CN208866999U - 一种用于单晶硅切片的研磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，且公开了一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板的底部固定安装有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，所述侧盒的数量为两个，两个所述侧盒的内部均固定安装有导杆，两个所述导杆的中部均活动套接有滑动块，两个所述导杆的外表面均活动套接有分别位于滑动块上方和下方的支撑弹簧。该用于单晶硅切片的研磨装置，通过将待加工工件放在紧固环内，然后利用竖杆、拉杆、限位吸盘和刚性弹簧之间的配合，使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。

Description

一种用于单晶硅切片的研磨装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等；单晶硅切片研磨，是指单晶硅切片通过研磨能去除切片和轮磨所造成的锯痕及表面损伤层，有效改善单晶硅切片的曲度、平坦度和平行度，达到一个抛光过程可以处理规格，现有技术都是利用研磨装置对单晶硅切片进行研磨。

现有的研磨装置中并没有固定待加工工件的装置，基本是将待加工工件放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件移动，导致研磨质量变差，在研磨的过程中会喷洒研磨液，但是，现有的研磨装置并不具有对研磨液进行收集的功能，不能对研磨液进行循环利用，造成资源的浪费。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于单晶硅切片的研磨装置，具备研磨过程稳定和循环利用研磨液等优点，解决了现有的研磨装置中并没有固定待加工工件的装置，基本是将待加工工件放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件移动，导致研磨质量变差，在研磨的过程中会喷洒研磨液，但是，现有的研磨装置并不具有对研磨液进行收集的功能，不能对研磨液进行循环利用，造成资源的浪费的问题。

(二)技术方案

为实现上述研磨过程稳定和循环利用研磨液的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板，所述支撑板的底部固定安装有支撑腿，所述支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒，所述侧盒的数量为两个，两个所述侧盒的内部均固定安装有导杆，两个所述导杆的中部均活动套接有滑动块，两个所述导杆的外表面均活动套接有分别位于滑动块上方和下方的支撑弹簧，所述支撑弹簧的一端与滑动块固定连接，所述支撑弹簧的另一端与侧盒的内壁固定连接，两个所述滑动块之间固定安装有连接板，所述连接板的外表面与侧盒活动套接，所述连接板顶端的中部固定安装有紧固环，所述紧固环的内部活动套接有待加工工件，所述连接板的顶部固定安装有位于待加工工件两侧的固定装置，两个所述固定装置相靠近的一端均与待加工工件的侧面活动连接，所述连接板的顶部固定安装有位于待加工工件后方的支撑柱，所述支撑柱正面的顶端固定安装有液压缸，所述液压缸的底端固定连接有固定盒，所述固定盒的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有转动轴，所述转动轴的另一端固定连接有研磨盘，所述连接板的底部固定安装有漏斗，所述漏斗的底部固定连通有导管，所述导管的底端贯穿支撑板并延伸至支撑板的下方且固定连通有收集盒，所述收集盒的两侧均固定连通有连接管，所述连接管的另一端固定连通有动力泵，所述动力泵的另一侧固定连通有引流管，所述引流管的另一端固定连通有顶盒，所述顶盒的底部与侧盒的顶部固定连接，所述顶盒的另一侧固定安装有喷头。

优选的，所述连接管的外表面固定套接有连接套，所述连接套的顶部与支撑板的顶部固定连接，所述侧盒侧面的中部固定安装有限位块，所述限位块与引流管的外表面固定套接。

优选的，所述固定装置包括竖杆，所述竖杆的底端与连接板固定连接，所述竖杆的中部活动套接有拉杆，所述拉杆位于竖杆左侧的一端固定连接有侧块，所述拉杆位于竖杆右侧的一端固定连接有限位吸盘，所述拉杆的外表面活动套接有位于竖杆和限位吸盘之间的刚性弹簧，所述刚性弹簧的两端分别与竖杆的右侧面和限位吸盘的左侧面固定连接。

优选的，所述连接板的中部固定安装有漏网，且漏网的直径大于紧固环的直径。

优选的，所述漏斗的形状为倒梯形，且漏斗顶端的直径大于漏网的直径。

优选的，所述侧盒的侧面开设有纵向滑槽，且纵向滑槽的直径大于连接板的宽度。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于单晶硅切片的研磨装置，具备以下有益效果：

1、该用于单晶硅切片的研磨装置，通过将待加工工件放在紧固环内，然后利用竖杆、拉杆、限位吸盘和刚性弹簧之间的配合，使两个限位吸盘从侧面将待加工工件固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性。

2、该用于单晶硅切片的研磨装置，通过向收集盒内添加研磨液，经过动力泵的作用，然后由喷头上待加工工件喷洒，喷洒过后的研磨液经过连接板、漏斗、和导管后又进入到收集盒内，从而形成研磨液循环的利用，避免了研磨液的浪费，从而节约了生产加工的成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构侧盒的局部侧视图；

图3为本实用新型结构待加工工件的俯视图；

图4为本实用新型固定装置的结构示意图。

图中：1、支撑板；2、支撑腿；3、侧盒；4、导杆；5、滑动块；6、支撑弹簧；7、连接板；8、紧固环；9、待加工工件；10、固定装置；101、竖杆；102、拉杆；103、侧块；104、手柄；105、限位吸盘；106、刚性弹簧；11、支撑柱；12、液压缸；13、固定盒；14、驱动电机；15、转动轴；16、研磨盘；17、漏斗；18、导管；19、收集盒；20、连接管；21、动力泵；22、连接套；23、引流管；24、顶盒；25、喷头；26、限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板1，支撑板1的底部固定安装有支撑腿2，支撑板1顶部的两侧均固定安装有侧盒3，侧盒3的侧面开设有纵向滑槽，且纵向滑槽的直径大于连接板7的宽度，保证了连接板7可以上下移动，提高了该研磨装置的合理性，侧盒3的数量为两个，两个侧盒3的内部均固定安装有导杆4，两个导杆4的中部均活动套接有滑动块5，两个导杆4的外表面均活动套接有分别位于滑动块5上方和下方的支撑弹簧6，支撑弹簧6的一端与滑动块5固定连接，支撑弹簧6的另一端与侧盒3的内壁固定连接，两个滑动块5之间固定安装有连接板7，连接板7的中部固定安装有漏网，且漏网的直径大于紧固环8的直径，使得从紧固环8底部流出的研磨液全部从漏网流到漏斗17的内部，连接板7的外表面与侧盒3活动套接，连接板7顶端的中部固定安装有紧固环8，紧固环8为中空状，使得研磨液可以从紧固环8的底部流出，紧固环8的内部活动套接有待加工工件9，通过将待加工工件9放在紧固环8内，然后利用竖杆101、拉杆102、限位吸盘105和刚性弹簧106之间的配合，使两个限位吸盘105从侧面将待加工工件9固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件9的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性，连接板7的顶部固定安装有位于待加工工件9两侧的固定装置10，固定装置10包括竖杆101，竖杆101的底端与连接板7固定连接，竖杆101的中部活动套接有拉杆102，拉杆102位于竖杆101左侧的一端固定连接有侧块103，拉杆102位于竖杆101右侧的一端固定连接有限位吸盘105，拉杆102的外表面活动套接有位于竖杆101和限位吸盘105之间的刚性弹簧106，刚性弹簧106的两端分别与竖杆101的右侧面和限位吸盘105的左侧面固定连接，两个固定装置10相靠近的一端均与待加工工件9的侧面活动连接，连接板7的顶部固定安装有位于待加工工件9后方的支撑柱11，支撑柱11正面的顶端固定安装有液压缸12，液压缸12与待加工工件9位于同一竖直平面内，液压缸12的底端固定连接有固定盒13，固定盒13的内部固定安装有驱动电机14，驱动电机14的型号为Y100L-2，且驱动电机14为现有的电器，驱动电机14的输出轴固定连接有转动轴15，转动轴15的另一端固定连接有研磨盘16，连接板7的底部固定安装有漏斗17，漏斗17的底部固定连通有导管18，导管18的底端贯穿支撑板1并延伸至支撑板1的下方且固定连通有收集盒19，通过向收集盒19内添加研磨液，经过动力泵21的作用，然后由喷头25上待加工工件9喷洒，喷洒过后的研磨液经过连接板7、漏斗17、和导管18后又进入到收集盒19内，从而形成研磨液循环的利用，避免了研磨液的浪费，从而节约了生产加工的成本，收集盒19的两侧均固定连通有连接管20，连接管20的外表面固定套接有连接套22，连接套22与限位块26分别为连接管20和引流管23提供支撑，连接套22的顶部与支撑板1的顶部固定连接，侧盒3侧面的中部固定安装有限位块26，限位块26与引流管23的外表面固定套接，连接管20的另一端固定连通有动力泵21，动力泵21的型号为QY200-26-22，动力泵21为研磨液的循环利用提供动力，动力泵21的另一侧固定连通有引流管23，引流管23的另一端固定连通有顶盒24，顶盒24可以起到安装喷头25的作用，顶盒24的底部与侧盒3的顶部固定连接，顶盒24的另一侧固定安装有喷头25。

工作时，首先，向外侧拉动两个手柄104，然后将待加工工件9放置在两个固定装置10之间的紧固环8内，然后松开手柄104，使待加工工件被固定，然后启动液压缸12，使研磨盘16与待加工工件9的顶部接触，然后启动驱动电机14使研磨盘16转动，再向收集盒19内添加研磨液，然后启动动力泵21，使喷头25将研磨液喷洒在待加工工件9上。

综上所述，该用于单晶硅切片的研磨装置，通过将待加工工件9放在紧固环8内，然后利用竖杆101、拉杆102、限位吸盘105和刚性弹簧106之间的配合，使两个限位吸盘105从侧面将待加工工件9固定，防止在研磨的过程中，由于待加工工件9的移动，导致研磨的质量变差，从而提高了该研磨装置的实用性；通过向收集盒19内添加研磨液，经过动力泵21的作用，然后由喷头25上待加工工件9喷洒，喷洒过后的研磨液经过连接板7、漏斗17、和导管18后又进入到收集盒19内，从而形成研磨液循环的利用，避免了研磨液的浪费，从而节约了生产加工的成本；解决了现有的研磨装置中并没有固定待加工工件9的装置，基本是将待加工工件9放置在研磨装置上直接研磨，在研磨的过程中可能会造成待加工工件9移动，导致研磨质量变差，在研磨的过程中会喷洒研磨液，但是，现有的研磨装置并不具有对研磨液进行收集的功能，不能对研磨液进行循环利用，造成资源的浪费的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于单晶硅切片的研磨装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的底部固定安装有支撑腿(2)，所述支撑板(1)顶部的两侧均固定安装有侧盒(3)，所述侧盒(3)的数量为两个，两个所述侧盒(3)的内部均固定安装有导杆(4)，两个所述导杆(4)的中部均活动套接有滑动块(5)，两个所述导杆(4)的外表面均活动套接有分别位于滑动块(5)上方和下方的支撑弹簧(6)，所述支撑弹簧(6)的一端与滑动块(5)固定连接，所述支撑弹簧(6)的另一端与侧盒(3)的内壁固定连接，两个所述滑动块(5)之间固定安装有连接板(7)，所述连接板(7)的外表面与侧盒(3)活动套接，所述连接板(7)顶端的中部固定安装有紧固环(8)，所述紧固环(8)的内部活动套接有待加工工件(9)，所述连接板(7)的顶部固定安装有位于待加工工件(9)两侧的固定装置(10)，两个所述固定装置(10)相靠近的一端均与待加工工件(9)的侧面活动连接，所述连接板(7)的顶部固定安装有位于待加工工件(9)后方的支撑柱(11)，所述支撑柱(11)正面的顶端固定安装有液压缸(12)，所述液压缸(12)的底端固定连接有固定盒(13)，所述固定盒(13)的内部固定安装有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴固定连接有转动轴(15)，所述转动轴(15)的另一端固定连接有研磨盘(16)，所述连接板(7)的底部固定安装有漏斗(17)，所述漏斗(17)的底部固定连通有导管(18)，所述导管(18)的底端贯穿支撑板(1)并延伸至支撑板(1)的下方且固定连通有收集盒(19)，所述收集盒(19)的两侧均固定连通有连接管(20)，所述连接管(20)的另一端固定连通有动力泵(21)，所述动力泵(21)的另一侧固定连通有引流管(23)，所述引流管(23)的另一端固定连通有顶盒(24)，所述顶盒(24)的底部与侧盒(3)的顶部固定连接，所述顶盒(24)的另一侧固定安装有喷头(25)。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述连接管(20)的外表面固定套接有连接套(22)，所述连接套(22)的顶部与支撑板(1)的顶部固定连接，所述侧盒(3)侧面的中部固定安装有限位块(26)，所述限位块(26)与引流管(23)的外表面固定套接。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述固定装置(10)包括竖杆(101)，所述竖杆(101)的底端与连接板(7)固定连接，所述竖杆(101)的中部活动套接有拉杆(102)，所述拉杆(102)位于竖杆(101)左侧的一端固定连接有侧块(103)，所述拉杆(102)位于竖杆(101)右侧的一端固定连接有限位吸盘(105)，所述拉杆(102)的外表面活动套接有位于竖杆(101)和限位吸盘(105)之间的刚性弹簧(106)，所述刚性弹簧(106)的两端分别与竖杆(101)的右侧面和限位吸盘(105)的左侧面固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述连接板(7)的中部固定安装有漏网，且漏网的直径大于紧固环(8)的直径。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述漏斗(17)的形状为倒梯形，且漏斗(17)顶端的直径大于漏网的直径。

6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅切片的研磨装置，其特征在于：所述侧盒(3)的侧面开设有纵向滑槽，且纵向滑槽的直径大于连接板(7)的宽度。