CN209087769U - 一种用于芯片制造中抽检装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了芯片检测技术领域的一种用于芯片制造中抽检装置，包括支撑腿，所述支撑腿设置有支撑底板，所述支撑底板中部设置有散热板，所述散热板上端设置有芯片固定板，所述支撑底板两侧固定连接有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆上端连接有螺纹杆，螺纹杆下端设置有检测装置，可对芯片上的待检测单元进行全面的检测，并且检测的信息可以在状态指示灯与参数显示屏上显示，使得技术人员明显的发现芯片上的哪些地方出错了，并且本实用新型还增加了散热装置，确保芯片在检测过程中不会造成热量无法散发而造成损坏。

Description

一种用于芯片制造中抽检装置

技术领域

本实用新型涉及芯片检测技术领域，具体为一种用于芯片制造中抽检装置。

背景技术

芯片一般是指集成电路的载体，也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果，通常是一个可以立即使用的独立的整体。芯片是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。芯片设备在生产完芯片之后，需要对芯片进行综合测试及各种电流电压的测试，目前的芯片的检测方式就是检测工人手持着从电气检测箱上引出的检测探针，通过观察着电气检测箱上的指示灯的状态和显示屏所显示的参数大小来判断着该芯片是否合格。

然而现有的芯片检测装置在使用过程中存在着一些不足之处，芯片的构造大多较为复杂，在制造过程中各个地方均有可能出现问题，从而使得检测过后的维修环节的操作较为繁琐，导致工作的效率十分低。

目前，申请号为CN201620427868.4的中国专利公开了一种芯片检测装置，包括芯片检测装置，所述芯片检测装置上安装有芯片放置板，所述芯片放置板的左右两侧均安装有滑轨，且滑轨的顶部安装有限位装置，所述滑轨上安装有检测装置，且检测装置的下方安装有检测针，所述芯片检测装置上设置有启动按钮和功能调节键，且启动按钮位于功能调节键的左侧，所述芯片检测装置的底部安装有防滑装置。本实用新型在对芯片进行检测发现故障时，增加了一项故障位置标记功能，使得整个芯片检测完成后，操作人员可以很直观的了解芯片的哪个地方需要如何的维修；在同一工作台面上可设置有两个检测装置。

虽然该装置可对芯片进行检修，并直观看出那些地方出现问题，但是芯片在检测过程中一直处于工作状态，易发热，从而造成芯片的损坏，并且该装置的探测针装置只能上下的移动，无法左后移动在检测芯片时可能会导致芯片部分地区探测针无法检测的情况发生。

基于此，本实用新型设计了一种用于芯片制造中抽检装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于芯片制造中抽检装置，以解决上述背景技术中提出的芯片在检测过程中一直处于工作状态，易发热，从而造成芯片的损坏，并且该装置的探测针装置只能上下的移动，无法左后移动在检测芯片时可能会导致芯片部分地区探测针无法检测的情况发生问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于芯片制造中抽检装置，包括支撑腿，所述支撑腿设置有支撑底板，所述支撑底板中部设置有散热板，所述散热板上端设置有芯片固定板，所述散热板内部设置有多组冷风扇，所述散热板两端固定连接有散热壳体，所述散热板外端一侧固定连接有温度传感器，所述支撑底板两侧固定连接有液压伸缩杆，一组所述液压伸缩杆外侧固定连接有电机，所述电机动力轴贯穿液压伸缩杆固定连接与螺纹杆，所述螺纹杆中端螺纹连接有滑块，所述液压伸缩杆之间固定连接有限位杆，所述滑块下侧固定连接有支架，所述支架下侧设置有探针座，所述探针座外侧设置有状态指示灯以及参数显示屏，所述探针座下端固定连接有检测排针。

优选的，所述支撑腿外侧设置有减震弹簧，且支撑腿底部设置有橡胶垫；

优选的，所述散热壳体内设置有中间夹层，所述中间夹层内填充有冷却液；

优选的，所述螺纹杆另一端转动连接与轴承，所述轴承位于液压伸缩杆的上侧内部；

优选的，所述限位杆贯穿滑块，且限位杆与滑块滑动连接；

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型可对芯片上的待检测单元进行全面的检测，并且检测的信息可以在状态指示灯与参数显示屏上显示，使得技术人员明显的发现芯片上的哪些地方出错了，并且本实用新型还增加了散热装置，确保芯片在检测过程中不会造成热量无法散发而造成损坏。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中散热板结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-支撑腿，2-支撑底板，3-散热板，4-芯片固定板，5-冷风扇，6-散热壳体，7-温度传感器，8-液压伸缩杆，9-电机，10-螺纹杆，11-滑块，12-限位杆，13-支架，14-探针座，15-状态指示灯，16-参数显示屏，17-检测排针。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种用于芯片制造中抽检装置，包括支撑腿1，所述支撑腿1设置有支撑底板2，所述支撑底板2中部设置有散热板3，所述散热板3上端设置有芯片固定板4，所述散热板3内部设置有多组冷风扇5，所述散热板3两端固定连接有散热壳体6，所述散热板3外端一侧固定连接有温度传感器7，所述支撑底板2两侧固定连接有液压伸缩杆8，一组所述液压伸缩杆8外侧固定连接有电机9，所述电机9动力轴贯穿液压伸缩杆8固定连接与螺纹杆10，所述螺纹杆10中端螺纹连接有滑块11，所述液压伸缩杆8之间固定连接有限位杆12，所述滑块11下侧固定连接有支架13，所述支架13下侧设置有探针座14，所述探针座14外侧设置有状态指示灯15以及参数显示屏16，所述探针座14下端固定连接有检测排针17。

其中，所述支撑腿外侧设置有减震弹簧，且支撑腿底部设置有橡胶垫，在检测时保证装置的稳定性；所述散热壳体6内设置有中间夹层，所述中间夹层内填充有冷却液，使散热效果更佳；所述螺纹杆10另一端转动连接与轴承，所述轴承位于液压伸缩杆8的上侧内部，保证轴承不收损坏；所述限位杆12贯穿滑块11，且限位杆与滑块11滑动连接，保证滑块在滑动时，保证其不会转动。

本实施例的一个具体应用为：将待检测的芯片放在芯片固定板4上，将其固定在支撑底板3上，启动液压伸缩杆8，使得检测排针17可以接触到芯片，通过升降液压伸缩杆8可以反复的检测芯片上的待检单元，在芯片上的横排单元检测完成后，启动电机9，电机9动力轴端带动螺纹杆10的转动，由于限位块12贯穿滑动连接与滑块11，所以致使滑块11作横向运动，带动探针座14横向移动，从而继续检测芯片上的待检测单元，支架13可充分保证检测时检测排针17的稳定性，不会造成晃动，检测某个待检测单元时，状态指示灯15与参数显示屏17会显示检测的信息，技术人员可根据这些来判断该芯片是否合格，由于在检测过程中，芯片一直处于工作状态，会产生大量的热，散热板3上的温度传感器7可显示芯片的温度，在检测的同时启动冷风扇5，对芯片进行散热，散热壳体6在这种的冷却液可以提供充足的冷风，热风会从散热壳体6上的孔隙中散走，保证芯片在检测时不至于烧坏。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种用于芯片制造中抽检装置，包括支撑腿(1)，其特征在于：所述支撑腿(1)设置有支撑底板(2)，所述支撑底板(2)中部设置有散热板(3)，所述散热板(3)上端设置有芯片固定板(4)，所述散热板(3)内部设置有多组冷风扇(5)，所述散热板(3)两端固定连接有散热壳体(6)，所述散热板(3)外端一侧固定连接有温度传感器(7)，所述支撑底板(2)两侧固定连接有液压伸缩杆(8)，一组所述液压伸缩杆(8)外侧固定连接有电机(9)，所述电机(9)动力轴贯穿液压伸缩杆(8)固定连接与螺纹杆(10)，所述螺纹杆(10)中端螺纹连接有滑块(11)，所述液压伸缩杆(8)之间固定连接有限位杆(12)，所述滑块(11)下侧固定连接有支架(13)，所述支架(13)下侧设置有探针座(14)，所述探针座(14)外侧设置有状态指示灯(15)以及参数显示屏(16)，所述探针座(14)下端固定连接有检测排针(17)。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特在在于：所述支撑腿(1)外侧设置有减震弹簧，且支撑腿(1)底部设置有橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述散热壳体(6)内设置有中间夹层，所述中间夹层内填充有冷却液。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述螺纹杆(10)另一端转动连接与轴承，所述轴承位于液压伸缩杆(8)的上侧内部。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片制造中抽检装置，其特征在于：所述限位杆(12)贯穿滑块(11)，且限位杆(12)与滑块(11)滑动连接。