CN208833688U - 裂纹检查装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种裂纹检查装置，属于显示面板制造领域。装置包括：支撑组件和压力组件，支撑组件包括支撑部，压力组件包括压力头和测距器。本实用新型通过将其支撑组件的支撑部和压力组件的压力头分别抵在衬底基板的两面，且压力头在衬底基板的另一面的正投影与支撑部在另一面的正投影不重叠，使得压力头可以向衬底基板施加压力使衬底基板形变，再通过压力组件的测距器测量得到的目标距离来衡量该形变，当该形变较大时，可以确定当前压力头施压的区域的衬底基板存在裂纹。解决了相关技术中图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大的问题，简化了裂纹检查的方式，降低了对裂纹检查装置的硬件性能要求。

Description

裂纹检查装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造领域，特别涉及一种裂纹检查装置。

背景技术

为了避免显示面板中的各种衬底基板在显示面板的制造过程中损坏，通常会对这些衬底基板上是否存在裂纹进行检查。

相关技术中提供了一种裂纹检查装置，该裂纹检查装置包括图像获取组件、驱动组件以及图像处理组件。其中，驱动组件用于在进行裂纹检查时，控制图像获取组件沿平行于衬底基板一面的方向上移动，该图像获取组件用于在移动过程中采集衬底基板一面的图像并将该图像发送至图像处理组件，图像处理组件用于通过图像处理算法分析接收到的图像，以确定衬底基板上是否存在裂纹。

但是，相关技术中通过图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大，对裂纹检查装置的硬件性能要求较高。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种裂纹检查装置，可以解决相关技术中图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大的问题。所述技术方案如下：

提供了一种裂纹检查装置，用于衬底基板，所述裂纹检查装置包括：

支撑组件和压力组件；

所述支撑组件包括被配置为抵在所述衬底基板一面的支撑部；

所述压力组件包括压力头和测距器；

所述压力头在所述衬底基板的另一面的正投影与所述支撑部在所述另一面的正投影不重叠；

所述测距器被配置为在所述压力头抵在所述另一面时，测量目标距离，并在所述目标距离大于指定值时，发出提示信息，所述目标距离为所述压力头从开始接触所述另一面至以指定压力抵在所述另一面时，在垂直于所述另一面的方向上移动的距离。

可选的，所述裂纹检查装置还包括移动组件，

所述移动组件与所述压力组件连接，被配置为带动所述压力组件在平行于所述衬底基板一面的方向上移动。

可选的，所述裂纹检查装置还包括用于测量所述移动组件的移动距离的距离测量组件。

可选的，所述压力头包括滚轮。

可选的，所述压力组件还包括电动推杆，所述电动推杆包括电机和推杆，所述推杆与所述滚轮连接。

可选的，所述支撑组件与所述移动组件连接。

可选的，所述支撑部包括两个滚轮，

所述支撑组件还包括底座，所述底座与所述移动组件连接；

所述两个滚轮与所述底座连接。

可选的，所述支撑组件还包括可动连接件，所述两个滚轮通过所述可动连接件与所述底座连接，

所述可动连接件被配置为调节所述两个滚轮在平行所述衬底基板的一面的方向上的距离。

可选的，所述两个滚轮的轴心的连线在所述衬底基板的一面上的正投影与所述压力头中的滚轮的轴心在所述衬底基板的一面上的正投影存在重叠。

可选的，所述移动组件为线性电机。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

通过将支撑组件的支撑部和压力组件的压力头分别抵在衬底基板的两面，且压力头在衬底基板的另一面的正投影与支撑部在另一面的正投影不重叠，使得压力头可以向衬底基板施加压力使衬底基板形变，再通过压力组件的测距器测量得到的目标距离来衡量该形变，当该形变较大时，可以确定当前压力头施压的区域的衬底基板存在裂纹。解决了相关技术中图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大的问题，简化了裂纹检查的方式，降低了对裂纹检查装置的硬件性能要求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种裂纹检查装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种裂纹检查装置检查的衬底基板发生形变的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种裂纹检查装置的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的又一种裂纹检查装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种两个滚轮的轴心的连线在衬底基板的一面上的正投影与压力头中的滚轮的轴心在衬底基板的一面上的正投影的示意图。

通过上述附图，已示出本实用新型明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本实用新型构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本实用新型的概念。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

在显示面板的制造过程中，常有搬运衬底基板的操作，而在搬运衬底基板的时候，对衬底基板的强度有一定的要求，若强度较低，则衬底基板会在搬运的途中损坏，甚至可能对其他设备造成损伤。例如，在进行有机发光二极管(英文：Organic Light-EmittingDiode；简称：OLED)显示面板制造中的关键工艺蒸镀工艺时，通常会通过机械臂来抓取衬底基板的边缘，将衬底基板运输进蒸镀机中，但是，若衬底基板的边缘存在裂纹，在搬运的过程中就可能导致该裂纹扩大，在将该衬底基板放进蒸镀机中后，可能会导致衬底基板碎裂，使得工作人员不得不将蒸镀机开腔进行腔内的清理，这些过程均会造成显示面板的产能的损失。因此，及时检查衬底基板上是否存在裂纹对于提高显示面板的产能来说至关重要。

相关技术中提供了一种裂纹检查装置，该裂纹检查装置包括图像获取组件、驱动装置以及图像处理组件。其中，驱动组件用于在进行裂纹检查时，控制图像获取组件沿平行于衬底基板一面的方向上移动，该图像获取组件用于在移动过程中采集衬底基板一面的图像并将该图像发送至图像处理组件，图像处理组件用于通过图像处理算法分析接收到的图像，例如将采集到的图像转化为灰阶图像并分析该灰阶图像中的灰度变化，由于在灰阶图像中，存在裂纹的区域会存在灰度变化，因此，通过分析该灰度变化可以确定是否存在裂纹。

但是，相关技术中通过图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大，对裂纹检查装置的硬件性能要求较高。并且，对于一些微小的裂纹，由于该微小的裂纹区域的灰度变化不明显，因此图像处理算法可能难以准确检测出衬底基板上存在的微小裂纹。

本实用新型提供了一种裂纹检查装置，可以解决相关技术中存在的问题。

图1是本实用新型实施例示出的一种裂纹检查装置10的结构示意图，裂纹检查装置10可以用于衬底基板00(衬底基板00包括面A和另一面B)，用来检测衬底基板00上是否存在裂纹，裂纹检查装置10包括支撑组件11和压力组件 12。

其中，支撑组件11可以包括被配置为抵在衬底基板00一面A的支撑部111，压力组件12包括压力头121和测距器122，压力头121在衬底基板00的另一面 B的正投影与支撑部111在另一面B的正投影不重叠。测距器122被配置为在压力头121抵在另一面B时，测量目标距离，该目标距离为压力头121从开始接触另一面B至以指定压力抵在另一面B时，在垂直于另一面B的方向上移动的距离。该目标距离的大小可以用来表示衬底基板00形变量的大小。

示例的，如图2所示，该图示出了压力头121从开始接触另一面B至以指定压力抵在另一面B时，在方向y(即垂直于另一面B的方向)上移动的距离s，距离s即为目标距离。

请继续参考图1，测距器122可以被配置为在目标距离大于指定值时，发出提示信息，该提示信息可以用来提示衬底基板上，施加指定压力的区域存在裂痕。

综上所述，本实用新型实施例提供的裂纹检查装置，通过将其支撑组件的支撑部和压力组件的压力头分别抵在衬底基板的两面，且压力头在衬底基板的另一面的正投影与支撑部在另一面的正投影不重叠，使得压力头可以向衬底基板施加压力使衬底基板形变，再通过压力组件的测距器测量得到的目标距离来衡量该形变，当该形变较大时，可以确定当前压力头施压的区域的衬底基板存在裂纹。解决了相关技术中图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大的问题，简化了裂纹检查的方式，降低了对裂纹检查装置的硬件性能要求。

在本实用新型实施例中，当衬底基板在某指定压力的作用下，在垂直于另一面的方向上的移动距离不大于指定值(该指定值可以预先确定)，则说明衬底基板具有较大的强度，可以抵抗该指定压力而不发生较大的形变；当衬底基板在该在垂直于另一面的方向上的移动距离大于指定值，则说明衬底基板强度较低，由于无法抵抗该指定压力而产生了较大的形变，该形变是由于衬底基板上施加该指定压力的区域上所存在的裂痕加剧而导致该区域强度降低形成的，在此种情况下可以表明，衬底基板上施加指定压力的区域存在裂痕。

可选的，测距器中可以包括有比较器(英文：Comparator)、位移传感器和信息提示组件等，其中，该位移传感器能够获取目标距离，该比较器能够将该目标距离和指定值进行比较(位移传感器获取的目标位移和指定值均可以为电信号，比较器可以通过比较这两个电信号的大小来确定位移传感器获取的位移是否大于指定值)，在该目标位移大于指定值时，比较器可以向信息提示组件发送触发信号，以触发信息提示组件发出提示信息，示例的，该提示组件可以以声音的形式发出提示信息、以电信号的形式发出提示信息或者以发光的形式发出提示信息，本实用新型实施例在此不做限制。

当支撑部的数量为2时，目标距离的大小可以根据压力组件的压力头抵在衬底基板另一面的指定压力，以及两个支撑部之间的距离(例如图1中所示的两个支撑部111之间的距离d)共同决定。通过调整该两个支撑部111之间的间距能够调节指定压力和目标距离的关系。示例的，对于图1中所示的距离d，该 d越大，在相同的指定压力下，测距器测量得到的目标距离则会越大，相反的，该d越小，在相同的指定压力下，测距器测量得到的目标距离则会越小。因此，两个支撑部之间的距离不同时，指定值也会不同，即两个支撑部之间的距离和指定值可以是对应关系，该对应关系可以预先测量得到并存储于裂纹检查装置中，对于不同的指定压力，可以对应多个对应关系。

在使用本实用新型实施例所提供的裂纹检查装置检查某一衬底基板上是否存在裂纹时，该裂纹检查装置中可以预先设置有两个支撑部之间的间距以及指定压力，对于衬底基板没有裂缝的区域，在该指定压力作用下，目标距离可以保持在一个稳定的区间内，而对于有裂缝的衬底基板来说，在该指定压力作用下，目标距离会明显增大，根据该稳定的区间以及增大后的目标距离可以设定一个指定值，该指定值可以用来检测衬底基板上是否存在裂纹。当然，在选择指定压力时，应该注意的是，在该指定压力下，无裂纹的衬底基板不会发生碎裂。

可选的，为了保证裂纹检查装置可以方便地检查衬底基板的各个区域是否存在裂纹，如图3所示，裂纹检查装置10还可以包括移动组件13。移动组件 13可以与压力组件12和/或支撑组件11连接，当然，为了保证检查结果的准确性，移动组件13可以与压力组件12和支撑组件11均连接。图3示出的是移动组件13与压力组件12接触并与支撑组件11连接的情况，在另一个可能的实施例中，该移动组件13可以与支撑组件11接触并与压力组件12连接，本实用新型实施例在此不做限制。

当移动组件13与压力组件12连接时，移动组件13可以被配置为带动压力组件12在平行于衬底基板00一面的方向上移动。可选的，为了保证检查结果的准确性，移动组件13可以为线性电机，该线性电机可以带动压力组件12在平行于衬底基板一面的方向上准确地保持直线运动。

可选的，为了便于工作人员在裂纹检查装置检测出衬底基板上存在裂纹之后，可以获知该裂纹在衬底基板上的位置，裂纹检查装置10还包括用于测量移动组件13的移动距离的距离测量组件(图3中未示出)。该距离测量组件可以与移动组件13连接，在移动组件13移动的过程中测量移动组件13移动的位移，可选的，该距离测量组件可以为位移传感器等可以测量位移的组件。可选的，线性电机可以复用为距离测量组件，用于测量移动组件13移动的位移。

可选的，在移动组件的带动压力组件移动的过程中，为了保证压力组件的压力头可以持续且稳定地向衬底基板施加压力，如图4所示，压力头可以包括滚轮1211，压力组件还包括电动推杆123，电动推杆123包括电机1231和推杆 1232，推杆1232与滚轮1211连接。推杆1232可以在电机1231的作用下带动滚轮1211在平行于衬底基板00一面的方向上移动。该带有滚轮的压力头可以避免裂纹检查装置在检查衬底基板上的裂纹时出现某一区域漏检的状况，可以针对衬底基板上的每一块区域均进行裂纹检查。

当支撑组件与移动组件连接时，移动组件可以被配置为带动支撑组件在平行于衬底基板一面的方向上移动。可选的，当支撑组件与压力组件均与移动组件连接时，移动组件可以被配置为带动支撑组件以及压力组件同步在平行于衬底基板一面的方向上移动，如此设置可以保证在压力组件的压头以指定压力抵在另一面时，更加准确地测量目标距离。

可选的，支撑部可以包括两个滚轮112，支撑组件还可以包括底座113，底座113可以与移动组件13连接，两个滚轮112可以均与底座11连接。

可选的，支撑组件11还可以包括可动连接件114，两个滚轮112通过可动连接件114与底座113连接，可动连接件114被配置为调节两个滚轮112在平行衬底基板00的一面的方向上的距离。通过可动连接件114可以调节图1中所示的距离d。

可选的，两个滚轮的轴心a和轴心c的连线w在衬底基板00的一面上的正投影与压力头中的滚轮1211的轴心b在衬底基板00的一面上的正投影存在重叠。示例的，如图5所示，在该图中，轴心a和轴心c的连线w与轴心b在衬底基板00的一面上的正投影存在重叠，该图所描述的是轴心a、轴心c以及轴心b在一条连线上的情形，当三个轴心在衬底基板一面的正投影在一条连线上时，可以保证压力和支撑力在相对稳定的状态下，使得测量出的目标距离更加准确。

综上所述，本实用新型实施例提供的裂纹检查装置，通过将其支撑组件的支撑部和压力组件的压力头分别抵在衬底基板的两面，且压力头在衬底基板的另一面的正投影与支撑部在另一面的正投影不重叠，使得压力头可以向衬底基板施加压力使衬底基板形变，再通过压力组件的测距器测量得到的目标距离来衡量该形变，当该形变较大时，可以确定当前压力头施压的区域的衬底基板存在裂纹。解决了相关技术中图像处理算法确定衬底基板上是否存在裂纹的方式的计算量较大的问题，简化了裂纹检查的方式，降低了对裂纹检查装置的硬件性能要求。

本实用新型中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种裂纹检查装置，其特征在于，用于衬底基板，所述裂纹检查装置包括：

支撑组件和压力组件；

所述支撑组件包括被配置为抵在所述衬底基板一面的支撑部；

所述压力组件包括压力头和测距器；

所述压力头在所述衬底基板的另一面的正投影与所述支撑部在所述另一面的正投影不重叠；

所述测距器被配置为在所述压力头抵在所述另一面时，测量目标距离，并在所述目标距离大于指定值时，发出提示信息，所述目标距离为所述压力头从开始接触所述另一面至以指定压力抵在所述另一面时，在垂直于所述另一面的方向上移动的距离。

2.根据权利要求1所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述裂纹检查装置还包括移动组件，

所述移动组件与所述压力组件连接，被配置为带动所述压力组件在平行于所述衬底基板一面的方向上移动。

3.根据权利要求2所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述裂纹检查装置还包括用于测量所述移动组件的移动距离的距离测量组件。

4.根据权利要求2所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述压力头包括滚轮。

5.根据权利要求4所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述压力组件还包括电动推杆，所述电动推杆包括电机和推杆，所述推杆与所述滚轮连接。

6.根据权利要求2所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述支撑组件与所述移动组件连接。

7.根据权利要求6所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述支撑部包括两个滚轮，

所述支撑组件还包括底座，所述底座与所述移动组件连接；

所述两个滚轮与所述底座连接。

8.根据权利要求7所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述支撑组件还包括可动连接件，所述两个滚轮通过所述可动连接件与所述底座连接，

所述可动连接件被配置为调节所述两个滚轮在平行所述衬底基板的一面的方向上的距离。

9.根据权利要求7所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述两个滚轮的轴心的连线在所述衬底基板的一面上的正投影与所述压力头中的滚轮的轴心在所述衬底基板的一面上的正投影存在重叠。

10.根据权利要求2至9任一所述的裂纹检查装置，其特征在于，所述移动组件为线性电机。