CN208794964U - 立式真空炉 - Google Patents

立式真空炉 Download PDF

Info

Publication number
CN208794964U
CN208794964U CN201821403677.XU CN201821403677U CN208794964U CN 208794964 U CN208794964 U CN 208794964U CN 201821403677 U CN201821403677 U CN 201821403677U CN 208794964 U CN208794964 U CN 208794964U
Authority
CN
China
Prior art keywords
support shaft
bell
vertical vacuum
vacuum furnace
block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201821403677.XU
Other languages
English (en)
Inventor
王辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing North China Vacuum Technology Co Ltd
Original Assignee
Beijing North China Vacuum Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing North China Vacuum Technology Co Ltd filed Critical Beijing North China Vacuum Technology Co Ltd
Priority to CN201821403677.XU priority Critical patent/CN208794964U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN208794964U publication Critical patent/CN208794964U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)

Abstract

本实用新型涉及热处理领域,公开了一种立式真空炉,包括炉体、炉盖、支撑轴、升降组件和旋转组件;炉盖与炉体配合设置,支撑轴安装在炉体一侧,炉盖通过旋转组件可旋转安装于支撑轴;升降组件包括驱动单元和丝杠机构,丝杠机构与支撑轴相连,驱动单元通过丝杠机构驱动支撑轴上下运动。本实用新型提供的立式真空炉,炉盖在水平方向的旋转可以通过外力推动炉盖实现,简单易行、轻松方便,避免了电动旋转或平移操作的复杂结构。炉盖在竖直方向的升降通过驱动单元驱动丝杠机构、由电动方式实现,实现方便、结构简单、便于控制,克服了人力抬升的不便,安全可靠、升降平稳,具有较高的定位精度和良好的重复性。

Description

立式真空炉
技术领域
本实用新型涉及热处理技术领域,特别是涉及一种立式真空炉。
背景技术
立式真空炉是一种在真空状态下对产品进行热处理的设备,被广泛应用在真空淬火、回火、退火、烧结、钎焊等领域。对于小型的立式真空炉,根据客户工件的结构形式,工艺需求等,可采用炉盖升降并旋转打开后,通过起重装置装卸料。
现有的开启炉盖以装卸物料的方法主要是通过人力实现,当需要对炉盖进行开启或关闭时,需要操作人员穿上防火隔热服,手动转动炉盖,使炉盖打开或关闭。一方面,操作不便、劳动强度大,安全性也不能保证;另一方面,浪费人力、效率低下、成本高。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种炉盖开合结构简单、操作方便,具有良好重复性和较高定位精度、升降平稳的立式真空炉。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种立式真空炉,包括炉体、炉盖、支撑轴、升降组件和旋转组件;所述炉盖与所述炉体配合设置,所述支撑轴安装在所述炉体一侧,所述炉盖通过所述旋转组件可旋转安装于所述支撑轴;所述升降组件包括驱动单元和丝杠机构,所述丝杠机构与所述支撑轴相连,所述驱动单元通过所述丝杠机构驱动所述支撑轴上下运动。
其中,所述旋转组件包括旋转体,所述炉盖与所述旋转体固定连接,所述旋转体套装于所述支撑轴上部并与所述支撑轴活动连接;所述支撑轴上安装有支撑台,所述旋转体的下端与所述支撑台抵触。
其中,所述旋转体下端设有第一挡块,所述支撑台设有与所述第一挡块配合的第二挡块;所述第一挡块与所述第二挡块的第一端面抵接时,所述炉盖位于盖合位置,所述第一挡块与所述第二挡块的第二端面抵接时,所述炉盖位于极限打开位置。
其中,所述第一挡块与所述第二挡块均为90°环状凸台。
其中,所述旋转体包括主体和安装于所述主体下端的上轴承座,所述支撑台包括与所述上轴承座相匹配的下轴承座,所述上轴承座和所述下轴承座之间安装有轴承。
其中,所述旋转组件还包括锁紧螺母,所述锁紧螺母安装在所述支撑轴顶端以使所述旋转体压设在所述支撑台上。
其中,所述驱动单元包括减速电机,所述丝杠机构包括丝杠螺杆和与所述丝杠螺杆螺接的丝杠螺母;所述减速电机的输出轴与所述丝杠螺杆相连接,所述丝杠螺母与所述支撑轴固定连接。
其中,所述支撑轴为空心柱体结构;沿所述丝杠螺母侧壁面下部设有环状凸缘,沿所述环状凸缘均布有轴线与所述丝杠螺母轴线平行的螺纹孔;所述丝杠螺母通过穿过所述螺纹孔的螺栓与所述支撑轴螺栓连接。
其中,所述立式真空炉还包括导向滑套;所述导向滑套与所述炉体外壁固定连接;所述导向滑套套设于所述支撑轴,所述导向滑套内壁上设有凸出的导向键,所述支撑轴上沿所述支撑轴轴向设有与所述导向键相互配合的导向凹槽。
其中,所述立式真空炉还包括限位组件,所述限位组件包括上限位开关、位于所述上限位开关下方的下限位开关及与所述支撑轴固定连接的触发杆,随着所述支撑轴的升降,所述触发杆触发所述上限位开关或所述下限位开关以产生控制所述驱动单元运动状态的反馈信号。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型具有以下优点:
本实用新型提供的立式真空炉,其炉盖在水平方向的旋转可以通过外力推动炉盖实现,简单易行、轻松方便,避免了电动旋转或平移操作的复杂结构。炉盖在竖直方向的升降通过驱动单元驱动丝杠机构、由电动方式实现,由于是只有一个维度的动作,实现方便、结构简单、便于控制,克服了人力抬升的不便,特别是克服了在炉盖较重的情况下人力抬升困难且抬升不平稳、定位精度低、重复性差的问题,安全可靠、升降平稳,具有较高的定位精度和良好的重复性。
附图说明
图1为本实用新型实施例立式真空炉结构示意图;
图2为本实用新型实施例支撑轴立体结构示意图;
图3为本实用新型实施例支撑轴截面示意图;
图4为本实用新型实施例炉盖及旋转体截面示意图;
图中:1、减速电机;2、丝杠螺母;3、导向滑套;4、导向键;5、下限位开关;6、轴承;7、上限位开关;8、支撑轴;9、锁紧螺母;10、旋转体;11、炉盖;12、密封圈;13、把手;14、下轴承座;15、上轴承座;16、炉体;17、第二挡块;18、导向凹槽。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。
如图1所示,本实用新型实施例立式真空炉,包括炉体16、炉盖11、支撑轴8、升降组件和旋转组件。炉盖11与炉体16配合设置,支撑轴8安装在炉体16的一侧,炉盖11通过旋转组件可旋转安装于支撑轴8;升降组件包括驱动单元和丝杠机构,丝杠机构与支撑轴8相连,驱动单元通过丝杠机构驱动支撑轴8上下运动。支撑轴8在本实用新型实施例中起着支撑炉盖11和为炉盖11的开合导向的作用,可设置较粗的轴径以具有更好的刚度,防止炉盖11远端下垂,从而更好满足炉盖11与炉体16配合的平行度要求。本实用新型提供的立式真空炉,当需要打开炉盖11时,驱动单元通过丝杠机构带动支撑轴8向上运动,从而使安装在支撑轴8上的炉盖11在竖直方向远离炉体16;继而在外力推动作用下,通过旋转组件转动安装在支撑轴8上的炉盖11在水平方向远离炉体16。当需要关闭炉盖时进行相反操作即可,整个开合过程,操作方便,人工成本低。炉盖11在水平方向的旋转可以通过外力推动炉盖11实现,简单易行、轻松方便,避免了电动旋转或平移操作的复杂结构。炉盖11在竖直方向的升降通过驱动单元驱动丝杠机构、由电动方式实现,由于是只有一个维度的动作,实现方便、结构简单、便于控制,克服了人力抬升的不便,特别是克服了在炉盖11较重的情况下人力抬升困难且抬升不平稳、定位精度低、重复性差的问题,安全可靠、升降平稳,具有较高的定位精度和良好的重复性。
具体来说,本实用新型实施例立式真空炉的旋转组件包括旋转体10,炉盖11与旋转体10固定连接,旋转体10套装于支撑轴8上部并与支撑轴8以可旋转的方式活动连接,炉盖11通过旋转体10的旋转实现以支撑轴8的轴线为轴的水平方向旋转。支撑轴8上安装有支撑台,旋转体10的下端与支撑台抵触,支撑台对旋转体产生防止其沿支撑轴8滑落的支撑作用。为了防止炉盖11发生向上方向的跳动,可以在旋转体10上方设置一个锁紧螺母9以对旋转体10形成进一步约束,将旋转体10压设在支撑台上。具体地,锁紧螺母9与支撑轴8螺接并安装在支撑轴8顶端,锁紧螺母9的底部环面与旋转体10的顶部环面滑动接触,使用中应保证接触面充分的润滑。
进一步地,如图2-4所示,本实用新型实施例通过在旋转体10和支撑台设置相互抵接的凸台实现旋转机械定位。具体地,在旋转体10下端设置第一挡块,在支撑台上设置与第一挡块相配合的第二挡块17,第一挡块会随炉盖11的转动同步转动,第二挡块17在支撑台上相对固定。第一挡块与第二挡块17在支撑轴8的轴向方向上有重合高度,因而在炉盖11水平旋转时第一挡块会与第二挡块17的两端面发生抵接从而限定炉盖11的旋转角度。第一挡块和第二挡块17有两个处于抵接的状态,并对应炉盖11水平旋转角度的两个端点。为了便于快速定位,可以设置第一挡块与第二挡块17的第一端面抵接时,炉盖11位于盖合位置,第一挡块与第二挡块17的第二端面抵接时,炉盖位于极限打开位置。优选地,第一挡块为设置于旋转体10下端的对应圆心角为90°的环状凸台,第二挡块17为设置于支撑台上端的对应圆心角为90°的环状凸台。则此时,炉盖11的旋转幅度有180°,炉盖11的极限打开位置相对于盖合位置发生180°的水平旋转,保证炉盖11能够完全打开或闭合,确保物料能够装入炉门并减少炉盖11和其它部件的干涉,这样设置还可以在炉盖11开合时实现快速、稳定的定位。进一步地,旋转体10包括主体和安装于主体下端的上轴承座15,支撑台包括与该上轴承座相匹配的下轴承座14,上轴承座15和下轴承座14之间安装有轴承6。此时,第一挡块可以沿上轴承座15的边沿设置,第二挡块17可以沿下轴承座14的边沿设置,通过轴承6可以方便地实现上、下轴承座之间的转动进而实现炉盖11的水平转动。采用的轴承6应能够承受轴向压力,比如可以采用推力球轴承。
本实用新型实施例立式真空炉升降组件的驱动单元包括减速电机1,丝杠机构包括丝杠螺杆和与该丝杠螺杆螺接的丝杠螺母2。减速电机1的输出轴与丝杠螺杆相连接,丝杠螺母2与支撑轴8固定连接,通过丝杠螺杆及丝杠螺母2,将减速电机1输出轴的转动转化为支撑轴8的直线运动,实现支撑轴8在竖直方向做升降运动。丝杠螺母2具有自锁功能,在减速电机1断电情况下炉盖11不会下落,保证了设备的安全性。为了实现丝杠螺母2与支撑轴8可靠的固定连接,可以沿丝杠螺母2侧壁面下部设置环状凸缘,并沿环状凸缘均布轴线与丝杠螺母2轴线平行的螺纹孔,使丝杠螺母2通过穿过这些螺纹孔的螺栓与支撑轴8螺栓连接。由于螺栓连接是可拆卸的,便于丝杠螺母2损耗后的更换。支撑轴8可以是空心柱体结构,为了更好实现与丝杠螺母2的螺纹连接,支撑轴8可以是一体成型的,丝杠螺母2螺纹连接在支撑轴8的下端;另外,支撑轴8的结构还可以是分立的部件组装而成,其包括支撑轴主体和固定连接在支撑轴主体下端的安装台阶,丝杠螺母2通过螺栓安装在安装台阶上。
本实用新型实施例立式真空炉还包括与炉体16外壁固定连接的导向滑套3,导向滑套3与炉体16的固定连接可以通过螺栓连接实现,便于调整使导向滑套3与炉体16同轴。导向滑套3套设于支撑轴8,导向滑套3内壁设置凸出的导向键,支撑轴8上沿支撑轴8轴向设置与导向键相互配合的导向凹槽18。通过导向键和导向凹槽18的配合,对支撑轴8的上下运动进行导向。
为了进一步限定炉盖11的升降幅度,本实用新型实施例立式真空炉还包括限位组件。该限位组件包括上限位开关7、位于上限位开关7下方的下限位开关5及与支撑轴8固定连接的触发杆。上、下限位开关相对于炉体16保持相对固定的位置,比如可以固定安装在导向滑套3上。触发杆随着支撑轴8的升降而同步升降,随着支撑轴8的升降,触发杆触发上限位开关7或下限位开关5以产生控制驱动单元运动状态的反馈信号,从而反馈控制支撑轴8的升降,驱动单元接收反馈信号后即停止驱动。
另外,本实用新型实施例立式真空炉的炉盖11上表面可设置有把手13,为炉盖11的旋转提供一个方便的施力点;炉盖11下表面可设置有密封圈12以保证密封效果。
由以上实施例可以看出,本实用新型实施例立式真空炉,炉盖11开合过程操作方便,人工成本低。炉盖11在水平方向的旋转可以通过外力推动炉盖11实现,简单易行、轻松方便,避免了电动旋转或平移操作的复杂结构。炉盖11在竖直方向的升降通过驱动单元驱动丝杠机构、由电动方式实现,由于是只有一个维度的动作,实现方便、结构简单、便于控制,克服了人力抬升的不便,特别是克服了在炉盖11较重的情况下人力抬升困难且抬升不平稳、定位精度低、重复性差的问题,安全可靠、升降平稳,具有较高的定位精度和良好的重复性。进一步地,通过在旋转组件设置相互抵接的凸台实现旋转机械定位,定位效果快速、稳定;通过设置上、下限位开关,进一步提高了可重复性和定位精度。本实用新型提供了一种炉盖开合结构简单、操作方便、具有良好重复性和较高定位精度,升降平稳的立式真空炉。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种立式真空炉,其特征在于,包括炉体、炉盖、支撑轴、升降组件和旋转组件;所述炉盖与所述炉体配合设置,所述支撑轴安装在所述炉体一侧,所述炉盖通过所述旋转组件可旋转安装于所述支撑轴;所述升降组件包括驱动单元和丝杠机构,所述丝杠机构与所述支撑轴相连,所述驱动单元通过所述丝杠机构驱动所述支撑轴上下运动。
2.根据权利要求1所述的立式真空炉,其特征在于,所述旋转组件包括旋转体,所述炉盖与所述旋转体固定连接,所述旋转体套装于所述支撑轴上部并与所述支撑轴活动连接;所述支撑轴上安装有支撑台,所述旋转体的下端与所述支撑台抵触。
3.根据权利要求2所述的立式真空炉,其特征在于,所述旋转体下端设有第一挡块,所述支撑台设有与所述第一挡块配合的第二挡块;所述第一挡块与所述第二挡块的第一端面抵接时,所述炉盖位于盖合位置,所述第一挡块与所述第二挡块的第二端面抵接时,所述炉盖位于极限打开位置。
4.根据权利要求3所述的立式真空炉,其特征在于,所述第一挡块与所述第二挡块均为90°环状凸台。
5.根据权利要求2所述的立式真空炉,其特征在于,所述旋转体包括主体和安装于所述主体下端的上轴承座,所述支撑台包括与所述上轴承座相匹配的下轴承座,所述上轴承座和所述下轴承座之间安装有轴承。
6.根据权利要求2所述的立式真空炉,其特征在于,所述旋转组件还包括锁紧螺母,所述锁紧螺母安装在所述支撑轴顶端以使所述旋转体压设在所述支撑台上。
7.根据权利要求1所述的立式真空炉,其特征在于,所述驱动单元包括减速电机,所述丝杠机构包括丝杠螺杆和与所述丝杠螺杆螺接的丝杠螺母;所述减速电机的输出轴与所述丝杠螺杆相连接,所述丝杠螺母与所述支撑轴固定连接。
8.根据权利要求7所述的立式真空炉,其特征在于,所述支撑轴为空心柱体结构;沿所述丝杠螺母侧壁面下部设有环状凸缘,沿所述环状凸缘均布有轴线与所述丝杠螺母轴线平行的螺纹孔;所述丝杠螺母通过穿过所述螺纹孔的螺栓与所述支撑轴螺栓连接。
9.根据权利要求7所述的立式真空炉,其特征在于,所述立式真空炉还包括导向滑套;所述导向滑套与所述炉体外壁固定连接;所述导向滑套套设于所述支撑轴,所述导向滑套内壁上设有凸出的导向键,所述支撑轴上沿所述支撑轴轴向设有与所述导向键相互配合的导向凹槽。
10.根据权利要求1所述的立式真空炉,其特征在于,所述立式真空炉还包括限位组件,所述限位组件包括上限位开关、位于所述上限位开关下方的下限位开关及与所述支撑轴固定连接的触发杆,随着所述支撑轴的升降,所述触发杆触发所述上限位开关或所述下限位开关以产生控制所述驱动单元运动状态的反馈信号。
CN201821403677.XU 2018-08-29 2018-08-29 立式真空炉 Active CN208794964U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821403677.XU CN208794964U (zh) 2018-08-29 2018-08-29 立式真空炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821403677.XU CN208794964U (zh) 2018-08-29 2018-08-29 立式真空炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN208794964U true CN208794964U (zh) 2019-04-26

Family

ID=66207513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201821403677.XU Active CN208794964U (zh) 2018-08-29 2018-08-29 立式真空炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN208794964U (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110440237A (zh) * 2019-09-05 2019-11-12 浙江上能锅炉有限公司 带行程控制结构的电极锅炉
CN110846196A (zh) * 2019-10-28 2020-02-28 百特(福建)智能装备科技有限公司 一种自动升降旋转装置
CN110906741A (zh) * 2019-12-05 2020-03-24 程伟华 一种环保型节能窑炉
CN110963697A (zh) * 2019-10-31 2020-04-07 江苏永鼎光纤科技有限公司 一种同步驱动pcvd沉积炉装置
CN110963695A (zh) * 2019-10-31 2020-04-07 江苏永鼎光纤科技有限公司 一种同步驱动pcvd沉积炉装置
CN114061316A (zh) * 2021-11-15 2022-02-18 北京北方华创微电子装备有限公司 立式热处理设备
CN114196906A (zh) * 2021-12-31 2022-03-18 爱协林热处理系统(北京)有限公司 氮化炉炉门提升滚珠丝杠消除径向力机构
CN115786880A (zh) * 2023-02-09 2023-03-14 天津征惟半导体科技有限公司 一种升降翻盖机构

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110440237A (zh) * 2019-09-05 2019-11-12 浙江上能锅炉有限公司 带行程控制结构的电极锅炉
CN110440237B (zh) * 2019-09-05 2024-04-02 浙江上能锅炉有限公司 带行程控制结构的电极锅炉
CN110846196A (zh) * 2019-10-28 2020-02-28 百特(福建)智能装备科技有限公司 一种自动升降旋转装置
CN110963697A (zh) * 2019-10-31 2020-04-07 江苏永鼎光纤科技有限公司 一种同步驱动pcvd沉积炉装置
CN110963695A (zh) * 2019-10-31 2020-04-07 江苏永鼎光纤科技有限公司 一种同步驱动pcvd沉积炉装置
CN110906741A (zh) * 2019-12-05 2020-03-24 程伟华 一种环保型节能窑炉
CN114061316A (zh) * 2021-11-15 2022-02-18 北京北方华创微电子装备有限公司 立式热处理设备
CN114061316B (zh) * 2021-11-15 2024-03-26 北京北方华创微电子装备有限公司 立式热处理设备
CN114196906A (zh) * 2021-12-31 2022-03-18 爱协林热处理系统(北京)有限公司 氮化炉炉门提升滚珠丝杠消除径向力机构
CN115786880A (zh) * 2023-02-09 2023-03-14 天津征惟半导体科技有限公司 一种升降翻盖机构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN208794964U (zh) 立式真空炉
CN104175162B (zh) 一种自动上下料机器手臂及自动上下料方法
CN109015607A (zh) 一种工业机器人可调节连接底座
CN103835609A (zh) 一种摆动启闭地铁区间防淹防护密闭门
CN1408043A (zh) 大门、小门等的直线致动机构
CN210756004U (zh) 便携式焊接机器人
CN209725674U (zh) 一种机电设备安装装置
US9930733B1 (en) Electrode joint spacer
CN103624764B (zh) 试验取样用机械手臂
CN210878784U (zh) 工件翻转装置
CN111270921A (zh) 一种手、自动旋锁装置
CN114226794B (zh) 一种全自动电机壳的钻孔设备
CN204094556U (zh) 一种自动上下料机器手臂
CN114104953B (zh) 一种具备自装卸和自回转的自动吊钩
CN214558498U (zh) 一种管道预热装置
CN208199703U (zh) 一种新型翻转机
CN112111705B (zh) 一种部分回转型阀门齿轮箱及其生产用渗碳淬火装置
CN111439507A (zh) 一种改进型吊桶垃圾车送料机构
CN201841381U (zh) 焊枪的同轴升降旋转机构
CN108262569B (zh) 一种激光脉冲精细打孔装置
CN214650854U (zh) 一种水泥罐车顶盖开关结构
CN106050008B (zh) 一种可实现左右、内外开门方向自动变换的门锁
CN213260142U (zh) 一种便于启闭的蒸汽养护室
CN110369476A (zh) 一种土壤修复加热管的安装装置
CN112709540B (zh) 一种自动换杆装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant