CN209065431U - 多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于多晶硅的生产设备技术领域，涉及多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统。本实用新型的多晶硅还原炉尾气防护罩，包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。本实用新型能够有效防止硅块进入尾气管线，避免尾气管线堵塞，又能保证还原炉尾气的正常流通，大大减小清理尾气管线的工作量。

Description

多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统

技术领域

本实用新型属于多晶硅的生产设备技术领域，具体涉及多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统。

背景技术

电子级多晶硅材料是众多高科技电子信息行业不可或缺的原料。电子级多晶硅不仅可应用于太阳能光伏电池而且可以大量用于集成电路等半导体器件等产品中，具有不可替代的作用。在电子级多晶硅生产过程中，还原系统中的还原炉是其中的重要组件。高纯的三氯氢硅和氢气在一定的温度下在还原炉中反应生成的多晶硅沉积在硅芯上来制备多晶硅。高纯的三氯氢硅和氢气以一定的配比不断地通过还原炉的进气装置进入还原炉，而还原尾气(主要成分氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、无定性硅、氯化氢等)通过还原炉尾气出口进入尾气回收装置。待还原炉达到停炉条件时，对还原炉进行降温、置换后，对其中的硅棒进行收割。

一般还原炉尾气出口位于还原炉底盘中央，在还原炉收割过程中，硅块一旦掉落，便直接从尾气出口掉落到尾气管线中，造成尾气管线堵塞，在下一批次运行时会造成尾气排放不畅，还原炉压力波动的问题。为防止掉落硅块堆积造成尾气管线堵塞，需要定期对还原炉尾气管线拆卸进行清理，一旦管道残留氯硅烷物料，清理过程存在安全风险，同时尾气管道属于一级清洗管道，经常拆装检修，会对尾气系统造成污染，直接影响多晶硅产品质量。

目前，多晶硅还原炉内尾气拦截方式主要包括使用一种钼合金尾气罩，这种尾气罩价格昂贵，且其结构及气流通道不具备对气流中的硅粉、硅块的拦截作用，管道设施和设备磨损依然严重。还有就是配置筛网状结构的合金或不锈钢部件，罩住尾气孔，但这也存在着容易被腐蚀，使用寿命短，需要经常更换，维修频繁，影响生产效率等问题。

鉴于此，特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种多晶硅还原炉尾气防护罩，能够有效防止硅块进入尾气管线，避免尾气管线堵塞，又能保证还原炉尾气的正常流通，大大减小清理尾气管线的工作量。

本实用新型的另一个目的在于提供一种多晶硅还原炉。本实用新型的又一个目的在于提供一种多晶硅生产系统。本实用新型的多晶硅还原炉和多晶硅生产系统包含上述的多晶硅还原炉尾气防护罩，因而至少具有与上述多晶硅还原炉尾气防护罩相同的优势。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种多晶硅还原炉尾气防护罩，所述防护罩包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；

所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；

所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。

作为进一步优选技术方案，所述防护罩采用碳－碳复合材料制成；

或者，所述防护罩的内表面和/或外表面上设置有碳－碳复合材料层。

作为进一步优选技术方案，所述排气通孔的高度为所述圆柱形侧壁的高度的0.6～0.8倍；

和/或，一个所述排气通孔的宽度为所述圆柱形侧壁侧面展开总宽度的0.05～0.15倍；

和/或，相邻两个所述排气通孔的间距为20～50mm；

和/或，所述圆柱形侧壁包括通孔部和连接部，所述连接部的外径小于所述通孔部的外径，所述通孔部的高度为所述连接部的高度的2.2～3.2倍。

作为进一步优选技术方案，所述圆柱形侧壁的底部与所述尾气出气口之间通过止口进行连接。

作为进一步优选技术方案，所述尾气出气口处还设置有尾气出气导管，所述尾气出气导管的下部设置有定位凸台，所述定位凸台的外径与所述圆柱形侧壁的内径相契合，使所述圆柱形侧壁紧密同心定位在所述尾气出气导管外面。

作为进一步优选技术方案，所述排气通孔的底端面与所述定位凸台的顶端面之间具有高度差，该高度差形成一个环向的储料环；

所述高度差在20～80mm之间。

作为进一步优选技术方案，所述防护罩为一体式的。

作为进一步优选技术方案，所述防护罩为组合式的。

根据本实用新型的另一个方面，本实用新型提供一种包含上述的多晶硅还原炉尾气防护罩的多晶硅还原炉。

根据本实用新型的另一个方面，本实用新型提供一种包含上述的多晶硅还原炉的多晶硅生产系统。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型在多晶硅还原炉尾气出气口处安装防护罩，该防护罩的顶部采用密闭的顶盖，侧部设有带有多个周向均布的排气通孔的圆柱形侧壁，进而可以有效防止硅块进入尾气管线，避免尾气管线堵塞，降低了因清理尾气管线过程中残余物料存在的安全风险，同时也减小了清理过程中对还原炉管线造成的污染，降低对多晶硅产品质量的影响。该还原炉尾气防护罩既能保证还原炉尾气的正常流通，又可以大大减小清理尾气管线的工作量。

2、本实用新型的多晶硅还原炉尾气防护罩为碳－碳复合材料防护罩，此材料既耐还原炉炉内高温，可以在1000℃左右高温环境下使用，又可以耐还原炉尾气中不定型桂的冲蚀，碳－碳复合材料的高强度可以防止还原炉硅棒倒棒、硅块掉落砸坏尾气罩的情况发生。

3、本实用新型的防护罩结构简单，安装和维护方便，能承受较高的温度和压力，延长了使用寿命且可靠性强，不需要频繁检修，降低了使用成本，保证了多晶硅产品质量的稳定性，易于推广应用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1提供的多晶硅还原炉尾气防护罩结构示意图；

图2为本实用新型实施例1提供的圆柱形侧壁侧面展开示意图；

图3为本实用新型实施例1提供的多晶硅还原炉尾气防护罩与尾气出气口连接示意图；

图4为本实用新型实施例2提供的多晶硅还原炉尾气防护罩结构示意图。

图标：1－圆柱形侧壁；2－顶盖；3－排气通孔；4－尾气出气口；5－尾气出气导管；6－定位凸台；7－储料环。

具体实施方式

下面对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

第一方面，在至少一个实施例中提供一种多晶硅还原炉尾气防护罩，所述防护罩包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；

所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；

所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。

为有效防止硅块掉入还原炉尾气管线，本实用新型在还原炉尾气出口处安装一尾气防护罩。该防护罩顶部采用密闭结构，而在侧部开孔。即，采用了圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口，圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔的结构，既防止了硅块掉入还原炉尾气管线，又保证了还原炉尾气的正常流通。此外，由于还原炉底盘尾气出口防护罩是在还原炉尾气1000℃左右高温环境下使用，同时高温还原炉尾气中含有氯硅烷、氯化氢、硅粉及无定型硅，对设备具有强烈的腐蚀和冲刷磨损，工况十分恶劣。因而，本实用新型的防护罩为碳－碳复合材料防护罩，可以耐高温、耐腐蚀、强度高，延长使用寿命，降低维修和更换成本。

碳－碳复合材料复合材料是以碳(或石墨)纤维及其织物为增强材料，以碳(或石墨)为基体，通过加工处理和碳化处理制成的全碳质复合材料。碳－碳复合材料因其诸多优异性能，如密度低、比强度高、耐高温、耐腐蚀、抗热冲击、摩擦性能好、尺寸稳定性高、热膨胀量小以及可设计性好等，受到越来越多领域的青睐，也符合多晶硅还原炉节能降耗的要求。

优选地，该防护罩在材质方面采用碳纤维编制再高温烧结工艺制成的碳－碳复合材料。此材料即耐还原炉炉内高温，又可以耐还原炉尾气中不定型硅的冲蚀，碳碳复合材料的高强度可以防止还原炉硅棒倒棒、硅块掉落砸坏尾气罩的情况发生。

需要说明的是，本实用新型所述的碳－碳复合材料为现有技术中已知的材料，可采用市售的任意一种碳－碳复合材料，本实用新型对于其具体的形成方式以及成分等不作特殊限制。

在一种优选的实施方式中，所述防护罩采用碳－碳复合材料制成；

或者，所述防护罩的内表面和/或外表面上设置有碳－碳复合材料层；

优选地，在所述防护罩的内表面上设置碳－碳复合材料层。

可以理解的是，该防护罩中，可以直接采用现有的碳－碳复合材料加工制成圆柱形侧壁和顶盖，然后再将其安装到尾气出气口处。也可以在加工好的圆柱形侧壁和顶盖的内表面/外表面上涂一层碳－碳复合材料层，且该材料层的厚度根据防护罩的尺寸规格任意灵活调整。这样充分利用了碳－碳复合材料的耐高温、耐腐蚀、导热性好、摩擦性能好、抗热冲击、烧蚀率低、高温下高强度、一定的化学惰性等特殊性能，延长使用寿命，防止还原炉硅棒倒棒、硅块掉落砸坏尾气罩的情况发生。

在一种优选的实施方式中，所述排气通孔的高度为所述圆柱形侧壁的高度的0.6～0.8倍，优选为0.65～0.75倍，进一步优选为0.68～0.72倍；例如圆柱形侧壁的高度为110mm时，排气通孔的高度优选为80mm。典型但非限制性的，排气通孔的高度例如可以为圆柱形侧壁的高度的0.6倍、0.62倍、0.64倍、0.65倍、0.66倍、0.67倍、0.68倍、0.69倍、0.7倍、0.71倍、0.72倍、0.73倍、0.74倍、0.75倍、0.76倍、0.77倍、0.78倍、0.79倍或0.8倍。实际应用中，可根据圆柱形侧壁的尺寸在此范围内灵活的调整排气通孔的高度。

排气通孔位于圆柱形侧壁的中上部位置，圆柱形侧壁的中下部用于与尾气出气口或尾气管连接。适宜的排气通孔开孔高度，既有利于尾气的正常流通，防止硅料渣等掉落到尾气管道内，又可以方便安装，确保防护罩与尾气出气口的安装牢固可靠性，安全、可靠性高。

优选地，一个所述排气通孔的宽度为所述圆柱形侧壁侧面展开总宽度的0.05～0.15倍；优选为0.06～0.12倍，进一步优选为0.07～0.1倍；例如，圆柱形侧壁侧面展开总宽度为457mm时，一个排气通孔的宽度为30mm。典型但非限制性的，排气通孔的宽度可以为圆柱形侧壁侧面展开总宽度的0.05倍、0.06倍、0.07倍、0.08倍、0.09倍、0.1倍、0.11倍、0.12倍、0.13倍、0.14倍或0.15倍。实际应用中，可根据圆柱形侧壁的尺寸在此范围内灵活的调整排气通孔的宽度。

优选地，相邻两个所述排气通孔的间距为20～50mm；优选为25～45mm，进一步优选为28～40mm；例如，圆柱形侧壁侧面展开总宽度为457mm时，相邻两个排气通孔的间距可以为30mm左右。典型但非限制性的，相邻两个排气通孔的间距例如可以为20mm、24mm、25mm、26mm、28mm、30mm、32mm、34mm、35mm、36mm、38mm、40mm、42mm、45mm、48mm或50mm。实际应用中，可根据圆柱形侧壁的尺寸灵活的调整相邻两个排气通孔之间的间距。

适宜的排气通孔开孔宽度以及排气通孔的间距，既有利于尾气的正常流通，保证还原炉压力的稳定性，使得气体分布均匀，防止硅料渣等掉落到尾气管道内，避免尾气管堵塞，又方便加工，便于制造，还可从通孔观测到防护罩内腔。

优选地，所述圆柱形侧壁包括通孔部和连接部，所述连接部的外径小于所述通孔部的外径，所述通孔部的高度为所述连接部的高度2.2～3.2倍。例如圆柱形侧壁的高度为110mm时，通孔部的高度优选为80mm，连接部的高度优选为30mm。典型但非限制性的，通孔部的高度为连接部的高度的2.2倍、2.3倍、2.4倍、2.5倍、2.6倍、2.7倍、2.8倍、2.9倍、3.0倍、3.1倍或3.2倍。实际应用中，可根据圆柱形侧壁的尺寸在此范围内灵活的调整通孔部和连接部的尺寸。

其中的连接部位于通孔部的下方，连接部为向内凹陷的柱状体，或者连接部的壁厚小于通孔部的壁厚，使得连接部的外径小于通孔部的外径，进而有助于连接部与尾气出气口的固定连接，方便连接、安装，便于制造，且连接可靠性好。

在一种优选的实施方式中，所述排气通孔的形状为长方形、正方形、菱形或圆形。

优选地，所述排气通孔的形状为长方形。

可以理解的是，本实用新型对于排气通孔的具体形状不作特殊限制，包括但不限于上述几种形状，还可以采用本领域技术人员熟知的其他形状。优选采用的是长方形，方便加工制造，也有利于尾气的正常流通。

在一种优选的实施方式中，所述排气通孔的数量为5～15个，优选为6～12个，进一步优选为7～10个。实际应用中，也可根据具体需要，根据还原炉的结构、尺寸以及防护罩的尺寸，对排气通孔的数量进行相应的调整。

适宜的排气通孔的数量，既有利于尾气的正常流通，保证还原炉压力的稳定性，使得气体分布均匀，防止硅料渣等掉落到尾气管道内，避免尾气管堵塞，又方便加工，便于安装和制造。

本实用新型通过改变圆柱形内侧壁上的排气通孔高度、宽度、开孔数量、间距等，来改变尾气出口方向和面积，优化气体流场分布，保证了还原炉尾气管道的畅通，以及后续工艺气体的清洁度，提高了多晶硅产品的质量。

在一种优选的实施方式中，所述圆柱形侧壁的底部与所述尾气出气口之间通过止口进行连接。

优选地，所述止口为上下扣合的台阶面，或者为上下扣合的两个坡面。

实际装配时，可通过止口，不需要其他辅助工具便可直接将防护罩与尾气出气口组装在一起，方便制造、装配和使用，成本低，实用性强。

在一种优选的实施方式中，所述尾气出气口处还设置有尾气出气导管，所述尾气出气导管的下部设置有定位凸台，所述定位凸台的外径与所述圆柱形侧壁的内径相契合，使所述圆柱形侧壁紧密同心定位在所述尾气出气导管外面。

优选地，所述尾气出气导管插置在尾气出气口上；

可选地，所述尾气出气导管为含夹套冷却水的双层导管。这样有利于优化气体流场分布，提高多晶硅产品的质量。

上述尾气出气导管设置在圆柱形侧壁内部，圆柱形侧壁的内壁与尾气出气管外壁之间形成一定升程的气流上升环道，该升程可根据实际使用效果来调节；这样对于拦截尾气中的硅料渣有很好的效果。

在一种优选的实施方式中，所述排气通孔的底端面与所述定位凸台的顶端面之间具有高度差，该高度差形成一个环向的储料环；

所述高度差在20～80mm之间。在尾气出气导管外部安装完防护罩后，在定位凸台处即形成了固体物料储料环，一定的上述高度差可以保证储料环具有足够的容量来收集尾气中沉降下来的固体物料；该储料环的具体尺寸可根据实际使用效果来进行调整。

在一种优选的实施方式中，所述防护罩为一体式的。

该防护罩在加工制造时，可以采用圆柱形侧壁与顶盖一体成型的方式，也可以分别加工制造圆柱形侧壁和顶盖，然后再将二者进行组合。

在一种优选的实施方式中，所述防护罩为组合式的。

优选地，所述圆柱形侧壁的上端与所述顶盖为无缝连接。

本实用新型的圆柱形侧壁的上端与顶盖连接，形成封闭结构，封闭的顶盖可限制尾气垂直方向的流动。

优选地，所述顶盖为圆形；所述顶盖的外径略大于所述圆柱形侧壁的外径。

上述防护罩通过合理的结构设计，不仅便于制造、装配和使用，而且耐高温、耐蚀性能好，具有足够的强度和良好的整体性，在使用期限内不会出现起包、分层、脱落、变形、坍塌、腐蚀、碎裂等现象，同时硅料渣也未发生掉落到尾气管道的情况；具有方便性、安全性、实用性和耐用性等优势，在还原炉中使用可保证多晶硅产品质量的稳定性。

第二方面，在至少一个实施例中提供一种多晶硅还原炉，该多晶硅还原炉包含上述的多晶硅还原炉尾气防护罩。

第三方面，在至少一个实施例中提供一种多晶硅生产系统，该多晶硅生产系统包含上述的多晶硅还原炉。

可以理解的是，本实用新型对于多晶硅还原炉包含的其他部件以及多晶硅还原炉的整体结构不做特殊限制，该多晶硅还原炉的核心在于包含了本实用新型的多晶硅还原炉尾气防护罩。同样，对于多晶硅生产系统所包含的其他装置和设备也不做特殊限制，该多晶硅生产系统的核心在于包含了本实用新型的多晶硅还原炉。

上述多晶硅还原炉和多晶硅生产系统包含上述的多晶硅还原炉尾气防护罩，因而至少具有与上述多晶硅还原炉尾气防护罩相同的优势，本实用新型在此不再赘述。

下面结合具体实施例，对本实用新型作进一步说明。

实施例1

如图1－图3所示，一种多晶硅还原炉尾气防护罩，该防护罩包括圆柱形侧壁1，圆柱形侧壁1的顶端连接封闭的顶盖2，圆柱形侧壁1的低端连接尾气出气口4；

圆柱形侧壁1上开设有多个周向均布的排气通孔3；

防护罩为碳－碳复合材料防护罩。

其中，防护罩采用碳－碳复合材料制成；或者，防护罩的内表面和/或外表面上设置有碳－碳复合材料层。

排气通孔3的高度为圆柱形侧壁1的高度的0.6～0.8倍；一个排气通孔3的宽度为圆柱形侧壁1侧面展开总宽度的0.05～0.15倍；相邻两个排气通孔3的间距为20～50mm；圆柱形侧壁1包括通孔部和连接部，连接部的外径小于通孔部的外径，通孔部的高度为连接部的高度的2.2～3.2倍。排气通孔3的形状为长方形。排气通孔3的数量为5～10个。

圆柱形侧壁1的底部与尾气出气口4之间通过止口进行连接。止口为上下扣合的台阶面，或者为上下扣合的两个坡面。

该防护罩为一体式的。

实施例2

如图4所示，一种多晶硅还原炉尾气防护罩，该防护罩包括圆柱形侧壁1，圆柱形侧壁1的顶端连接封闭的顶盖2，圆柱形侧壁1的低端连接尾气出气口4；

圆柱形侧壁1上开设有多个周向均布的排气通孔3；

防护罩为碳－碳复合材料防护罩。

与实施例1的区别在于，本实施例中，在尾气出气口4处还设置有尾气出气导管5，尾气出气导管5的下部设置有定位凸台6，定位凸台6的外径与圆柱形侧壁1的内径相契合，使圆柱形侧壁1紧密同心定位在尾气出气导管5外面。尾气出气导管5插置在尾气出气口4上。排气通孔3的底端面与定位凸台6的顶端面之间具有一定的高度差，该高度差形成一个环向的储料环7；该高度差在20～80mm之间。

该防护罩为组合式的。圆柱形侧壁1的上端与顶盖2为无缝连接。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述防护罩包括圆柱形侧壁，所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖，所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口；

所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔；

所述防护罩为碳－碳复合材料防护罩。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述防护罩采用碳－碳复合材料制成；

或者，所述防护罩的内表面和/或外表面上设置有碳－碳复合材料层。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述排气通孔的高度为所述圆柱形侧壁的高度的0.6～0.8倍；

和/或，一个所述排气通孔的宽度为所述圆柱形侧壁侧面展开总宽度的0.05～0.15倍；

和/或，相邻两个所述排气通孔的间距为20～50mm；

和/或，所述圆柱形侧壁包括通孔部和连接部，所述连接部的外径小于所述通孔部的外径，所述通孔部的高度为所述连接部的高度2.2～3.2倍。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述圆柱形侧壁的底部与所述尾气出气口之间通过止口进行连接。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述尾气出气口处还设置有尾气出气导管，所述尾气出气导管的下部设置有定位凸台，所述定位凸台的外径与所述圆柱形侧壁的内径相契合，使所述圆柱形侧壁紧密同心定位在所述尾气出气导管外面。

6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述排气通孔的底端面与所述定位凸台的顶端面之间具有高度差，该高度差形成一个环向的储料环；

所述高度差在20～80mm之间。

7.根据权利要求1～6任一项所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述防护罩为一体式的。

8.根据权利要求1～6任一项所述的多晶硅还原炉尾气防护罩，其特征在于，所述防护罩为组合式的。

9.一种多晶硅还原炉，其特征在于，包含权利要求1～8任一项所述的多晶硅还原炉尾气防护罩。

10.一种多晶硅生产系统，其特征在于，包含权利要求9所述的多晶硅还原炉。