CN208933461U - 一种蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。解决了现有技术中一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。

Description

一种蒸镀机

技术领域

本实用新型涉及设备领域，具体涉及一种蒸镀机。

背景技术

在OLED光电行业蒸镀制程中，通常利用蒸镀设备将多层薄膜相继沉积在玻璃基板上而形成。OLED蒸镀技术为利用一蒸发源，内部填充OLED材料，在真空环境下蒸发源加热使材料升华或气化，透过金属掩膜，蒸镀于基板上。

在蒸镀过程中，同一型号产品的通用掩膜板都是基本相同的。现有的蒸镀机玻璃在进入每一个腔室都需要再进行单独对位，就算是使用相同的通用掩膜板也要分别进行对位，并且蒸发源与腔室都是一体的，并没有互相独立的空间。目前有采用双腔室进行蒸镀同一种材料，这种方法虽然可以节约部分对位时间，但是这种方法还是没有解决一块玻璃需要在多个对位机构上对位的问题。

现有技术中的蒸镀设备在使用时一块蒸镀玻璃需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种蒸镀机，以解决一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。

为此，本实用新型实施例提供了如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在所述蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在所述蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，所述蒸镀材料源在所述蒸镀源轨道上运行，使得所述蒸镀材料源能够对所述基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。

可选地，所述蒸镀腔室包括多个。

可选地，所述蒸镀机还包括对位机构，所述对位机构用于调整放置在所述基座上的待蒸镀基板的位置。

可选地，所述蒸镀腔室内还设置有闸板阀，当所述闸板阀关闭时，将所述基座与所述待蒸镀材料源分割在不同的两个空间；当所述闸板阀开启时，所述蒸镀材料源能够对所述待蒸镀基板进行蒸镀。

可选地，当所述基板出现损坏时，所述闸板阀闭合。

可选地，所述蒸镀机还包括：基板装载腔室和基板卸载腔室。

可选地，所述基板装载腔室、所述蒸镀腔室和所述基板卸载腔室依次设置，围绕成的形状为环形。

可选地，所述蒸镀源轨道为环形。

可选地，所述蒸镀机还包括机械手，用于将所述待蒸镀基板放置在所述蒸镀腔室中，以及将蒸镀完成后的基板放置在所述基板卸载腔室中。

本实用新型实施例技术方案，具有如下优点：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，还包括蒸镀源轨道，在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。在对基板进行蒸镀过程中，通常需要对待蒸镀基板用几种不同的材料进行蒸镀，将待蒸镀基板放置在蒸镀腔室的基座上，通过对位机构调整基板位置，在蒸镀机内设置蒸镀源轨道，不同的蒸镀材料源在该蒸镀源轨道上运行，当一种蒸镀材料源运行到对准待蒸镀基板时，对基板进行蒸镀，蒸镀完成后该蒸镀材料源继续沿着蒸镀源轨道运行，另一种蒸镀材料源对准蒸镀基板进行蒸镀，以此完成对基板的整个蒸镀过程。通过此技术方案，使待蒸镀基板不需要多次在不同的对位机构上进行对位，只需要一次对位即可完成整个蒸镀过程，减小了蒸镀周期，同时也减少了基板在对位过程中破碎的风险。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的蒸镀机的一个装置示意图；

图2是根据本实用新型实施例的蒸镀机的蒸镀腔室的示意图；

图3是根据本实用新型实施例的蒸镀机的对位机构的示意图；

图4是根据本实用新型实施例的蒸镀机的另一个实施例的装置示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

在本实施例中提供了一种蒸镀机，图1是根据本实用新型实施例的蒸镀机的一个装置示意图，图1为俯视图，如图1所示，该蒸镀机包括一个蒸镀腔室11，在蒸镀腔室11内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，该蒸镀机还包括蒸镀源轨道12，在蒸镀源轨道12上设置有第一蒸镀材料源13和第二蒸镀材料源14，第一蒸镀材料源13和第二蒸镀材料源14在蒸镀源轨道12上运行，使得第一蒸镀材料源13和第二蒸镀材料源14能够对准基座上放置的待蒸镀基板，对待蒸镀基板进行蒸镀。例如蒸镀玻璃基板时，将玻璃基板放置在蒸镀腔室11的基座上，第一蒸镀材料源13对准玻璃基板后，对其进行蒸镀，在第一步蒸镀完成之后，第二蒸镀材料源14随着蒸镀源轨道12运行到对准蒸镀腔室11上放置的玻璃基板后，对其进行蒸镀，完成整个蒸镀过程，玻璃基板只需要在一个蒸镀腔室11内进行一次对位即可完成蒸镀，缩短蒸镀周期，减少了多次对位导致的基板破碎几率。

在另一个可选实施方式中，蒸镀腔室11可以设置多个，蒸镀材料源可根据实际情况设置多种，例如设置两个蒸镀腔室11，则可以同时蒸镀两块基板，在一种蒸镀材料源对一块基板蒸镀完成之后，则随着蒸镀源轨道12运行到另一个蒸镀腔室蒸镀另一块基板，节约蒸镀时间。

图2是根据本实用新型实施例的蒸镀机的蒸镀腔室的示意图，图2为蒸镀腔室11的主视图，如图2所示，为了更准确地对待蒸镀基板进行蒸镀，该蒸镀机还包括对位机构21，如图2所示，用于调整放置在上述基座上的待蒸镀基板的位置。具体地，当待蒸镀基板放进蒸镀腔室11的基座上时，如果其放置位置不准确，则会导致第一蒸镀材料源13不能准确地对准蒸镀基板，使蒸镀效果不好，蒸镀面积不满足要求等，因此使用对位机构21对放置在基座上的待蒸镀基板的位置进行调整，保证蒸镀效果。

具体地，如图3所示，本实用新型实施例中的对位机构21具体包括：掩膜板平台211、背板212、夹爪213及掩膜板214，当机械手送待蒸镀基板，即玻璃基板23至待蒸镀腔室11时，对位机构21的夹爪213夹取玻璃基板23，并将玻璃基板23与背板212贴合，然后摄像头读取玻璃基板23上的标记线和掩膜板214上的标记线，当玻璃基板23上的标记线与掩膜板214上的标记线有位置误差时，通过电机驱动掩膜板平台211移动，直至掩膜板214上的标记线与玻璃基板23上的标记线重合，然后电机驱动背板212及夹爪213向下移动，从而带动玻璃基板23向下移动，直至玻璃基板23与掩膜板214贴合，掩膜板214上设置有放置夹爪213的凹槽，此时，玻璃基板23夹在背板212和掩膜板214之间，然后再开始对玻璃基板23进行蒸镀。对位机构21的形式可以有多种，本实用新型实施例不以此为限制。

如图2所示，该蒸镀机的蒸镀腔室11内还设置有闸板阀22，当闸板阀22关闭时，将基座与待第一蒸镀材料源13分割在不同的两个空间；当闸板阀22开启时，第一蒸镀材料源13能够对准基座上放置的待蒸镀基板，对待蒸镀基板进行蒸镀。例如在一个有多个蒸镀腔室11的蒸镀机工作过程中，对位机构21将待蒸镀基板的位置调整为合适位置，在对位过程中，玻璃基板可能会出现破碎损坏，此时只能停止蒸镀机运行，打开蒸镀腔室11，取出损坏的基板，蒸镀机才能正常运行，在蒸镀腔室11内设置闸板阀22之后，所述闸板阀只有在蒸镀材料源对基板进行蒸镀时开启，如果蒸镀腔室11内的待蒸镀基板破碎，则闸板阀闭合，此时只需将此蒸镀腔室11打开，取出损坏的基板，第一蒸镀材料源13继续在蒸镀源轨道12上运行，对其他蒸镀腔室中的基板进行蒸镀。通过设置闸板阀，可以在个别蒸镀腔室出现故障时，单独处理此蒸镀腔室，不需要停止蒸镀机运行，解决了现有技术中对位机构出现问题时，不能单独对此腔室进行处理，必须停止蒸镀机的问题，同时在蒸镀机工作过程中，可以对每个蒸镀腔室依次更换内衬，节约时间，提高产能。

图4是根据本实用新型实施例的蒸镀机的另一个实施例的装置示意图，图4为蒸镀机的俯视图，如图4所示，该蒸镀机还包括一个基板装载腔室34和一个基板卸载腔室35，其中基板卸载腔室35也可以作为蒸镀腔室，在基板在该腔室蒸镀完成后，直接从该腔室卸载。在本实施例中，基板装载腔室34、蒸镀腔室11和基板卸载腔室35依次排序设置，即按照基板装载腔室34、多个蒸镀腔室11和基板卸载腔室35的顺序设置各个腔室，这些腔室围绕成的形状为环形，蒸镀源轨道12也为环形，蒸镀材料源可以在环形的轨道内运动，从而为各个蒸镀腔室内的待蒸镀基板进行蒸镀；机械手36放置在蒸镀机中间位置，用于将基板装载腔室34中的待蒸镀基板放置在蒸镀腔室11中，以及将蒸镀完成后的基板放置在基板卸载腔室35中。具体地，机械手36先将基板装载腔室34中的待蒸镀基板一一放置在蒸镀腔室11a、11b、11c、11d和35中，每块待蒸镀基板只需要进行一次对位，蒸镀材料源13a、13b、13c、13d、13e在蒸镀源轨道12上运行，当几种蒸镀材料源对准待蒸镀基板时，同时对几块待蒸镀基板进行蒸镀，当蒸镀材料源13a对蒸镀腔室11a中的基板蒸镀完成后继续沿着蒸镀源轨道12运行，当运行到蒸镀腔室11b时，再对蒸镀腔室11b中的基板进行蒸镀，蒸镀材料源循环运行，直到对所有蒸镀腔室里的基板蒸镀完成，机械手36将蒸镀完成后的基板放置在基板卸载腔室35中，基板通过基板卸载腔室35再进行后续的精细加工。通过蒸镀材料源在蒸镀源轨道上循环运行的方式，大大缩短了通用掩膜板的蒸镀周期，不需要一块基板进行多次对位，提高了蒸镀效率。

综上所述，本实用新型实施例提供的蒸镀机，通过在蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，该蒸镀材料源在蒸镀源轨道上运行，使得蒸镀材料源能够对准基座上放置的待蒸镀基板，解决了现有技术中一块待蒸镀基板需要多次在不同对位机构上进行对位，导致蒸镀周期长，且多次进行对位会使玻璃基板破片几率成倍增长的问题。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种蒸镀机，包括至少一个蒸镀腔室，在所述蒸镀腔室内设置有用于放置待蒸镀基板的基座，其特征在于，还包括：

蒸镀源轨道，在所述蒸镀源轨道上设置有多种蒸镀材料源，所述蒸镀材料源在所述蒸镀源轨道上运行，使得所述蒸镀材料源能够对所述基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。

2.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀腔室包括多个。

3.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，还包括：对位机构，所述对位机构用于调整放置在所述基座上的待蒸镀基板的位置。

4.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀腔室内还设置有闸板阀，当所述闸板阀关闭时，所述基座与所述蒸镀材料源分割在不同的两个空间；当所述闸板阀开启时，所述蒸镀材料源能够对所述基座上放置的待蒸镀基板进行蒸镀。

5.根据权利要求4所述的蒸镀机，其特征在于，所述基板出现损坏时，所述闸板阀闭合。

6.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，还包括：基板装载腔室和基板卸载腔室。

7.根据权利要求6所述的蒸镀机，其特征在于，所述基板装载腔室、所述蒸镀腔室和所述基板卸载腔室依次排序设置，围绕成的形状为环形。

8.根据权利要求1所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀源轨道为环形。

9.根据权利要求1至8任一项所述的蒸镀机，其特征在于，还包括机械手，用于将所述待蒸镀基板放置在所述蒸镀腔室中，以及将蒸镀完成后的基板放置在所述基板卸载腔室中。