载具定位组件1的定位件11先承接待料机端口02内的载具01，并通过升降机构2的升降运动离开待料机端口02。移载装置的定位件11及其上固定的载具01离开待料机端口02后，平移机构3朝向远离待料机端口02、靠近传送机构4的方向移动，安装在平移机构3上的升降机构2以及安装在升降机构2上的定位件11与平移机构3同步移动。当平移机构3移动至传送机构4上的载具定位组件1的定位件11承接载具01时，平移机构3停止运动。接着平移机构3朝向远离载具01的方向移动。此时，传送机构4可根据需求将载具定位组件1的定位件11上固定的载具01传输至需求工位。

在正向装载状态和逆向装载状态中传送的载具01可承载盛放有未进工行工艺的新片的空片盒或承载盛放有已工艺片的片盒。

虽然已经通过例子对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。

Claims (10)

1.一种载具定位组件，其特征在于，包括定位件和解锁件；其中，

所述定位件包括固定段和卡爪段，所述固定段被设置为用于固定所述定位件，所述卡爪段包括一对弹性卡爪，所述弹性卡爪上设有扩张部和弹性部；

所述扩张部被设置为用于与载具上的定位孔滑动配合，所述扩张部位于所述定位件面对载具的一侧，所述弹性部被设置为在外力的作用下发生弹性形变，以使得一对所述弹性卡爪上的所述扩张部相向或相背运动；

所述解锁件上设有与一对所述弹性卡爪的所述扩张部滑动配合的解锁孔。

2.根据权利要求1所述的载具定位组件，其特征在于，所述弹性卡爪上还设有定位槽；

所述定位槽位于所述扩张部和所述弹性部之间，所述定位槽被设置为用于与载具上的定位孔的内沿卡合。

3.根据权利要求1或2所述的载具定位组件，其特征在于，所述载具定位组件还包括限位套；

所述限位套环绕在所述定位件外，且所述限位套的自由端与所述扩张部和所述弹性部的连接处相对齐，以限制载具在所述弹性卡爪上的移动行程。

4.根据权利要求1所述的载具定位组件，其特征在于，所述载具定位组件还包括解锁件驱动单元；

所述解锁件驱动单元被设置为用于驱动所述解锁件朝向靠近或远离所述定位件的方向移动。

5.根据权利要求1所述的载具定位组件，其特征在于，所述载具定位组件还包括弹性件；

所述弹性卡爪上设有弹性件安装部，所述弹性件安装部与所述扩张部和所述弹性部的连接处相对应，所述弹性件通过所述弹性件安装部安装在一对所述弹性卡爪之间。

6.一种移载装置，其特征在于，包括升降机构、平移机构和权利要求1至5中任一项中所述载具定位组件；其中，

所述定位件安装在所述升降机构上，所述升降机构安装在所述平移机构上，所述升降机构被设置为用于带动所述定位件朝向靠近或远离第一工位的方向移动，所述平移机构被设置为用于带动所述升降机构在第一工位和第二工位之间移动。

7.根据权利要求6所述的移载装置，其特征在于，所述平移机构包括升降机构固定板、滑轨、滑台和滑台安装座，所述升降机构固定在所述升降机构固定板上，所述升降机构固定板与所述滑轨滑动配合，所述滑台安装在所述滑台安装座上，所述滑台被设置为用于驱动所述升降机构固定板沿着所述滑轨移动。

8.一种传送装置，其特征在于，包括传送机构和权利要求1至5任一项中所述的载具定位组件；其中，

所述定位件安装在所述传送机构上。

9.根据权利要求8所述的传送装置，其特征在于，所述传送机构上设有支撑柱，所述支撑柱被设置为用于与载具上的支撑孔相配合。

10.一种载具运输设备，其特征在于，包括权利要求6或7中所述的移载装置和/或权利要求8或9中所述的传送装置。