CN208898976U - 一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，包括有机体，机体内设有镀膜主毂、收卷辊和放卷辊，镀膜主毂与收卷辊、放卷辊之间分别设有至少一个过渡辊，镀膜主毂底部设有靶屏蔽罩，靶屏蔽罩两端垂直固定设有掩膜板，掩膜板靠近镀膜主毂的一侧为圆弧形且与镀膜主毂上对应区域的曲面弧度相当，掩膜板可沿卷料幅宽方向和/或垂直于镀膜主毂方向移动；机体内还设有能对镀膜主毂上的待镀膜的卷料进行镀膜的镀膜靶，掩膜板设置在镀膜靶和镀膜主毂之间。本实用新型在实际应用中，在保持卷型基材长度方向连续镀膜功能的基础上，能够在被镀基材表面宽度方向区域留置非镀膜区，结构简单，便于操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜、电池电容器薄膜制造及光电显示薄膜制造行业，具体涉及一种适用于卷绕式真空镀膜机连续镀膜时在被镀基材表面特定位置区域留置非镀膜区的掩膜装置。
背景技术
目前，行业中使用卷绕式真空连续镀膜的特点是：卷型基材镀膜时在长度方向连续镀膜，基材宽度方向满幅沉积镀膜；其不足是：因为镀膜机设计时考虑膜厚均匀性要求，一般镀膜靶长度尺寸都大于基材宽幅尺寸，镀膜时都是在宽度方向全部镀上了膜层，对于特定要求在宽度方向留置非镀膜区域的产品，就很难实现连续化生产。如何在被镀基材表面宽度方向区域留置非镀膜区，是本实用新型需要解决的技术问题。为此，本实用新型就是在这样的背景下而研制。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中镀膜都是在宽度方向上全部镀上了膜层，对于特定要求在宽度方向留置非镀膜区域的产品，很难实现连续化生产的技术问题，提供一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置。
为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案如下：
本实用新型提供一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，包括有机体，所述机体内设有镀膜主毂、收卷辊和放卷辊，所述镀膜主毂与收卷辊、放卷辊之间分别设有至少一个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊，所述镀膜主毂底部设有靶屏蔽罩，所述靶屏蔽罩两端垂直固定设有掩膜板，所述掩膜板靠近所述镀膜主毂的一侧为圆弧形且与所述镀膜主毂上对应区域的曲面弧度相当，所述掩膜板可沿所述卷料幅宽方向和/或垂直于所述镀膜主毂方向移动；所述机体内还设有能对所述镀膜主毂上的待镀膜的卷料进行镀膜的镀膜靶，所述掩膜板设置在所述镀膜靶和所述镀膜主毂之间。
所述镀膜靶为条状且平行于所述镀膜主毂的轴心设置。
所述过渡辊的外径远小于所述镀膜主毂的外径。
所述收卷辊和放卷辊分别设置在所述镀膜主毂两侧。
所述收卷辊和放卷辊的外径相同。
所述过渡辊为可拆卸设计，任意一个过渡辊的位置可调整，以改变待镀膜的卷料对过渡辊的包角大小及改变待镀膜的卷料的张紧力度。
进一步地，还包括有PLC控制系统，所述PLC控制系统可控制所述放卷辊和/或收卷辊的转速，也可控制所述镀膜靶的溅射功率。
综上所述，本实用新型的有益效果是：
本实用新型在实际应用中，在保持卷型基材长度方向连续镀膜功能的基础上，能够在被镀基材表面宽度方向区域留置非镀膜区，使得卷绕式镀膜机在不明显增加体积及制造成本且使用、安装方便的前提下，不仅具备常规柔性基材的连续卷绕式真空镀膜功能，还增加了掩膜板能够实现掩膜镀膜，结构简单，便于操作。
附图说明
下面结合附图对本实用新型做进一步描述。
图1是本实用新型的主视图。
图2是本实用新型常规镀膜时的左视图。
图3是本实用新型掩膜镀膜时的左视图。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
本实用新型提供一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，包括有机体1，机体1内设有镀膜主毂2、收卷辊3和放卷辊4，镀膜主毂2与收卷辊3、放卷辊4之间分别设有至少一个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊5，镀膜主毂2底部设有靶屏蔽罩6，靶屏蔽罩6两端垂直固定设有掩膜板7，掩膜板7靠近镀膜主毂2的一侧为圆弧形且与镀膜主毂2上对应区域的曲面弧度相当，掩膜板7可沿卷料幅宽方向和/或垂直于镀膜主毂2方向移动。机体1内还设有能对镀膜主毂2上的待镀膜的卷料进行镀膜的镀膜靶8，掩膜板7设置在镀膜靶8和镀膜主毂2之间。
作为具体的实施方式，掩膜板7上的圆弧形边沿与镀膜主毂2之间的间距为2至5毫米。
镀膜靶8为条状且平行于镀膜主毂2的轴心设置。
过渡辊5的外径远小于镀膜主毂2的外径。
收卷辊3和放卷辊4分别设置在镀膜主毂2两侧。
收卷辊3和放卷辊4的外径相同。
过渡辊5为可拆卸设计，任意一个过渡辊5的位置可调整，以改变待镀膜的卷料对过渡辊5的包角大小及改变待镀膜的卷料的张紧力度。
进一步地，还包括有PLC控制系统，PLC控制系统可控制放卷辊4和/或收卷辊3的转速，也可控制镀膜靶8的溅射功率。
本实用新型在安装使用时，将待镀膜柔性材料(铜箔、铝箔、PET、PP等)整卷装入放卷辊4上；将待镀膜柔性材料展开，如图1所示，依次绕过过渡辊5、镀膜主毂2、过渡辊5和收卷辊3，待镀膜柔性材料穿过镀膜主毂2后经过渡辊5绕上收卷辊3，利用高温胶带固定已镀膜的柔性材料；通过过渡辊5调整好卷绕张力，开启镀膜主毂2的镀膜靶8对待镀膜柔性材料进行镀膜。
当需要常规镀膜时将掩膜板7在幅宽方向向两端调节，如附图2所示，将掩膜板7沿被镀基材幅宽方向向两边调节直至离开基材边沿10毫米位置，紧固在靶屏蔽罩6上即可，此时，镀膜机就可进行常规的柔性卷绕式真空镀膜。
当需要进行掩膜镀膜时，如附图3所示，沿卷料幅宽中心方向移动掩膜板5后，用螺丝将掩膜板紧固在靶屏蔽罩6上；此外还可将掩膜板7朝靠近镀膜主毂2的方向垂直移动，此时，镀膜机就可以进行掩膜镀膜使用。沿基材幅宽方向左右调节掩膜板7，可根据需要实施柔性基材宽幅左边、右边或左右两边都留置非镀膜区的连续镀膜；在保证镀膜主毂转动精度的前提下，朝垂直于镀膜主毂2方向调整掩膜板7与镀膜主毂2的间距达到最小距离，保证非镀膜区域的掩膜效果。
这样，就使得卷绕式镀膜机在不明显增加体积及制造成本且使用、安装方便的前提下，不仅具备常规柔性基材的连续卷绕式真空镀膜功能，还增加了掩膜板5能够实现掩膜镀膜。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施方案，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施方案进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上内容是结合具体的实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换。
Claims (7)
1.一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，包括有机体，其特征在于：所述机体内设有镀膜主毂、收卷辊和放卷辊，所述镀膜主毂与收卷辊、放卷辊之间分别设有至少一个用于张紧、传送待镀膜卷料、改变待镀膜的卷料缠绕方向的过渡辊，所述镀膜主毂底部设有靶屏蔽罩，所述靶屏蔽罩两端垂直固定设有掩膜板，所述掩膜板靠近所述镀膜主毂的一侧为圆弧形且与所述镀膜主毂上对应区域的曲面弧度相当，所述掩膜板可沿所述卷料幅宽方向和/或垂直于所述镀膜主毂方向移动；所述机体内还设有能对所述镀膜主毂上的待镀膜的卷料进行镀膜的镀膜靶，所述掩膜板设置在所述镀膜靶和所述镀膜主毂之间。
2.根据权利要求1所述的一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，其特征在于：所述镀膜靶为条状且平行于所述镀膜主毂的轴心设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，其特征在于:所述过渡辊的外径远小于所述镀膜主毂的外径。
4.根据权利要求1所述的一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，其特征在于:所述收卷辊和放卷辊分别设置在所述镀膜主毂两侧。
5.根据权利要求4所述的一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，其特征在于:所述收卷辊和放卷辊的外径相同。
6.根据权利要求3所述的一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，其特征在于:所述过渡辊为可拆卸设计，任意一个过渡辊的位置可调整，以改变待镀膜的卷料对过渡辊的包角大小及改变待镀膜的卷料的张紧力度。
7.根据权利要求1所述的一种用于卷绕式真空镀膜机的掩膜装置，其特征在于:还包括有PLC控制系统，所述PLC控制系统可控制所述放卷辊和/或收卷辊的转速，也可控制所述镀膜靶的溅射功率。
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|---|---|---|---|---|
| CN110359025A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-10-22 | 无锡光润真空科技有限公司 | 卷绕镀膜装置 |
| CN110607512A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-24 | 佛山市佛欣真空技术有限公司 | 一种真空镀膜机的转架 |
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