CN208889617U - 一种用于晶圆的贴片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆的贴片装置，包括底板，底板顶部两侧均固定连接有支撑板，两个支撑板之间固定连接有滑槽板，滑槽板底部的一侧固定连接有防护箱，防护箱内腔的底部固定连接有双向转动电机，双向转动电机的两个输出轴均固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆远离双向转动电机的一端贯穿防护箱并延伸至防护箱的外部，本实用新型涉及晶圆加工技术领域。该用于晶圆的贴片装置，在对晶圆进行贴片挤压时，滚轮从基片的中间部位向外侧均匀挤压，使得粘合剂能够均匀的进行粘合，避免了晶圆在贴片时内部出现气泡，很大程度上提高了晶圆贴片的质量，在对基片进行挤压时，有很好的缓冲减震效果，对基片以及晶圆进行了很好的保护。

Description

一种用于晶圆的贴片装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种用于晶圆的贴片装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆，在晶圆使用过程中需要对晶圆进行进一步切片，然而晶圆厚度的减薄导致其机械强度降低，致使在减薄过程中很容易产生碎片，生产良率极大降低，因此在进行减薄工艺前，需要将晶圆的正面通过粘结剂粘合在有一定厚度的基片上，以方便减薄工艺的操作。

传统的晶圆的贴片装置，在对晶圆进行贴片挤压时，没有通过滚轮从基片的中间部位向外侧均匀挤压，使得粘合剂不能够均匀的进行粘合，没有很好的避免了晶圆在贴片时内部出现气泡，很大程度上降低了晶圆贴片的质量，在对基片进行挤压时，没有很好的缓冲减震效果，对基片以及晶圆容易受到破坏。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于晶圆的贴片装置，解决了晶圆的贴片装置没有对贴片进行均匀挤压，晶圆与贴片内部容易产生气泡，贴片以及晶圆容易受到破坏的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种用于晶圆的贴片装置，包括底板，所述底板顶部两侧均固定连接有支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有滑槽板，并且滑槽板底部的一侧固定连接有防护箱，所述防护箱内腔的底部固定连接有双向转动电机，所述双向转动电机的两个输出轴均固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆远离双向转动电机的一端贯穿防护箱并延伸至防护箱的外部，所述螺纹杆延伸至防护箱外部的一端通过轴承与支撑板的一侧转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，并且螺纹套的顶部固定连接有滑块，所述滑块的顶部与滑槽板的内部滑动连接，所述螺纹套的底部固定连接有连接杆，并且连接杆的底端固定连接有第一液压伸缩杆。

优选的，所述第一液压伸缩杆的底端固定连接有活动室，所述活动室内腔的顶部固定连接有弹簧管，并且弹簧管的底端固定连接有活动块，所述活动块的两侧分别与活动室内腔的两侧滑动连接。

优选的，所述活动块的底部固定连接有活动杆，所述活动杆的底端贯穿活动室并延伸至活动室的外部。

优选的，所述活动杆延伸至活动室外部的一端固定连接有转动架，所述转动架的内部转动连接有滚轮。

优选的，所述防护箱的底部固定连接有第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆的底端固定连接有与滚轮相配合使用的挤压板。

优选的，所述底板的顶部且位于两个支撑板之间固定连接有操作板，所述底板底部的两侧均固定连接有底座。

有益效果

本实用新型提供了一种用于晶圆的贴片装置。具备以下有益效果：

(1)、该用于晶圆的贴片装置，通过螺纹套的顶部固定连接有滑块，滑块的顶部与滑槽板的内部滑动连接，螺纹套的底部固定连接有连接杆，并且连接杆的底端固定连接有第一液压伸缩杆，活动杆延伸至活动室外部的一端固定连接有转动架，转动架的内部转动连接有滚轮，防护箱的底部固定连接有第二液压伸缩杆，第二液压伸缩杆的底端固定连接有与滚轮相配合使用的挤压板，在对晶圆进行贴片挤压时，滚轮从基片的中间部位向外侧均匀挤压，使得粘合剂能够均匀的进行粘合，很好的避免了晶圆在贴片时内部出现气泡，很大程度上提高了晶圆贴片的质量。

(2)、该用于晶圆的贴片装置，通过第一液压伸缩杆的底端固定连接有活动室，活动室内腔的顶部固定连接有弹簧管，并且弹簧管的底端固定连接有活动块，活动块的两侧分别与活动室内腔的两侧滑动连接，活动块的底部固定连接有活动杆，活动杆的底端贯穿活动室并延伸至活动室的外部，在对贴片进行挤压时，有很好的缓冲减震效果，对基片以及晶圆进行了很好的保护。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处的局部放大图；

图3为本实用新型活动室结构的剖视图；

图4为本实用新型转动架和滚轮结构的侧视图。

图中：1底板、2支撑板、3滑槽板、4防护箱、5双向转动电机、6螺纹杆、7螺纹套、8滑块、9连接杆、10第一液压伸缩杆、11活动室、12弹簧管、13活动块、14活动杆、15转动架、16滚轮、17第二液压伸缩杆、18挤压板、19操作板、20底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶圆的贴片装置，包括底板1，底板1顶部两侧均固定连接有支撑板2，两个支撑板2之间固定连接有滑槽板3，并且滑槽板3底部的一侧固定连接有防护箱4，防护箱4内腔的底部固定连接有双向转动电机5，双向转动电机5的两个输出轴转速相同，转向相同，双向转动电机5的两个输出轴均固定连接有螺纹杆6，两个螺纹杆6表面的螺纹相反，螺纹杆6远离双向转动电机5的一端贯穿防护箱4并延伸至防护箱4的外部，螺纹杆6延伸至防护箱4外部的一端通过轴承与支撑板2的一侧转动连接，螺纹杆6的表面螺纹连接有螺纹套7，并且螺纹套7的顶部固定连接有滑块8，滑块8的顶部与滑槽板3的内部滑动连接，螺纹套7的底部固定连接有连接杆9，并且连接杆9的底端固定连接有第一液压伸缩杆10，第一液压伸缩杆10的底端固定连接有活动室11，活动室11内腔的顶部固定连接有弹簧管12，弹簧管12由橡胶皮套和弹簧构成，弹簧在橡胶皮套内部，并且弹簧管12的底端固定连接有活动块13，活动块13的两侧分别与活动室11内腔的两侧滑动连接，活动块13的底部固定连接有活动杆14，活动杆14的底端贯穿活动室11并延伸至活动室11的外部，活动杆14延伸至活动室11外部的一端固定连接有转动架15，转动架15的内部转动连接有滚轮16，防护箱4的底部固定连接有第二液压伸缩杆17，第一液压伸缩杆10和第二液压伸缩杆17的型号均为100S-1R6SD40N6，第二液压伸缩杆17的底端固定连接有与滚轮16相配合使用的挤压板18，通过挤压板18的配合能对基片进行无间隙挤压，底板1的顶部且位于两个支撑板2之间固定连接有操作板19，底板1底部的两侧均固定连接有底座20。

使用时，操作人员可以将晶圆放置在操作板19上，然后通过液体粘合剂将晶圆与基片粘合，此时操作人员可以开启第二液压伸缩杆17，使得第二液压伸缩杆17向下移动，从而第二液压伸缩杆17会带动挤压板18向下移动，从而挤压板18对基片的中间部位进行挤压，当操作人员需要调节滚轮16的高度时，可以开启第一液压伸缩杆10，第一液压伸缩杆10会通过转动架15带动滚轮16移动，与此同时可以开启双向转动电机5，双向转动电机5会带动螺纹杆6转动，螺纹杆6会通过滑块8和滑槽板3的相互配合带动螺纹套7移动，从而带动滚轮16移动，双向转动电机5会先带动滚轮16向里移动，待滚轮16移动到挤压板18上面后，滚轮16会匀速的向外移动，对基片进行均匀的挤压。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于晶圆的贴片装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部两侧均固定连接有支撑板(2)，两个所述支撑板(2)之间固定连接有滑槽板(3)，并且滑槽板(3)底部的一侧固定连接有防护箱(4)，所述防护箱(4)内腔的底部固定连接有双向转动电机(5)，所述双向转动电机(5)的两个输出轴均固定连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)远离双向转动电机(5)的一端贯穿防护箱(4)并延伸至防护箱(4)的外部，所述螺纹杆(6)延伸至防护箱(4)外部的一端通过轴承与支撑板(2)的一侧转动连接，所述螺纹杆(6)的表面螺纹连接有螺纹套(7)，并且螺纹套(7)的顶部固定连接有滑块(8)，所述滑块(8)的顶部与滑槽板(3)的内部滑动连接，所述螺纹套(7)的底部固定连接有连接杆(9)，并且连接杆(9)的底端固定连接有第一液压伸缩杆(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的贴片装置，其特征在于：所述第一液压伸缩杆(10)的底端固定连接有活动室(11)，所述活动室(11)内腔的顶部固定连接有弹簧管(12)，并且弹簧管(12)的底端固定连接有活动块(13)，所述活动块(13)的两侧分别与活动室(11)内腔的两侧滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆的贴片装置，其特征在于：所述活动块(13)的底部固定连接有活动杆(14)，所述活动杆(14)的底端贯穿活动室(11)并延伸至活动室(11)的外部。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的贴片装置，其特征在于：所述活动杆(14)延伸至活动室(11)外部的一端固定连接有转动架(15)，所述转动架(15)的内部转动连接有滚轮(16)。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的贴片装置，其特征在于：所述防护箱(4)的底部固定连接有第二液压伸缩杆(17)，所述第二液压伸缩杆(17)的底端固定连接有与滚轮(16)相配合使用的挤压板(18)。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的贴片装置，其特征在于：所述底板(1)的顶部且位于两个支撑板(2)之间固定连接有操作板(19)，所述底板(1)底部的两侧均固定连接有底座(20)。