CN209021794U - 一种半自动硅片倒角生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半自动硅片倒角生产设备，包括：机架，所述机架设置有第一安装区域，第二安装区域和第三安装区域；倒角组件，所述倒角组件安装设置在所述第一安装区域上；横向驱动组件，所述横向驱动组件安装设置在所述第三安装区域上；纵向驱动组件，所述纵向驱动组件滑动设置在所述横向驱动组件上；以及吸附组件，所述吸附组件连接设置在所述纵向驱动组件上；所述左右定位组件与所述位置感应组件之间形成归零区域；本实用新型解决了通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度的技术问题，其倒角精度高，自动化程度高，结构巧妙，操作方便，节省劳动力输出，提高了工作效率，减少了生产成本。

Description

一种半自动硅片倒角生产设备

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种半自动硅片倒角生产设备。

背景技术

硅片在制作时，需要进行倒角，来增加硅片边缘表面的机械强度，目前市场上的一些硅片倒角设备往往是采用将硅片固定，由成型刀具的移动对硅片进行倒角，由于成型刀具比较笨重，使得其无法保证硅片的倒角精度，无法提高生产效率。

专利号为CN201720152288.3的专利文献公开了一种硅片倒小弧度圆角工装，由给进组件和夹具组件两部分组成，所述夹具组件的顶部夹持硅片，底部与研磨机连接并在所述研磨机的驱动下带动所述硅片高速旋转；所述给进组件包括工作台，安装在所述工作台上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具为成型刀具，所述成型刀具在所述工作台的控制下向所述夹具组件接近，磨削所述夹具组件端部的硅片，有益效果为：适用范围广，对难加工的小尺寸圆角具有良好的加工能力。

但是，在实际使用过程中，发明人发现该技术方案存在许多不足之处，如通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，通过设置横向驱动组件和纵向驱动组件，控制硅片移动来进行倒角，从而解决了通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度的技术问题，其倒角精度高，自动化程度高，结构巧妙，操作方便，节省劳动力输出，提高了工作效率，减少了生产成本。

针对以上技术问题，采用技术方案如下：一种半自动硅片倒角生产设备，包括：

机架，所述机架设置有第一安装区域，第二安装区域和第三安装区域；

倒角组件，所述倒角组件安装设置在所述第一安装区域上；

左右定位组件，所述左右定位组件安装设置在所述第二安装区域上；

位置感应组件，所述位置感应组件固定设置在所述第一安装区域上，且其位于所述倒角组件上方；

横向驱动组件，所述横向驱动组件安装设置在所述第三安装区域上；

纵向驱动组件，所述纵向驱动组件滑动设置在所述横向驱动组件上，且其与所述横向驱动组件垂直设置；以及

吸附组件，所述吸附组件连接设置在所述纵向驱动组件上；

所述左右定位组件与所述位置感应组件之间形成归零区域。

作为优选，所述倒角组件还包括：

上下导轨安装板，所述上下导轨安装板固定设置在所述第一安装区域上；

上下导轨调整板，所述上下导轨调整板设置在所述上下导轨安装板上；

高度调节轨道，所述高度调节轨道固定设置在所述上下导轨调整板上；

上下调节丝杠，所述上下调节丝杠转动设置在所述高度调节轨道内；

上下调节滚珠螺母，所述上下调节滚珠螺母配合设置在所述上下调节丝杠上；

安装座，所述安装座固定设置在所述上下调节滚珠螺母上；

砂轮机，所述砂轮机竖直安装在所述安装座上；

倒角砂轮，所述倒角砂轮同轴设置在所述砂轮机的旋转轴上。

作为优选，所述左右定位组件还包括：

安装板，所述安装板固定设置在所述第二安装区域上；

连接块，所述连接块一端连接设置在所述安装板上；

支撑板，所述支撑板连接设置在所述连接块的另一端；

电机，所述电机固定设置在所述安装板上，且其位于所述机架的外侧；

左右定位丝杠，所述左右定位丝杠一端与所述电机的输出轴同轴连接设置，其另一端转动设置在所述支撑板上；

左右定位滚珠螺母，所述左右定位滚珠螺母滑动设置于所述左右定位丝杠上；

连接杆，所述连接杆固定设置在所述左右定位滚珠螺母上；

硅片导向块安装板，所述硅片导向块安装板固定设置在所述连接杆端面上；以及

硅片导向块，所述硅片导向块固定设置在所述硅片导向块安装板上。

作为优选，所述位置感应组件还包括：

位置感应调节板，所述位置感应调节板固定设置在所述第一安装区域上；

位置感应调节杆，所述位置感应调节杆通过腰槽a固定设置在所述位置感应调节板上；

位置感应上下调节板，所述位置感应上下调节板通过腰槽b固定设置在所述位置感应调节板的端面上；

位置感应头板，所述位置感应头板固定设置在所述位置感应上下调节板；以及

位置感应板，所述位置感应板固定设置在所述位置感应头板上。

作为优选，所述横向驱动组件还包括：

横向滑轨安装板，所述横向滑轨安装板固定设置在所述第三安装区域上；

横向滑动轨道，所述横向滑动轨道固定设置在所述横向滑轨安装板上；

横向驱动丝杠，所述横向驱动丝杠转动设置在所述横向滑动轨道内；

横向驱动滚珠螺母，所述横向驱动滚珠螺母配合设置在所述横向驱动丝杠上；

纵向安装座，所述纵向安装座固定设置在所述横向驱动滚珠螺母上，其随着横向驱动滚珠螺母沿着所述横向滑动轨道的长度方向往复直线移动；以及

横向驱动电机，所述横向驱动电机固定设置在所述横向滑动轨道的端面上，且其输出轴与所述横向驱动丝杠同轴连接设置。

作为优选，所述纵向驱动组件还包括：

纵向滑动轨道，所述纵向滑动轨道固定设置在所述纵向安装座上；

纵向驱动丝杠，所述纵向驱动丝杠转动设置在所述纵向滑动轨道内；

纵向驱动滚珠螺母，所述纵向驱动滚珠螺母配合设置在所述纵向驱动丝杠上；

安装台，所述安装台固定设置在所述纵向驱动滚珠螺母上；其随着纵向驱动滚珠螺母沿着所述纵向滑动轨道的宽度方向往复直线移动；以及

纵向驱动电机，所述纵向驱动电机固定设置在所述纵向滑动轨道的端面上，且其输出轴与所述纵向驱动丝杠同轴连接设置。

作为优选，所述吸附组件还包括：

载台倾角调节板，所述载台倾角调节板固定设置在所述安装台上；

载台支架，所述载台支架一端连接设置在所述载台倾角调节板上；以及

真空转台，所述真空转台固定设置在所述载台支架的另一端上。

作为优选，所述倒角砂轮的外圆面与所述位置感应板长度方向上的端面相切设置，且该倒角砂轮与所述位置感应板位于同一侧。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型中通过横向驱动组件和纵向驱动组件控制吸附组件的移动，使得硅片与倒角组件接触，从而实现对硅片的倒角处理，通过硅片的自由动作，来对硅片进行倒角处理，提高了倒角的精度，保证了加工质量，减少了生产成本；

(2)本实用新型中通过设置倒角砂轮的外圆面与位置感应板长度方向上的端面相切设置，且该倒角砂轮与位置感应板位于同一侧，使得在吸附组件位于归零区域时，将硅片放置在吸附组件上，由吸附组件吸附后，即可沿着位置感应板的长度方向向倒角砂轮处移动，对硅片进行倒角加工，提高了工作效率，提高了硅片倒角精度，保证了加工质量，减少了生产成本，节省劳动力输出；

(3)本实用新型中通过设置归零区域，实现对硅片中心与真空转台中心的快速校准，提高了生产效率，提高了硅片的倒角精度，保证了加工质量；

(4)本实用新型中通过将安装座固定设置在上下调节滚珠螺母上，实现对砂轮机高度的快速调节和准确控制，提高了加工效率和加工精度，增大了适用范围；

(5)本实用新型中通过设置机架，提高了设备的稳定性，保证了加工精度。

综上所述，该设备具有硅片倒角精度高，自动化程度高，结构巧妙，工作效率高，使用范围广的优点，尤其适用于硅片加工技术领域。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型半自动硅片倒角生产设备的第一结构示意图；

图2为本实用新型半自动硅片倒角生产设备的第二结构示意图；

图3为图2中A处放大图；

图4为图2中B处放大图；

图5为本实用新型半自动硅片倒角生产设备的俯视示意图；

图6为本实用新型倒角组件结构示意图；

图7为本实用新型倒角组件剖视示意图；

图8为本实用新型横向驱动组件与纵向驱动组件剖视示意图；

图9为本实用新型半自动硅片倒角生产设备工作状态示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明。

实施例一

如图1、图2和图5所示，一种半自动硅片倒角生产设备，包括：

机架1，所述机架1设置有第一安装区域11，第二安装区域12和第三安装区域13；

倒角组件2，所述倒角组件2安装设置在所述第一安装区域11上；

左右定位组件3，所述左右定位组件3安装设置在所述第二安装区域12上；

位置感应组件4，所述位置感应组件4固定设置在所述第一安装区域11上，且其位于所述倒角组件2上方；

横向驱动组件5，所述横向驱动组件5安装设置在所述第三安装区域13上；

纵向驱动组件6，所述纵向驱动组件6滑动设置在所述横向驱动组件5上，且其与所述横向驱动组件5垂直设置；以及

吸附组件7，所述吸附组件7连接设置在所述纵向驱动组件6上；

所述左右定位组件3与所述位置感应组件4之间形成归零区域8。

在本实施例中，通过设置归零区域8，对吸附组件7进行归零，同时将硅片放置在吸附组件7上，由吸附组件7对硅片进行吸附，再通过横向驱动组件5和纵向驱动组件6控制吸附组件7的移动，使得硅片与倒角组件2接触，从而实现对硅片的倒角处理，通过硅片的自由动作，来对硅片进行倒角处理，提高了倒角的精度，保证了加工质量，减少了生产成本。

进一步，如图1、图6和图7所示，所述倒角组件2包括：

上下导轨安装板21，所述上下导轨安装板21固定设置在所述第一安装区域11上；

上下导轨调整板22，所述上下导轨调整板22设置在所述上下导轨安装板21上；

高度调节轨道23，所述高度调节轨道23固定设置在所述上下导轨调整板22上；

上下调节丝杠24，所述上下调节丝杠24转动设置在所述高度调节轨道23内；

上下调节滚珠螺母25，所述上下调节滚珠螺母25配合设置在所述上下调节丝杠24上；

安装座26，所述安装座26固定设置在所述上下调节滚珠螺母25上；

砂轮机27，所述砂轮机27竖直安装在所述安装座26上；

倒角砂轮28，所述倒角砂轮28同轴设置在所述砂轮机27的旋转轴上。

在本实施例中，通过将安装座26固定设置在上下调节滚珠螺母25上，实现对砂轮机27高度的快速调节和准确控制，提高了加工效率和加工精度，增大了适用范围。

进一步，如图1、图2和图3所示，所述左右定位组件3包括：

安装板31，所述安装板31固定设置在所述第二安装区域12上；

连接块32，所述连接块32一端连接设置在所述安装板31上；

支撑板33，所述支撑板33连接设置在所述连接块32的另一端；

电机34，所述电机34固定设置在所述安装板31上，且其位于所述机架1的外侧；

左右定位丝杠35，所述左右定位丝杠35一端与所述电机34的输出轴同轴连接设置，其另一端转动设置在所述支撑板33上；

左右定位滚珠螺母36，所述左右定位滚珠螺母36滑动设置于所述左右定位丝杠35上；

连接杆37，所述连接杆37固定设置在所述左右定位滚珠螺母36上；

硅片导向块安装板38，所述硅片导向块安装板38固定设置在所述连接杆37端面上；以及

硅片导向块39，所述硅片导向块39固定设置在所述硅片导向块安装板38上。

在本实施例中，通过设置硅片导向块39，通过电机34的转动即可控制硅片导向块39与位置感应组件4之间的距离，从而调节归零区域8的大小，来适应不同规格的硅片尺寸，其调节方便，增大了适用范围。

进一步，如图2和图4所示，所述位置感应组件4包括：

位置感应调节板41，所述位置感应调节板41固定设置在所述第一安装区域11上；

位置感应调节杆42，所述位置感应调节杆42通过腰槽a421固定设置在所述位置感应调节板41上；

位置感应上下调节板43，所述位置感应上下调节板43通过腰槽b431固定设置在所述位置感应调节板41的端面上；

位置感应头板44，所述位置感应头板44固定设置在所述位置感应上下调节板43；以及

位置感应板45，所述位置感应板45固定设置在所述位置感应头板44上。

在本实施例中，通过设置腰槽a421和腰槽b431，实现对位置感应板45的上下及前后位置的快速调节，从而达到需要的位置，其提高了生产效率，保证了加工精度，增大了适用范围。

进一步，如图2、图5和图8所示，所述横向驱动组件5包括：

横向滑轨安装板51，所述横向滑轨安装板51固定设置在所述第三安装区域13上；

横向滑动轨道52，所述横向滑动轨道52固定设置在所述横向滑轨安装板51上；

横向驱动丝杠53，所述横向驱动丝杠53转动设置在所述横向滑动轨道52内；

横向驱动滚珠螺母54，所述横向驱动滚珠螺母54配合设置在所述横向驱动丝杠53上；

纵向安装座55，所述纵向安装座55固定设置在所述横向驱动滚珠螺母54上，其随着横向驱动滚珠螺母54沿着所述横向滑动轨道52的长度方向往复直线移动；以及

横向驱动电机56，所述横向驱动电机56固定设置在所述横向滑动轨道52的端面上，且其输出轴与所述横向驱动丝杠53同轴连接设置。

进一步，如图2、图5和图8所示，所述纵向驱动组件6包括：

纵向滑动轨道61，所述纵向滑动轨道61固定设置在所述纵向安装座55上；

纵向驱动丝杠62，所述纵向驱动丝杠62转动设置在所述纵向滑动轨道61内；

纵向驱动滚珠螺母63，所述纵向驱动滚珠螺母63配合设置在所述纵向驱动丝杠62上；

安装台64，所述安装台64固定设置在所述纵向驱动滚珠螺母63上；其随着纵向驱动滚珠螺母63沿着所述纵向滑动轨道61的宽度方向往复直线移动；以及

纵向驱动电机65，所述纵向驱动电机65固定设置在所述纵向滑动轨道61的端面上，且其输出轴与所述纵向驱动丝杠62同轴连接设置。

在本实施例中，通过将纵向安装座55固定设置在横向驱动滚珠螺母54上，且由于设置纵向驱动丝杠62和纵向驱动滚珠螺母63，通过设置横向驱动电机56和纵向驱动电机65来对分别对横向驱动丝杠53和纵向驱动丝杠62进行驱动，从而实现对安装台64的横向和纵向移动控制，实现了对吸附组件7的横向和纵向上的移动控制，其自动化程度高，控制精准，自动化程度高，提高了生产效率，节省劳动力输出。

进一步，如图2和图5所示，所述吸附组件7包括：

载台倾角调节板71，所述载台倾角调节板71固定设置在所述安装台64上；

载台支架72，所述载台支架72一端连接设置在所述载台倾角调节板71上；以及

真空转台73，所述真空转台73固定设置在所述载台支架72的另一端上。

在本实施例中，通过将载台倾角调节板71固定设置在安装台64上，实现了真空转台73在横向和纵向上的自由移动，从而实现对硅片的倒角，其自动化程度高，自由度高，提高了工作效率，保证了硅片倒角的精度，减少了生产成本。

需要说明的是，当归零区域8调整至要加工的硅片尺寸后，真空转台73由横向驱动组件5和纵向驱动组件6控制，移动至归零区域8处，且真空转台73的圆心与归零区域8的中心重合，实现对吸附组件7的归零，然后将硅片的外圆边贴着硅片导向块39和位置感应板45的侧面放置在真空转台73上，由真空转台对硅片进行吸附，实现对硅片中心与真空转台73中心的快速校准，提高了生产效率，提高了硅片的倒角精度，保证了加工质量。

进一步，如图5所示，所述倒角砂轮28的外圆面与所述位置感应板45长度方向上的端面相切设置，且该倒角砂轮28与所述位置感应板45位于同一侧。

在本实施例中，通过设置倒角砂轮28的外圆面与位置感应板45长度方向上的端面相切设置，且该倒角砂轮28与位置感应板45位于同一侧，使得在吸附组件7位于归零区域8时，将硅片放置在吸附组件7上，由吸附组件7吸附后，即可沿着位置感应板45的长度方向向倒角砂轮28处移动，对硅片进行倒角加工，提高了工作效率，提高了硅片倒角精度，保证了加工质量，减少了生产成本，节省劳动力输出。

工作过程：

首先启动电机34，调整归零区域8的尺寸，接着通过横向驱动组件5和纵向驱动组件6控制吸附组件7移动至归零区域8处，真空转台73的圆心与归零区域8的中心重合，对吸附组件7进行归零，然后通过人工将硅片的外圆边贴着硅片导向块39和位置感应板45的侧面放置在真空转台73上，由真空转台对硅片进行吸附，最后由横向驱动组件5控制吸附组件7沿着位置感应板45的长度方向向倒角砂轮28处移动，对硅片进行倒角加工。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“前后”、“左右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或部件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对实用新型的限制。

当然在本技术方案中，本领域的技术人员应当理解的是，术语“一”应理解为“至少一个”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型的技术提示下可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，包括：

机架(1)，所述机架(1)设置有第一安装区域(11)，第二安装区域(12)和第三安装区域(13)；

倒角组件(2)，所述倒角组件(2)安装设置在所述第一安装区域(11)上；

左右定位组件(3)，所述左右定位组件(3)安装设置在所述第二安装区域(12)上；

位置感应组件(4)，所述位置感应组件(4)固定设置在所述第一安装区域(11)上，且其位于所述倒角组件(2)上方；

横向驱动组件(5)，所述横向驱动组件(5)安装设置在所述第三安装区域(13)上；

纵向驱动组件(6)，所述纵向驱动组件(6)滑动设置在所述横向驱动组件(5)上，且其与所述横向驱动组件(5)垂直设置；以及

吸附组件(7)，所述吸附组件(7)连接设置在所述纵向驱动组件(6)上；

所述左右定位组件(3)与所述位置感应组件(4)之间形成归零区域(8)。

2.根据权利要求1所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述倒角组件(2)包括：

上下导轨安装板(21)，所述上下导轨安装板(21)固定设置在所述第一安装区域(11)上；

上下导轨调整板(22)，所述上下导轨调整板(22)设置在所述上下导轨安装板(21)上；

高度调节轨道(23)，所述高度调节轨道(23)固定设置在所述上下导轨调整板(22)上；

上下调节丝杠(24)，所述上下调节丝杠(24)转动设置在所述高度调节轨道(23)内；

上下调节滚珠螺母(25)，所述上下调节滚珠螺母(25)配合设置在所述上下调节丝杠(24)上；

安装座(26)，所述安装座(26)固定设置在所述上下调节滚珠螺母(25)上；

砂轮机(27)，所述砂轮机(27)竖直安装在所述安装座(26)上；

倒角砂轮(28)，所述倒角砂轮(28)同轴设置在所述砂轮机(27)的旋转轴上。

3.根据权利要求1所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述左右定位组件(3)包括：

安装板(31)，所述安装板(31)固定设置在所述第二安装区域(12)上；

连接块(32)，所述连接块(32)一端连接设置在所述安装板(31)上；

支撑板(33)，所述支撑板(33)连接设置在所述连接块(32)的另一端；

电机(34)，所述电机(34)固定设置在所述安装板(31)上，且其位于所述机架(1)的外侧；

左右定位丝杠(35)，所述左右定位丝杠(35)一端与所述电机(34)的输出轴同轴连接设置，其另一端转动设置在所述支撑板(33)上；

左右定位滚珠螺母(36)，所述左右定位滚珠螺母(36)滑动设置于所述左右定位丝杠(35)上；

连接杆(37)，所述连接杆(37)固定设置在所述左右定位滚珠螺母(36)上；

硅片导向块安装板(38)，所述硅片导向块安装板(38)固定设置在所述连接杆(37)端面上；以及

硅片导向块(39)，所述硅片导向块(39)固定设置在所述硅片导向块安装板(38)上。

4.根据权利要求2所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述位置感应组件(4)包括：

位置感应调节板(41)，所述位置感应调节板(41)固定设置在所述第一安装区域(11)上；

位置感应调节杆(42)，所述位置感应调节杆(42)通过腰槽a(421)固定设置在所述位置感应调节板(41)上；

位置感应上下调节板(43)，所述位置感应上下调节板(43)通过腰槽b(431)固定设置在所述位置感应调节板(41)的端面上；

位置感应头板(44)，所述位置感应头板(44)固定设置在所述位置感应上下调节板(43)；以及

位置感应板(45)，所述位置感应板(45)固定设置在所述位置感应头板(44)上。

5.根据权利要求4所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述横向驱动组件(5)包括：

横向滑轨安装板(51)，所述横向滑轨安装板(51)固定设置在所述第三安装区域(13)上；

横向滑动轨道(52)，所述横向滑动轨道(52)固定设置在所述横向滑轨安装板(51)上；

横向驱动丝杠(53)，所述横向驱动丝杠(53)转动设置在所述横向滑动轨道(52)内；

横向驱动滚珠螺母(54)，所述横向驱动滚珠螺母(54)配合设置在所述横向驱动丝杠(53)上；

纵向安装座(55)，所述纵向安装座(55)固定设置在所述横向驱动滚珠螺母(54)上，其随着横向驱动滚珠螺母(54)沿着所述横向滑动轨道(52)的长度方向往复直线移动；以及

横向驱动电机(56)，所述横向驱动电机(56)固定设置在所述横向滑动轨道(52)的端面上，且其输出轴与所述横向驱动丝杠(53)同轴连接设置。

6.根据权利要求5所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述纵向驱动组件(6)包括：

纵向滑动轨道(61)，所述纵向滑动轨道(61)固定设置在所述纵向安装座(55)上；

纵向驱动丝杠(62)，所述纵向驱动丝杠(62)转动设置在所述纵向滑动轨道(61)内；

纵向驱动滚珠螺母(63)，所述纵向驱动滚珠螺母(63)配合设置在所述纵向驱动丝杠(62)上；

安装台(64)，所述安装台(64)固定设置在所述纵向驱动滚珠螺母(63)上；其随着纵向驱动滚珠螺母(63)沿着所述纵向滑动轨道(61)的宽度方向往复直线移动；以及

纵向驱动电机(65)，所述纵向驱动电机(65)固定设置在所述纵向滑动轨道(61)的端面上，且其输出轴与所述纵向驱动丝杠(62)同轴连接设置。

7.根据权利要求6所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述吸附组件(7)包括：

载台倾角调节板(71)，所述载台倾角调节板(71)固定设置在所述安装台(64)上；

载台支架(72)，所述载台支架(72)一端连接设置在所述载台倾角调节板(71)上；以及

真空转台(73)，所述真空转台(73)固定设置在所述载台支架(72)的另一端上。

8.根据权利要求4所述的一种半自动硅片倒角生产设备，其特征在于，所述倒角砂轮(28)的外圆面与所述位置感应板(45)长度方向上的端面相切设置，且该倒角砂轮(28)与所述位置感应板(45)位于同一侧。