CN209036248U - 一种光电元器件加工用半导体研磨装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光电元器件加工用半导体研磨装置,包括壳体、物料研磨筒、支撑底座,所述壳体内部设置有所述支撑底座,所述支撑底座上设置有压力传感器,所述压力传感器上方设置有所述物料研磨筒,所述物料研磨筒上方设置有第一研磨轮,所述第一研磨轮上方设置有第一固定杆,所述第一固定杆上方设置有第一电机,所述第一研磨轮侧面设置有第二研磨轮,所述第二研磨轮上方设置有第二固定杆,所述第二固定杆上方设置有第二电机。有益效果在于:本实用新型能保证第一研磨轮和第二研磨轮对物料施加压力的稳定,提高了工作精度,能通过缓冲弹簧能保护物料,提高了工作效率和工作质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体研磨装置领域,特别是涉及一种光电元器件加工用半导体研磨装置。
背景技术
随着电子技术的迅速发展,各种智能电子设备越来越多的出现在我们的生活中,光电元器件是智能电子设备生产过程中经常用到的元件,而半导体又是光电元器件生产加工中的重要部分,半导体研磨是对半导体晶圆表面进行抛光处理的一种技术。
传统的半导体研磨装置在使用过程中存在加工精度低、工作效率低、工作效果差等问题,使用起来不方便。
实用新型内容
为了克服上述问题,本实用新型的目的在于,提供一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其优点是提高了工作精度、工作效率和工作质量。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
一种光电元器件加工用半导体研磨装置,包括壳体、物料研磨筒、支撑底座,所述壳体内部设置有所述支撑底座,所述支撑底座上设置有压力传感器,所述压力传感器型号为LZ-ZS3,所述压力传感器上方设置有所述物料研磨筒,所述物料研磨筒上方设置有第一研磨轮,所述第一研磨轮上方设置有第一固定杆,所述第一固定杆上方设置有第一电机,所述第一研磨轮侧面设置有第二研磨轮,所述第二研磨轮上方设置有第二固定杆,所述第二固定杆上方设置有第二电机,所述第二电机和所述第一电机外侧都设置有保护罩,所述保护罩之间设置有控制器,所述控制器型号为KY02S,所述控制器上方设置有第二支撑板,所述第二支撑板上方设置有电动推杆,所述电动推杆上方设置有第一支撑板,所述第一支撑板上方设置有缓冲弹簧,所述壳体前部设置有箱门,所述箱门上方设置有控制面板,所述控制面板上设置有触摸屏,所述触摸屏下方设置有扬声器,所述扬声器、所述触摸屏、所述电动推杆、所述压力传感器、所述第一电机和所述第二电机与所述控制器电连接。
如此设置,能所述第一研磨轮和所述第二研磨轮同时进行研磨工作,提高了工作效率,能通过所述压力传感器检测研磨时的压力大小,便于提高工作精度,而所述缓冲弹簧能保护物料,提高了工作质量。
上述结构中,打开所述箱门,将待加工的物料放入所述物料研磨筒内,关上所述箱门,通过所述触摸屏使设备开始进行研磨工作,所述电动推杆带动所述第二支撑板向下移动,当所述压力传感器检测到的压力值到达压力设定值后,所述电动推杆停止工作,所述第一研磨轮和所述第二研磨轮与物料充分接触,所述第一电机和所述第二电机工作,带动所述第一研磨轮和所述第二研磨轮转动,对物料进行研磨处理,所述缓冲弹簧能吸收研磨过程中的振动,避免振动影响所述第一研磨轮和所述第二研磨轮的工作,能保护物料,有效提高了研磨工作的质量和效率。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述支撑底座与所述壳体通过螺栓固定连接,所述支撑底座与所述物料研磨筒通过卡槽固定连接。
如此设置,保证了所述壳体和所述物料研磨筒与所述支撑底座的连接稳定性。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一电机与所述第一固定杆通过联轴器固定连接,所述第一固定杆与所述第一研磨轮通过螺钉固定连接。
如此设置,保证了所述第一电机和所述第一研磨轮与所述第一固定杆的连接稳定性。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第二电机与所述第二固定杆通过联轴器固定连接,所述第二固定杆与所述第二研磨轮通过螺钉固定连接。
如此设置,保证了所述第二电机和所述第二研磨轮与所述第二固定杆的连接稳定性。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一支撑板与所述缓冲弹簧通过螺钉固定连接,所述壳体与所述缓冲弹簧通过螺钉固定连接。
如此设置,保证了所述第一支撑板和所述壳体与所述缓冲弹簧的连接稳定性。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述电动推杆与所述第一支撑板通过螺钉固定连接,所述电动推杆与所述第二支撑板通过螺钉固定连接。
如此设置,保证了所述第一支撑板和所述第二支撑板与所述电动推杆的连接稳定性。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述箱门与所述壳体通过铰链连接,所述控制面板与所述壳体通过螺钉固定连接。
如此设置,保证了所述箱门和所述控制面板与所述壳体的连接稳定性。
本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型能保证第一研磨轮和第二研磨轮对物料施加压力的稳定,提高了工作精度,能通过缓冲弹簧能保护物料,提高了工作效率和工作质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型所述一种光电元器件加工用半导体研磨装置的内部结构示意图;
图2是本实用新型所述一种光电元器件加工用半导体研磨装置的主视图;
图3是本实用新型所述一种光电元器件加工用半导体研磨装置中缓冲弹簧的主视图;
图4是本实用新型所述一种光电元器件加工用半导体研磨装置的电路结构流程框图。
附图标记说明如下:
1、压力传感器;2、支撑底座;3、物料研磨筒;4、第一研磨轮;5、第一固定杆;6、保护罩;7、第一电机;8、第二支撑板;9、缓冲弹簧;10、第一支撑板;11、电动推杆;12、壳体;13、控制器;14、第二电机;15、第二固定杆;16、第二研磨轮;17、控制面板;18、触摸屏;19、扬声器;20、箱门。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
第一实施例:
如图1-图4所示,一种光电元器件加工用半导体研磨装置,包括壳体12、物料研磨筒3、支撑底座2,壳体12内部设置有支撑底座2,支撑底座2的作用是支撑物料研磨筒3,支撑底座2上设置有压力传感器1,压力传感器1型号为LZ-ZS3,作用是便于检测压力变化,压力传感器1上方设置有物料研磨筒3,物料研磨筒3上方设置有第一研磨轮4,第一研磨轮4上方设置有第一固定杆5,第一固定杆5上方设置有第一电机7,第一电机7的作用是便于带动第一研磨轮4转动,第一研磨轮4侧面设置有第二研磨轮16,第二研磨轮16上方设置有第二固定杆15,第二固定杆15上方设置有第二电机14,第二电机14的作用是便于带动第二研磨轮16转动,第二电机14和第一电机7外侧都设置有保护罩6,保护罩6之间设置有控制器13,控制器13型号为KY02S,作用是控制设备的工作,控制器13上方设置有第二支撑板8,第二支撑板8上方设置有电动推杆11,电动推杆11的作用是便于带动第二支撑板8上下移动,电动推杆11上方设置有第一支撑板10,第一支撑板10上方设置有缓冲弹簧9,缓冲弹簧9的作用是便于保护物料,提高研磨质量,壳体12前部设置有箱门20,箱门20上方设置有控制面板17,控制面板17上设置有触摸屏18,触摸屏18下方设置有扬声器19,扬声器19、触摸屏18、电动推杆11、压力传感器1、第一电机7和第二电机14与控制器13电连接。
第二实施例:
第二实施例与第一实施例的区别在于:第一电机7与第一固定杆5通过联轴器固定连接,第一固定杆5与第一研磨轮4通过螺钉固定连接。
具体地,第一电机7与第一固定杆5通过联轴器固定连接,保证了第一电机7与第一固定杆5的连接稳定性,第一固定杆5与第一研磨轮4通过螺钉固定连接,保证了第一固定杆5与第一研磨轮4的连接稳定性,便于带动第一研磨轮4转动。
第三实施例:
第三实施例与第一实施例的区别在于:第二电机14与第二固定杆15通过联轴器固定连接,第二固定杆15与第二研磨轮16通过螺钉固定连接。
具体地,第二电机14与第二固定杆15通过联轴器固定连接,保证了第二电机14与第二固定杆15的连接稳定性,第二固定杆15与第二研磨轮16通过螺钉固定连接,保证了第二固定杆15与第二研磨轮16的连接稳定性,便于带动第二研磨轮16转动。
本实用新型在使用时,打开箱门20,将待加工的物料放入物料研磨筒3内,关上箱门20,通过触摸屏18使设备开始进行研磨工作,电动推杆11带动第二支撑板8向下移动,当压力传感器1检测到的压力值到达压力设定值后,电动推杆11停止工作,第一研磨轮4和第二研磨轮16与物料充分接触,第一电机7和第二电机14工作,带动第一研磨轮4和第二研磨轮16转动,对物料进行研磨处理,缓冲弹簧9能吸收研磨过程中的振动,避免振动影响第一研磨轮4和第二研磨轮16的工作,能保护物料,有效提高了研磨工作的质量和效率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
Claims (7)
1.一种光电元器件加工用半导体研磨装置,包括壳体、物料研磨筒、支撑底座,其特征在于:所述壳体内部设置有所述支撑底座,所述支撑底座上设置有压力传感器,所述压力传感器上方设置有所述物料研磨筒,所述物料研磨筒上方设置有第一研磨轮,所述第一研磨轮上方设置有第一固定杆,所述第一固定杆上方设置有第一电机,所述第一研磨轮侧面设置有第二研磨轮,所述第二研磨轮上方设置有第二固定杆,所述第二固定杆上方设置有第二电机,所述第二电机和所述第一电机外侧都设置有保护罩,所述保护罩之间设置有控制器,所述控制器上方设置有第二支撑板,所述第二支撑板上方设置有电动推杆,所述电动推杆上方设置有第一支撑板,所述第一支撑板上方设置有缓冲弹簧,所述壳体前部设置有箱门,所述箱门上方设置有控制面板,所述控制面板上设置有触摸屏,所述触摸屏下方设置有扬声器,所述扬声器、所述触摸屏、所述电动推杆、所述压力传感器、所述第一电机和所述第二电机与所述控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其特征在于:所述支撑底座与所述壳体通过螺栓固定连接,所述支撑底座与所述物料研磨筒通过卡槽固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其特征在于:所述第一电机与所述第一固定杆通过联轴器固定连接,所述第一固定杆与所述第一研磨轮通过螺钉固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其特征在于:所述第二电机与所述第二固定杆通过联轴器固定连接,所述第二固定杆与所述第二研磨轮通过螺钉固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其特征在于:所述第一支撑板与所述缓冲弹簧通过螺钉固定连接,所述壳体与所述缓冲弹簧通过螺钉固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其特征在于:所述电动推杆与所述第一支撑板通过螺钉固定连接,所述电动推杆与所述第二支撑板通过螺钉固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用半导体研磨装置,其特征在于:所述箱门与所述壳体通过铰链连接,所述控制面板与所述壳体通过螺钉固定连接。
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CN114599481A (zh) * | 2019-11-08 | 2022-06-07 | 斯沃奇集团研究和开发有限公司 | 带可移除的插入式模块化系统和集成传感器的抛光箱 |
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