CN209131420U - 一种带有集成风冷系统的扩散炉 - Google Patents
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Abstract
一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，箱体内部设有加热炉，加热炉置于箱体一端。加热炉连接风冷腔。箱体内设有导轨，导轨一端置于加热炉内，导轨另一端置于风冷腔内。导轨上设有滑动块，滑动块上设有接舟装置。风冷腔内设有风机和气冷管，风机连接驱动机构，气冷管连接气源，驱动机构和气源置于箱体内。本实用新型的有益效果是：结构简单、操作方便，通过在扩散炉体内设置风冷区，使其与扩散炉合理的结合为一个整体，集成度高，占地面积小，缩短了风冷区与加热炉的距离。通过导轨联通加热炉与风冷系统，接舟装置通过导轨移动，缩短了出炉样片移动到风冷区的距离，加快了样片温度的降低速度。
Description
技术领域
本实用新型属于机械结构技术领域，尤其是涉及一种带有集成风冷系统的扩散炉。
背景技术
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
现有的扩散炉大体分为垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，有利于机械手传送硅片。水平扩散炉是石英舟平行于水平面，可设置多个工艺炉管，平均炉管的占地面积小，片间的工艺参数好。
现有的扩散炉大多为独立的炉体结构，样片经退火处理或热氧化处理出炉后，需操作人员手动将载有已处理样片的石英舟拉出。拉出后，需要将样片运到风冷区进行降温处理。操作人员手动移动样片速度慢，影响样片降温速率，导致测试样片数据偏差大。且操作人员手动操作容易造成烫伤，快速移动石英舟过程中，容易拿不稳，石英舟脱落导致摔裂，造成划伤事件。为了加快样片温度的降低速度，需要单独设置风冷区，单独设置的风冷区距离炉管口较远，操作距离长，影响样片退火快速降温工艺要求，且单独设置的风冷区，设备结构复杂，占地面积大，生产成本高，应用范围小，不适合推广应用。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种扩散炉；尤其是结构简单，样片周转速度快，具有风冷单元，集成度高且生产成本低的一种带有集成风冷系统的扩散炉。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，所述箱体为长方体，所述箱体内部设有加热炉，所述加热炉置于所述箱体一端，所述加热炉连接风冷系统，所述风冷系统包括风冷腔，所述风冷腔与所述加热炉联通，所述箱体内设有导轨，所述导轨一端置于所述加热炉内，所述导轨另一端置于所述风冷腔内，所述导轨上设有滑动块，所述滑动块上设有接舟装置，所述接舟装置与所述导轨配合滑动，所述风冷腔内设有风机和气冷管，所述风机为多个，所述风机依次置于所述风冷腔内，所述风机连接驱动机构，所述气冷管置于所述风冷腔内，所述气冷管为多个，所述气冷管与所述导轨平行分布，所述气冷管上设有透孔，所述气冷管连接气源，所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。
进一步的，所述加热炉水平置于所述箱体内，所述加热炉为多个，所述加热炉由上到下依次平行分布。
进一步的，所述风冷腔为多个，所述风冷腔水平置于所述箱体内，所述风冷腔由上到下依次平行分布。
进一步的，所述加热炉内部设有加热管，所述加热管外表面设有加热丝，所述加热丝外表面设有保温棉，所述保温棉外表面设有金属防护壳。
进一步的，所述加热丝呈螺旋状缠绕在所述加热管外表面。
进一步的，所述接舟装置呈长方形盒状，所述接舟装置底部设有接舟支架，所述接舟支架底面连接滑动块上表面，所述接舟装置侧面设有推手。
进一步的，所述接舟装置包括托舟底板和托舟侧板，所述托舟底板为长方形板，所述托舟侧板包括长度侧板和宽度侧板，所述长度侧板置于所述托舟底板长度方向的两侧，所述托舟底板与所述长度侧板程钝角设置，所述宽度侧板置于所述托舟底板宽度方向的两侧，所述宽度侧板为梯形板。
进一步的，所述导轨两侧面设有凹槽，所述导轨截面呈“工”字形，所述滑动块上表面设有卡槽，所述卡槽的截面呈“凸”字形，所述导轨下表面嵌入所述卡槽内，所述滑动块为多个。
进一步的，所述风机通过风机变频器连接所述驱动机构。
进一步的，所述驱动机构为动力电机。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
1、本实用新型结构简单、操作方便，通过在扩散炉体内设置风冷区，使其与扩散炉合理的结合为一个整体，集成度高，占地面积小，缩短了风冷区与加热炉的距离。通过导轨联通加热炉与风冷系统，接舟装置通过导轨移动，缩短了出炉样片移动到风冷区的距离，加快了样片温度的降低速度。
2、本实用新型通过导轨移动接舟装置，运行时可以在导轨上用手轻推，即可使其快速滑动。接舟装置呈敞口状，可有效提高样片的放置空间，放置样片挤压，载有样片的接舟装置通过导轨可快速移动到风冷区。移动距离短，实现了样片快速降温的工艺要求，操作更加安全，杜绝了生产安全隐患，生产效率高，生产成本低。
3、本实用新型设有多个加热炉和与之数量对应的风冷区，风冷区内设有风机，风机通过风机变频器连接驱动机构，可根据样片的处理要求，设置风机，满足不同样片的指标要求，应用范围广。
附图说明
图1是本实用新型实施例的整体结构示意图
图2是本实用新型实施例的加热管的主视图
图3是本实用新型实施例的加热管的侧视图
图4是本实用新型实施例的接舟装置与导轨配合图
图中：
1、箱体 2、加热炉 3、风冷腔
4、导轨 5、风机 6、接舟装置
7、气冷管 8、驱动机构 9、气源
10、推手 11、宽度侧板 12、托舟底板
13、长度侧板 14、接舟支架 15、滑动块
16、加热管 17、保温棉 18、加热丝
19、金属防护壳
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型实施例做进一步描述：
如图1所示，一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体1，箱体1为长方体。箱体1内部设有加热炉2，加热炉2置于箱体1一端。加热炉2连接风冷系统，风冷系统包括风冷腔3，风冷腔3与加热炉2联通。箱体1内设有导轨4，导轨4一端置于加热炉2内，导轨4另一端置于风冷腔3内。导轨4上设有滑动块15，滑动块15上设有接舟装置6，接舟装置6与导轨4配合滑动。风冷腔3内设有风机5和气冷管7，风机5为多个，风机5依次置于风冷腔3内，风机5通过风机变频器连接驱动机构8。驱动机构8为动力电机。
气冷管7置于风冷腔3内，气冷管7为多个，气冷管7与导轨4平行分布，气冷管7上设有透孔，气冷管7连接气源9，驱动机构8和气源9置于箱体1内。
加热炉2水平置于箱体1内，加热炉2为多个，加热炉2由上到下依次平行分布。风冷腔3为多个，风冷腔3水平置于箱体1内，风冷腔3由上到下依次平行分布。加热炉2的数量与风冷腔3的数量相同。
如图2、图3所示，加热炉2内部设有加热管16，加热管16外表面设有加热丝18，加热丝18呈螺旋状缠绕在加热管16外表面。加热丝18外表面设有保温棉17，保温棉17外表面设有金属防护壳19。
如图4所示，接舟装置6呈长方形盒状，接舟装置6包括托舟底板12和托舟侧板。托舟底板12为长方形板，托舟侧板包括长度侧板13和宽度侧板11，长度侧板13置于托舟底板12长度方向的两侧，托舟底板12与长度侧板13程钝角设置。宽度侧板11置于托舟底板12宽度方向的两侧，宽度侧板11为梯形板。接舟装置6底部设有接舟支架14，接舟支架14底面连接滑动块15上表面，接舟装置6侧面设有推手10。
导轨4两侧面设有凹槽，导轨4截面呈“工”字形，滑动块15上表面设有卡槽，卡槽的截面呈“凸”字形，导轨4下表面嵌入卡槽内，滑动块15为多个。
本实用新型实施例的工作原理是：
将样片放到接舟装置6上，接舟装置6沿导轨4移动到加热炉2内，加热管16工作，对样片进行加热处理。样片通过加热炉2加热处理之后，接舟装置6通过导轨4移动到风冷腔3内。打开风机5，根据需求调节风机5频率，风机5在驱动机构8的作用下运动，实现对样片的快速降温处理。同时打开气源9，气源9将冷气吹到气冷管7内，气冷管7上设有透孔，冷气可沿透孔释放，起到降温的作用。通过导轨4可快速将样片移动到风冷腔3，在风机5及气冷管7的双重作用下，可加快样片降温，提高样片的精度，测试样片数据偏差小。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
1、本实用新型结构简单、操作方便，通过在扩散炉体内设置风冷区，使其与扩散炉合理的结合为一个整体，集成度高，占地面积小，缩短了风冷区与加热炉的距离。通过导轨联通加热炉与风冷系统，接舟装置通过导轨移动，缩短了出炉样片移动到风冷区的距离，加快了样片温度的降低速度。
2、本实用新型通过导轨移动接舟装置，运行时可以在导轨上用手轻推，即可使其快速滑动。接舟装置呈敞口状，可有效提高样片的放置空间，放置样片挤压，载有样片的接舟装置通过导轨可快速移动到风冷区。移动距离短，实现了样片快速降温的工艺要求，操作更加安全，杜绝了生产安全隐患，生产效率高，生产成本低。
3、本实用新型设有多个加热炉和与之数量对应的风冷区，风冷区内设有风机，风机通过风机变频器连接驱动机构，可根据样片的处理要求，设置风机，满足不同样片的指标要求，应用范围广。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种带有集成风冷系统的扩散炉，包括箱体，其特征在于：所述箱体为长方体，所述箱体内部设有加热炉，所述加热炉置于所述箱体一端，所述加热炉连接风冷系统，所述风冷系统包括风冷腔，所述风冷腔与所述加热炉联通，所述箱体内设有导轨，所述导轨一端置于所述加热炉内，所述导轨另一端置于所述风冷腔内，所述导轨上设有滑动块，所述滑动块上设有接舟装置，所述接舟装置与所述导轨配合滑动，所述风冷腔内设有风机和气冷管，所述风机为多个，所述风机依次置于所述风冷腔内，所述风机连接驱动机构，所述气冷管置于所述风冷腔内，所述气冷管为多个，所述气冷管与所述导轨平行分布，所述气冷管上设有透孔，所述气冷管连接气源，所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。
2.根据权利要求1所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述加热炉水平置于所述箱体内，所述加热炉为多个，所述加热炉由上到下依次平行分布。
3.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述风冷腔为多个，所述风冷腔水平置于所述箱体内，所述风冷腔由上到下依次平行分布。
4.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述加热炉内部设有加热管，所述加热管外表面设有加热丝，所述加热丝外表面设有保温棉，所述保温棉外表面设有金属防护壳。
5.根据权利要求4所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述加热丝呈螺旋状缠绕在所述加热管外表面。
6.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述接舟装置呈长方形盒状，所述接舟装置底部设有接舟支架，所述接舟支架底面连接滑动块上表面，所述接舟装置侧面设有推手。
7.根据权利要求6所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述接舟装置包括托舟底板和托舟侧板，所述托舟底板为长方形板，所述托舟侧板包括长度侧板和宽度侧板，所述长度侧板置于所述托舟底板长度方向的两侧，所述托舟底板与所述长度侧板程钝角设置，所述宽度侧板置于所述托舟底板宽度方向的两侧，所述宽度侧板为梯形板。
8.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述导轨两侧面设有凹槽，所述导轨截面呈“工”字形，所述滑动块上表面设有卡槽，所述卡槽的截面呈“凸”字形，所述导轨下表面嵌入所述卡槽内，所述滑动块为多个。
9.根据权利要求1所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述风机通过风机变频器连接所述驱动机构。
10.根据权利要求1或9所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉，其特征在于：所述驱动机构为动力电机。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821875453.9U CN209131420U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 一种带有集成风冷系统的扩散炉 |
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Publications (1)
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| CN209131420U true CN209131420U (zh) | 2019-07-19 |
Family
ID=67245160
Family Applications (1)
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| CN201821875453.9U Active CN209131420U (zh) | 2018-11-14 | 2018-11-14 | 一种带有集成风冷系统的扩散炉 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN209131420U (zh) |
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