CN209087802U - 一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，包括：多个夹爪，用于从侧部对圆盘进行夹紧；旋转电机，固接所述夹爪，用于驱动所述夹爪转动，带动所述夹爪夹持的圆盘绕其中心旋转；检测器，用于对旋转中的所述圆盘的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对所述圆盘的旋转角度进行检测。本实用新型通过刚性连接方式进行传动，避免了以往使用同步带传动所产生的粉尘问题，可以满足在洁净的环境下对圆盘进行精确定位，且整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

Description

一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置

技术领域

本实用新型涉及半导体行业自动化制程设备技术领域，更具体地，涉及一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置。

背景技术

在半导体行业自动化制程中，经常需要在ISOCLASS5的洁净环境下，将圆盘类的零件搬运到回转机构上进行圆周方向定位，以及让圆盘围绕自身中心进行精确旋转。

在目前的回转机构上，采用的是将电机与减速机连接，再通过同步带带动旋转轴进行旋转定位的方式。

然而，上述这种方式中，同步带与同步轮之间的传动会产生粉尘微粒，对洁净空间造成污染；因此，无法将现有的回转机构运动到CLASS5或更高洁净度的环境中。并且，同步带本身具有较大的柔性，所以在旋转到位后角度也会存在一定的偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，包括：

多个夹爪，用于从侧部对圆盘进行夹紧；

旋转电机，固接所述夹爪，用于驱动所述夹爪转动，带动所述夹爪夹持的圆盘绕其中心旋转；

检测器，用于对旋转中的所述圆盘的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对所述圆盘的旋转角度进行检测。

进一步地，所述夹爪为三个，其围绕所述圆盘的边部设置。

进一步地，所述夹爪为气动夹爪。

进一步地，所述旋转电机通过齿轮传动机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。

进一步地，所述旋转电机通过涡轮蜗杆机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。

进一步地，所述减速机为中空减速机，所述夹爪为气动夹爪，所述气动夹爪连接气缸，所述气缸容于所述减速机的中空腔体中。

进一步地，所述减速机和旋转电机分设于一底座的上、下两面上。

进一步地，所述底座上设有支架，所述检测器设于支架的上端。

进一步地，所述检测器为激光传感器。

进一步地，所述电机为伺服电机。

从上述技术方案可以看出，本实用新型的电机与减速机、气爪通过直接连接的方式来进行传动，避免了以往使用同步带传动所产生的粉尘问题，可以满足在洁净的环境下对圆盘进行定位。由于整个传动过程中采用了刚性连接，能够得到更高的角度定位精度。整个装置结构紧凑，可以安装在自动化生产线上实现一个圆盘精确定位功能，也可以单独作为一个设备。整个回转机构是伺服电机带动激光传感器检测，可以达到高精度圆周定位的效果。整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

附图说明

图1-图2是本实用新型一较佳实施例的一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。

在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1-图2，图1-图2是本实用新型一较佳实施例的一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置结构示意图。如图-图2所示，本实用新型的一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，可包括：夹爪13，旋转电机15，减速机14，检测器10，底座16和支架12等几个主要结构组成部分。

请参考图1-图2。夹爪13为多个，例如可采取图示的三个夹爪13。夹爪13围绕在圆盘11的边部进行设置，用于从侧部对圆盘11进行夹紧。当采取三个夹爪13时，可按120度夹角均匀设置在圆盘11的边部以外。圆盘11例如可以是半导体晶圆等薄片状产品。

旋转电机15与夹爪13进行固定连接，用于驱动夹爪13转动，带动夹爪13夹持的圆盘11绕圆盘11中心进行旋转。具体地，可将旋转电机15与一减速机14采用刚性连接方式直接进行转动连接，并可再将减速机14采用刚性连接方式直接连接夹爪13。

例如，可将旋转电机15通过齿轮传动机构与减速机14直接进行转动连接，再将减速机14固接至夹爪13。或者，可将旋转电机15通过涡轮蜗杆机构与减速机14直接进行转动连接，再将减速机14固接至夹爪13。也可采取其他适用的刚性连接方式，而摈弃传统的皮带连接方式。

减速机14和旋转电机15可分别固定安装在底座16的上、下两面上。例如可采用螺钉安装方式进行连接。

支架12竖直安装在底座16上。例如也可采用螺钉安装方式进行连接。检测器10安装在支架12的上端，并位于圆盘11上方的适当高度并处于圆盘11的边部位置。支架12的上端可加装可伸缩横臂，以便调节检测器10的安装高度和位置。

检测器10用于对旋转中的圆盘11的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对圆盘11的旋转角度进行检测。圆盘11的边部上设有的定位标记通常为缺角，利用检测器10，可以对旋转中的圆盘11的边部上设有的缺角进行寻找和识别，并可在控制机构的控制下，完成高精度的圆盘11定位寻边功能。

作为一可选的实施方式，检测器10可采用激光传感器。

作为优选的实施方式，减速机14可采用中空减速机14形式。并且，夹爪13可采用气动夹爪13形式；然后，可将气动夹爪13所连接的气缸安装在减速机14的中空腔体中。电机15可采用伺服电机15。

这样，采用伺服电机15与中空减速机14直接连接，气动夹爪13直接固定在减速机14上，以气爪夹紧圆盘11，再由电机15直接驱动其转动，并通过激光传感器10对圆盘11上的缺角进行识别，以对圆盘11角度进行检测，避免了以往同步带传动产生的粉尘，从而可以满足在洁净的环境下对圆盘11进行高精度的定位寻边，且定位角度的精度能达到更高。整个装置可作为一个标准整体模块，方便集成到自动化制程中。

由于电机15、减速机14、夹爪13之间采用的是一体式组装，可以保证高刚性高精度的传动。伺服电机15和减速机14的连接都是无缝安装，所有传动结构都是在减速机14里面实现的，充分保证了机械传动过程中不会产生粉尘微粒，达到能够在洁净环境中使用此功能。

综上所述，本实用新型的电机与减速机、气爪通过直接连接的方式来进行传动，避免了以往使用同步带传动所产生的粉尘问题，可以满足在洁净的环境下对圆盘进行定位。由于整个传动过程中采用了刚性连接，能够得到更高的角度定位精度。整个装置结构紧凑，可以安装在自动化生产线上实现一个圆盘精确定位功能，也可以单独作为一个设备。整个回转机构是伺服电机带动激光传感器检测，可以达到高精度圆周定位的效果。整个定位过程结构简单速度快，可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。

以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，包括：

多个夹爪，用于从侧部对圆盘进行夹紧；

旋转电机，固接所述夹爪，用于驱动所述夹爪转动，带动所述夹爪夹持的圆盘绕其中心旋转；

检测器，用于对旋转中的所述圆盘的边部上设有的定位标记进行寻找识别，以对所述圆盘的旋转角度进行检测。

2.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述夹爪为三个，其围绕所述圆盘的边部设置。

3.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述夹爪为气动夹爪。

4.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述旋转电机通过齿轮传动机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。

5.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述旋转电机通过涡轮蜗杆机构与一减速机直接转动连接，所述减速机固接所述夹爪。

6.根据权利要求4或5所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述减速机为中空减速机，所述夹爪为气动夹爪，所述气动夹爪连接气缸，所述气缸容于所述减速机的中空腔体中。

7.根据权利要求6所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述减速机和旋转电机分设于一底座的上、下两面上。

8.根据权利要求7所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述底座上设有支架，所述检测器设于支架的上端。

9.根据权利要求8所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述检测器为激光传感器。

10.根据权利要求1所述的用于洁净环境的高精度圆盘定位寻边装置，其特征在于，所述电机为伺服电机。