CN209093783U - 一种薄膜旋涂系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口；用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。本申请提供的薄膜旋涂系统能精确控制进料溶液的输出流量，获得厚度均一的薄膜，从而较佳地满足薄膜制备的要求。

Description

一种薄膜旋涂系统

技术领域

本申请涉及旋涂领域，具体涉及一种薄膜旋涂系统。

背景技术

薄膜是发展信息技术、生物技术、能源技术等领域和国防建设等各种器件的重要表面材料，其具有厚度薄、质量小等优点。目前，制备薄膜通常采用旋涂法进行制备。而在利用旋涂法制备薄膜的过程中不可避免地用到旋涂仪。

一个典型的旋涂过程主要包括：进料、高速旋转和干燥(溶剂挥发)三个步骤。首先，进料是将旋涂溶液滴注到放置在旋涂仪表面基片的中心位置上。同时开启旋涂仪，利用旋涂仪在高速旋转过程中的离心力将滴到基片表面的溶液铺展开来，以形成较为均匀的薄膜。最后通过干燥除去剩余的溶剂，可得到稳定的薄膜。

由于薄膜特定的参数(结构、厚度、面积等)影响到器件的性能。因此在实际制备薄膜的过程中，需要改变初始工况，如：进料溶液的浓度、进料溶液量、进料时间等实验条件，进行多次实验来获取薄膜，再将制备的薄膜器件的性能进行对比，从而确定效果最佳的薄膜材料。而薄膜的均匀性直接影响到各种器件的稳定性和可靠性。所以，在每次制备时，都需要获得厚度均一的薄膜。

然而现有技术中，利用旋涂法在制备薄膜的过程中一般采用人工手段进行进料。利用人工手段进行进料往往无法控制进料速度，若进料速度过快，将导致在滴注进料溶液时产生的冲击力过大，导致薄膜中心与薄膜四周的厚度不均匀，影响了薄膜表面的平整性。因此采用人工手段进料，无法获得厚度均一的薄膜，不能满足使用要求。

因此，有必要提供一种新的薄膜旋涂系统，获得厚度均一的薄膜。

实用新型内容

为实现上述目的，本申请提供了如下的技术方案：

一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口，用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。

作为一种优选的实施方式，还包括中央控制器，所述中央控制器与所述推射机构、供液机构中的至少一个电性连接，用于控制所述推射机构、供液机构的工作状态。

作为一种优选的实施方式，所述枪头包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述注射腔的横截面积大于所述注射端的横截面积，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端的中心线与水平面相垂直。

作为一种优选的实施方式，所述注射模块具有相对的顶面、底面以及位于所述顶面和底面之间的侧面，所述枪头的注射端位于所述注射模块的底面，所述注射模块的侧面设置有开口；

所述供液机构包括蠕动泵，所述开口与所述蠕动泵通过软管相连通。

一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：用于提供预定压力的进料溶液的动力泵、与所述动力泵相连通的注射模块；所述注射模块设置有预定截面积的出口，由所述动力泵提供的预定压力的进料溶液通过所述出口输出至所述基片的中心。

作为一种优选的实施方式，还包括与所述动力泵电性连接的中央控制器，所述中央控制器能在所述动力泵开启预定时长后，关闭所述动力泵。

作为一种优选的实施方式，所述注射模块包括：用于注射进料溶液的枪头，所述枪头包括注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端的中心线与水平面相垂直。

作为一种优选的实施方式，所述注射模块包括：第一注射模块和第二注射模块；

所述进料装置还包括步进电机，所述步进电机用于控制所述第一注射模块和所述第二注射模块进行移动。

作为一种优选的实施方式，所述步进电机包括丝杆，所述注射模块与所述丝杆通过套设在所述丝杆上的滑动块相连；所述注射模块位于所述滑动块的正下方。

作为一种优选的实施方式，所述薄膜旋涂系统还包括用于调节所述枪头与所述旋涂仪之间高度距离的支架或移动平台。

有益效果：

本申请实施方式中的薄膜旋涂系统，通过注射模块对进料溶液输出速度的控制，可由枪头输出固定流速的进料溶液。当输出固定流速的进料溶液后，由于枪头的出口截面积恒定，因此可以获得恒定流量的进料溶液。当进料溶液的流量恒定时，即从出口输出的进料溶液的流量恒定，可以保证其流向基片时具有均一稳定的量和速度，当其与旋涂仪提供的离心力相配合时，能够以一个恒定的速度向外均匀扩张开，从而保证整个基片上所制备的薄膜形状均匀，表面平整、厚薄一致。

另外，本申请所提供的薄膜旋涂系统，还可以利用动力泵提供预定压力值的进料溶液，获得恒定的进料速度。当进料速度恒定后，由于所述注射模块的出口截面积恒定，从出口输出的进料溶液的流量恒定，可以保证其流向基片时具有均一稳定的量和速度，当其与旋涂仪提供的离心力相配合时，能够以一个恒定的速度向外均匀扩张开，从而保证整个基片上所制备的薄膜形状均匀，表面平整、厚薄一致。

参照后文的说明和附图，详细公开了本申请的特定实施方式，指明了本申请的原理可以被采用的方式。应该理解，本申请的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本申请的实施方式包括许多改变、修改和等同。

针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

附图说明

图1为本申请实施方式的薄膜旋涂系统的示意图；

图2为本申请实施方式的注射模块示意图。

附图标记说明：

1、第一注射模块；11、第一枪头；12、第一滑动块；2、第二注射模块； 21、第二枪头；22、第二滑动块；3、1号步进电机；31、1号丝杆；4、2号步进电机；41、2号丝杆；5、1号动力泵；51、1号容器；6、2号动力泵；61、2 号容器；7、软管；8、旋涂仪；9、中央控制器；10、支架。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施方式，对本实用新型的技术方案作详细说明，应理解这些实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落入本申请所附权利要求所限定的范围内。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

本实用新型第一个实施方式提供一种薄膜旋涂系统。如图1和图2所示，本实施方式中的所述薄膜旋涂系统包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪8，所述旋涂仪8上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪8提供进料溶液，所述进料装置包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口，用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。

所述旋涂仪8用于旋涂进料溶液，具体而言，其用于为滴注在基片上的溶液提供向外围扩散的离心力。具体使用时，开启旋涂仪8，在高速旋转的基片上，滴注进料溶液，利用该旋涂仪8提供的离心力使滴在基片上的进料溶液均匀地涂覆在基片上。

所述进料装置用于向所述旋涂仪8提供进料溶液，所述进料装置可以包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构。其中，所述供液机构用于提供预定量的进料溶液，其具体可以包括用于盛放进料溶液的容器。

所述注射模块用于控制由所述供液机构输送的进料溶液的输出速度，所述注射模块可以包括：用于容纳进料溶液的枪头，其中，所述枪头上设置有出口。该注射模块还可以包括：用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射出的推射机构。该推射机构可以与动力机构相连接，例如，与步进电机相连接，以预定的频率向下移动，给枪头中的进料溶液预定的推射力，从而将进料溶液从出口推射出。具体的，该推射机构的形式可以为推射针头的形式，当然，其还可以为其他形式，本申请在此并不作具体的限定。

具体的，所述供液机构的个数可以为1个、2个、或其他个数。当该供液机构的个数为多个时，其可以用于输送不同类型的进料溶液。该供液机构的具体形式可以为蠕动泵或其他类型的泵，本申请具体不作限定。

当该供液机构为蠕动泵的形式时，其可以通过软管7与所述注射模块相连通，从而向所述注射模块输送进料溶液。使用时，通过蠕动泵对软管7提供动力，可实现进料溶液的移动，从而提供给注射模块。

在本实施方式中，所述注射模块个数可以与所述动力泵的个数相匹配，可以为1个、2个、或其他个数，当为多个时，可以与所述供液机构相配合，实现输出不同类型的进料溶液的目的。

本申请实施方式中的薄膜旋涂系统，通过注射模块对进料溶液输出速度的控制，可由枪头输出固定流速的进料溶液。当输出固定流速的进料溶液后，由于枪头的出口截面积恒定，因此可以获得恒定流量的进料溶液。当进料溶液的流量恒定时，即从出口输出的进料溶液的流量恒定，可以保证其流向基片时具有均一稳定的量和速度，当其与旋涂仪8提供的离心力相配合时，能够以一个恒定的速度向外均匀扩张开，从而保证整个基片上所制备的薄膜形状均匀，表面平整、厚薄一致。

在一个实施方式中，该薄膜旋涂系统还可以包括中央控制器9，所述中央控制器9与所述推射机构、供液机构中的至少一个电性连接，所述中央控制器 9用于控制所述推射机构、供液机构的工作状态。

在本实施方式中，所述薄膜旋涂系统可以设置有中央控制器9，所述中央控制器9可以用于控制与其电性连接的推射机构、供液机构的工作状态。以推射机构为例，该中央控制器9可以控制该推射机构在启动预定时长后自动关闭，从而可以控制从出口输出进料溶液的时间，进而可以控制从出口输出的进料溶液总的体积，即精确控制了进料的总量，较佳地保证了所制备的薄膜厚度的均一性。

另外，所述中央控制器9可以控制所述供液机构的工作状态，也控制该供液机构在启动预定时长后自动关闭，从而可以控制供向所述推射机构总的液量。当推射机构将该供液机构供入的进料溶液推射结束后，无法再进一步输出进料溶液，此时，也就保证了从出口输出的进料溶液总的体积，即精确控制了进料的总量，较佳地保证了所制备的薄膜厚度的均一性。

在一个实施方式中，所述枪头包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述注射腔的横截面积大于所述注射端的横截面积，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端的中心线与水平面相垂直。

具体的，所述枪头的个数与所述注射模块个数相匹配，所述枪头包括注射腔和注射端。所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液，该注射腔的容量可通过更换枪头的方式进行调整。当制备不同规格的薄膜时，可以通过更换枪头实现调整注射腔的容积。

所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液。所述注射端的横截面积小于该注射腔的横截面积，所述出口设置在所述注射端上，使得进料溶液在从注射腔流入注射端，并从出口流出时，能够提高出射速度。

此外，为了保证从出口流出的进料溶液能垂直流到基片上，所述出口所在的平面与水平面相平行。

在一个实施方式中，所述注射模块具有相对的顶面、底面以及位于所述顶面和底面之间的侧面，所述枪头的注射端位于所述注射模块的底面，所述注射模块的侧面设置有开口，所述供液机构包括蠕动泵，所述开口与所述蠕动泵通过软管7相连通。

具体的，所述注射模块的侧面上设置有用于连接软管7的接头，所述枪头与所述软管7连通，所述软管7将进料溶液输送到所述枪头的注射腔内。通过注射模块的侧面连接有软管7，对所述注射模块底面上设置的枪头起到一定的扶正作用，能够在一定程度上控制枪头的注射端与水平面保持垂直，减小注射进料溶液出现倾斜的可能性。

在本实施方式中，所述进料装置还可以包括步进电机，所述步进电机用于带动所述注射模块移动。具体的，所述步进电机可以与中央控制器9电性连接。该步进电机是由磁性转子铁芯通过与由定子产生的脉冲电磁场相互作用而产生转动，步进电机在电机内部把旋转运动转化为线性运动，最后传递给丝杆，使其带动注射模块进行移动。具体的，所述步进电机至少为一个，其能够控制注射模块进行前后方向和/或左右方向移动。具体的，该步进电机的个数可以与注射模块的个数相匹配。

在一个实施方式中，所述注射模块的个数可以为2个，包括：第一注射模块1和第二注射模块2。所述第一注射模块1和所述注射模块2用于输出不同类型的溶液，用于所述第一注射模块1的枪头为第一枪头11，用于所述第二注射模块2的枪头为第二枪头21。

相应的，所述步进电机的个数为两个，具体为：用于控制所述注射模块进行前后方向移动的1号步进电机3、用于控制所述注射模块进行左右方向移动的2号步进电机4。

进一步的，2号步进电机4可以设置有连接件，连接件可以位于所述2号步进电机4的上端，也可以位于其下端。所述连接件与2号步进电机4固定连接，连接方式不作具体限定。该连接件套设于所述1号步进电机3的1号丝杆 31上。因此1号丝杆31在传动连接件进行前后方向运动时，带动2号步进电机4进行前后方向的运动。而所述2号步进电机的2号丝杆41上设有所述注射模块，能够传动所述注射模块进行左右方向运动。整体上，通过1号步进电机 3和2号步进电机4的布置，能够实现注射模块进行前后方向以及左右方向的移动。

在一个实施方式中，所述步进电机包括丝杆，所述注射模块与所述丝杆通过套设在所述丝杆上的滑动块相连；所述注射模块位于所述滑动块的正下方。

具体的，所述滑动块的个数与所述注射模块的个数相匹配，所述注射模块与所述滑动块固定连接。所述第一注射模块1的顶部固定连接有第一滑动块12，所述第二注射模块2的顶部固定连接有第二滑动块22。所述第一滑动块12和所述第二滑动块22均套设于所述丝杆上。所述注射模块顶部通过固定有滑动块，进一步减小注射进料溶液出现倾斜的可能性。

本实施方式中的薄膜旋涂系统在具体使用时，所述中央控制器9在打开供液机构的同时，开启所述旋涂仪8，并给所述步进电机发出命令。所述步进电机移动所述第一注射模块1至旋涂仪8的中心位置。所述中央控制器9启动推射机构，以预定的速度将第一枪头11内盛装的进料溶液从第一枪头11的出口推出至基片中心。第一枪头11注射完后，中央控制器9发出命令给步进电机，使第二注射模块2移动至旋涂仪8的中心位置。同时，中央控制器9启动第二注射模块2以预定的速度将另一种进料溶液推出。结束后，中央控制器9发出信号给旋涂仪8，停止旋转。进一步的，可以控制步进电机将第二注射模块2 移开。

在本实施方式中，所述薄膜旋涂系统还包括用于调节所述枪头与所述旋涂仪8之间高度距离的支架10或移动平台。

所述薄膜旋涂系统可以设置有移动平台，所述移动平台位于所述旋涂仪8 的下方，用以支撑旋涂仪8的同时可提供上、下移动的功能，即通过该移动平台可调整进料溶液的出料高度。

所述薄膜旋涂系统还设置有支架10，所述支架10上设置有与所述步进电机丝杆相配合的卡合部。所述支架10具体可以是能够调节高度的支架10，例如，在高度方向上，可以设置有轨迹槽，所述丝杆在所述轨迹槽中所停留的位置不同，其对应的高度也不同。而枪头的高度位置与所述丝杆的高度位置同步改变，而此时旋涂仪8的位置可以相对固定，从而实现了利用所述丝杆的高度位置，实现进料溶液出料高度的调节。

所述移动平台和所述支架上可以设置有位移传感器，该传感器可以与所述中央控制器9电性连接。所述中央控制器9通过该位移传感器的检测信号，感应所述移动平台或所述支架距离所述旋涂仪8的高度距离，通过调整移动平台或支架，来调整进料溶液的出料高度。

本实用新型还提供了第二个实施方式。如图1和图2所示，该实施方式中的薄膜旋涂系统可以包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪8，所述旋涂仪8上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，所述进料装置包括：用于提供预定压力的进料溶液的动力泵、与所述动力泵相连通的注射模块；所述注射模块设置有预定截面积的出口，由所述动力泵提供的预定压力的进料溶液通过所述出口输出至所述基片的中心。

本申请第二实施方式所提供的薄膜旋涂系统，利用动力泵提供预定压力值的进料溶液，获得恒定的进料速度。当进料速度恒定后，由于所述注射模块的出口截面积恒定，从出口输出的进料溶液的流量恒定，可以保证其流向基片时具有均一稳定的量和速度，当其与旋涂仪8提供的离心力相配合时，能够以一个恒定的速度向外均匀扩张开，从而保证整个基片上所制备的薄膜形状均匀，表面平整、厚薄一致。

在一个实施方式中，所述薄膜旋涂系统还可以包括与所述动力泵电性连接的中央控制器9，所述中央控制器9能在所述动力泵开启预定时长后，关闭所述动力泵，从而控制从出口输出进料溶液的时间，进而可以控制从出口输出的进料溶液总的体积，即精确控制了进料的总量，较佳地保证了所制备的薄膜厚度的均一性。

此外，所述枪头的出口位置也可以设置有开关机构，该开关机构也可以与所述中央控制器电性连接。使用时，所述中央控制器9可以控制所述开关机构在开启预定时长后关闭，同样可以达到控制进料总量的目的。

所述第二实施方式与第一实施方式的区别之处在于，所述动力泵为提供预定压力值的泵，该动力泵在输出进料溶液时压力保持一致，使得进料溶液保持恒定的压力，当其与出口截面积恒定的注射模块相配合时，能够获得保证进料溶液的流量恒定。

在一个具体的应用场景下，如图1和图2所示，以薄膜太阳能电池制备实验为例，进一步阐述本申请。

所述薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪8，所述旋涂仪8 上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪8提供进料溶液，其包括：动力泵、注射模块和步进电机；所述动力泵用于提供预定量的进料溶液；所述注射模块用于控制由所述动力泵输送的进料溶液的输出速度；所述步进电机用于调节所述注射模块的移动方向；与所述步进电机、所述动力泵和所述注射模块电性连接的中央控制器9。

所述动力泵具体为蠕动泵，可调节进料溶液量，蠕动泵可对进料时间与进料流量进行控制，可直接输入进料时间和进料流量值，以此能够控制进料溶液量。其包括：1号动力泵5和2号动力泵6，1号动力泵设置有1号容器51，2 号动力泵设置有2号容器61。1号容器51内所盛放一定量的钙钛矿溶液，可设置进料流量为2ml/s，并设置进料时间。2号容器61内盛放一定量的氯苯溶液，设置进料流量为2ml/s，进料时间为10s。

所述注射模块包括：第一注射模块1和第二注射模块2，所述第一注射模块1用于注射所述1号动力泵5中的钙钛矿溶液，所述第二注射模块2用于注射所述2号动力泵6中的氯苯溶液。注射模块具体包括推射机构和枪头，所述枪头位于所述注射模块的底部，用于容纳进料溶液。所述推射机构用于将所述枪头内盛装的进料溶液从枪头的出口推射至基片中心。

所述推射机构与所述步进电机电性连接，以预定的频率向下移动，给枪头中的进料溶液预定的推射力，从而将进料溶液从出口推射出。

所述枪头为可以更换任意容量的枪头，所述枪头设置有注射腔和注射端。其注射端具有出口，所述出口的中心线与水平面保持垂直。用于所述第一注射模块1的枪头为第一枪头11，用于所述第二注射模块2的枪头为第二枪头21。本申请实施方式中的第一枪头11和第二枪头21为2ml容量的枪头。

所述步进电机有两个，均带有丝杆。具体为1号步进电机3和2号步进电机4。1号步进电机3能控制所述注射模块进行前后方向移动，2号步进电机4 能控制所述注射模块进行左右方向移动。所述2号步进电机4的上端设置有连接件，并与2号步进电机4固定连接，其连接件套设于所述1号步进电机3的 1号丝杆31上。而所述2号步进电机4的2号丝杆41上设有第一注射模块1 和第二注射模块2，能够传动所述注射模块进行左右方向运动。

第一注射模块1的顶部固定连接有第一滑动块12，第二注射模块2的顶部固定连接有第二滑动块22。所述第一滑动块12和所述第二滑动块22均套设于所述丝杆上。第一注射模块1和所述第二模块2的侧面分别连接有软管7。通过软管7使所述第一注射模块1与所述1号动力泵5连通、第二注射模块2与所述2号动力泵6连通。

所述中央控制器9分别与所述旋涂仪8、所述第一注射模块1的推射机构、第二注射模块2的推射机构、1号动力泵5、2号动力泵6、1号步进电机3、2 号步进电机4电性连接，所述中央控制器9用于控制以上装置的工作状态。

本申请实施方式中的薄膜旋涂系统还包括有用于固定1号步进电机3、2号步进电机4、第一注射模块1和第二注射模块2的支架。

首先将玻璃基片放置于所述旋涂仪8中心位置，所述旋涂仪8下方设置有移动平台，能够上升或下降旋涂仪8。当旋涂仪8通过移动平台调整好具体高度后，所述中央控制器9在打开1号动力泵5的同时，给所述步进电机发出命令，所述步进电机将所述第一注射模块1移动到玻璃基片的中心位置。1号动力泵挤压软管7，将钙钛矿溶液以2ml/s的流量挤压到第一注射模块1中。所述中央控制器9启动推射机构，以预定的速度将第一枪头11内盛装的钙钛矿溶液从第一枪头11的出口推出至基片中心。第一枪头11注射完后，中央控制器9 发出命令给步进电机，使第二注射模块2移动至玻璃基片中心位置。中央控制器9打开旋涂仪8，并设置好转速和时间，进行旋涂。中央控制器9在开启旋涂仪的同时，打开2号动力泵6并开启计时。2号动力泵6启动25s后，以相同的方法，将氯苯溶液以固定流量输送到第二注射模块2。中央控制器9发送信号给第二注射模块2内的推动机构，所述推动机构以预定的速度将第二枪头21 内的氯苯溶液注射出来，并控制进料时间为10s。结束后，中央控制器9发出信号给旋涂仪8，停止旋转，同时控制步进电机移动第二注射模块2，取出玻璃进行120℃退火。

本申请中所提供的中央控制器9用于发出控制信号，可以采取例如微处理器或处理器以及存储可由该微处理器或处理器执行的计算机可读程序代码(例如软件或固件)的计算机可读介质、逻辑门、开关、专用集成电路(Application Specific IntegratedCircuit，ASIC)、可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)和嵌入微控制单元(Microcontroller Unit，MCU)的形式。所述中央控制器9可以与所述步进电机、所述注射模块、所述动力泵、所述旋涂仪8电性连接。所述电性连接方式可以为有线连接，当然所述电性连接方式也可以为无线连接，例如利用现有技术中的WIFI、红外、蓝牙等技术，或者也可以利用其他无线通信技术，本申请在此并不作具体的限定。

上述实施方式只为说明本申请的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本申请的内容并据以实施，并不能以此限制本申请的保护范围。凡根据本申请精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本申请的保护范围之内。

披露的所有文章和参考资料，包括专利申请和出版物，出于各种目的通过援引结合于此。描述组合的术语“基本由…构成”应该包括所确定的元件、成分、部件或步骤以及实质上没有影响该组合的基本新颖特征的其他元件、成分、部件或步骤。使用术语“包含”或“包括”来描述这里的元件、成分、部件或步骤的组合也想到了基本由这些元件、成分、部件或步骤构成的实施方式。这里通过使用术语“可以”，旨在说明“可以”包括的所描述的任何属性都是可选的。

多个元件、成分、部件或步骤能够由单个集成元件、成分、部件或步骤来提供。另选地，单个集成元件、成分、部件或步骤可以被分成分离的多个元件、成分、部件或步骤。用来描述元件、成分、部件或步骤的公开“一”或“一个”并不是为了排除其他的元件、成分、部件或步骤。

应该理解，以上描述是为了进行图示说明而不是为了进行限制。通过阅读上述描述，在所提供的示例之外的许多实施方式和许多应用对本领域技术人员来说都将是显而易见的。因此，本教导的范围不应该参照上述描述来确定，而是应该参照所附权利要求以及这些权利要求所拥有的等价物的全部范围来确定。出于全面之目的，所有文章和参考包括专利申请和公告的公开都通过参考结合在本文中。在前述权利要求中省略这里公开的主题的任何方面并不是为了放弃该主体内容，也不应该认为申请人没有将该主题考虑为所公开的申请主题的一部分。

Claims (10)

1.一种薄膜旋涂系统，其特征在于，包括：

用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；

进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，所述进料装置包括：

注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；

所述注射模块包括：

用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口，

用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。

2.如权利要求1所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，还包括中央控制器，所述中央控制器与所述推射机构、供液机构中的至少一个电性连接，所述中央控制器用于控制所述推射机构、供液机构的工作状态。

3.如权利要求2所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述枪头包括：注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述注射腔的横截面积大于所述注射端的横截面积，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端中心线与水平面相垂直。

4.如权利要求3所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述注射模块具有相对的顶面、底面以及位于所述顶面和底面之间的侧面，所述枪头的注射端位于所述注射模块的底面，所述注射模块的侧面设置有开口；

所述供液机构包括蠕动泵，所述开口与所述蠕动泵通过软管相连通。

5.一种薄膜旋涂系统，其特征在于，包括：

用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；

进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，所述进料装置包括：用于提供预定压力的进料溶液的动力泵、与所述动力泵相连通的注射模块；

所述注射模块设置有预定截面积的出口，由所述动力泵提供的预定压力的进料溶液通过所述出口输出至所述基片的中心。

6.如权利要求5所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，还包括与所述动力泵电性连接的中央控制器，所述中央控制器能在所述动力泵开启预定时长后，关闭所述动力泵。

7.如权利要求6所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述注射模块包括：用于注射进料溶液的枪头；所述枪头包括注射腔和注射端；所述注射腔用于盛装固定量的进料溶液；所述注射端用于导出所述注射腔内的进料溶液，所述出口设置在所述注射端上，所述注射端的中心线与水平面相垂直。

8.如权利要求7所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述注射模块包括：第一注射模块和第二注射模块；

所述进料装置还包括步进电机，所述步进电机用于控制所述第一注射模块和所述第二注射模块进行移动。

9.如权利要求8所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述步进电机包括丝杆，所述注射模块与所述丝杆通过套设在所述丝杆上的滑动块相连；所述注射模块位于所述滑动块的正下方。

10.如权利要求7所述的薄膜旋涂系统，其特征在于，所述薄膜旋涂系统还包括用于调节所述枪头与所述旋涂仪之间高度距离的支架或移动平台。