CN208738205U - 一种用于洁净房内的硅片批量运输装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，包括一用于放置硅片的运输车，运输车的下方设有万向轮，运输车包括柜体，柜体包括一上下设置的上柜体以及下柜体；上柜体的前后两侧分别开设有进风口以及出风口，上柜体内设有分别与进风口以及出风口导通的导流通道，上柜体内沿着导流通道的导流方向依次设有风机、过滤器、静电消除装置以及硅片放置架；上柜体靠近硅片放置架的左右两侧中至少一侧开设有开口，开口上安装有用于封闭开口的玻璃门。本专利的改良点在于：(1)将传统敞开式的台车改良为封闭式的运输车，将硅片摆放在上柜体内，相较敞开式，减少了颗粒物吸附在硅片上的改良。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及硅片运输装置。
背景技术
在半导体硅片制造过程中，微小缺陷造成的不良损失已越来越受到关注，CVD长膜、抛光以及洗净是影响硅片微小缺陷的重要工序，例如，CVD过程中背面微小的颗粒会造成薄膜凸起，从而引起参数不良；抛光前贴片过程的微小颗粒直接造成参数不良；清洗、包装过程的微粒造成颗粒不良。尽管目前所有的工序均在洁净房内进行，然造成微粒不良的主要源头仍然是作业人员的引入。鉴于全自动化无人化工厂的建造成本高，而硅片批量在车间内运输又不得不进行，特提出一种便于在洁净房内大批量运输硅片的推车，既能满足硅片的运输，又能很好的解决作业人员或者推车运动造成的颗粒污染。
目前对洁净房内保证硅片表面颗粒的装置，市面上仅有针对单盒运输、批量保管、存放的装置，而一般批量运输的装置均采用普通台车。
目前采用台车对硅片进行运输，由于人员、推车等在洁净房内运动，①或多或少的会造成一定的微粒掉落；②磨擦造成一定的静电无法及时消除，造成颗粒吸附；③由于洁净房的地板都是带孔地板或者栅格地板，推车运动造成的震动也会造成微粒产生。不便于保证对硅片的存放效果。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，以解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，包括一用于放置硅片的运输车，所述运输车的下方设有万向轮，其特征在于，所述运输车包括柜体，所述柜体包括一上下设置的上柜体以及下柜体；
所述上柜体的前后两侧分别开设有进风口以及出风口，所述上柜体内设有分别与进风口以及出风口导通的导流通道，所述上柜体内沿着导流通道的导流方向依次设有风机、过滤器、静电消除装置以及硅片放置架；
所述上柜体靠近硅片放置架的左右两侧中至少一侧开设有开口，所述开口上安装有用于封闭开口的玻璃门；
所述下柜体内设有供电系统，所述供电系统设有两个分别用于连接风机的电能输入端以及静电消除装置的电能输入端的电能输出端。
本专利的改良点在于：(1)将传统敞开式的台车改良为封闭式的运输车，将硅片摆放在上柜体内，相较敞开式，减少了颗粒物吸附在硅片上的改良。
(2)本专利通过高效过滤器以及静电消除装置设置在上柜体内，①杜绝了外来微粒的进入；②震动造成的微粒及时被吹走，避免吸附在硅片表面；③避免了洁净房内静电消除不及时、静电消除死角，有效的保证了推车内部无静电造成的微粒吸附在硅片上。
(3)本专利通过玻璃门的设计，便于查看上柜体内的硅片放置量。
(4)本专利通过下柜体内设有供电系统，便于在运输车移动过程中，仍能保证对风机以及静电消除装置的供电。风机以及静电消除装置是目前市售的产品，如何对风机与静电消除装置进行供电是现有技术，故本专利不进行详述。
所述风机是一离心风机，所述离心风机与所述过滤器之间设有一导风机构；
所述导风机构包括一喇叭口状的导风板，导风板的外径从离心风机侧至过滤器侧递减，导风板设置在所述离心风机靠近所述过滤器侧的外围；
所述上柜体的内壁还连接有一方框，以所述方框与所述导风板的外壁之间的间隙作为离心风机导出的气流传导至过滤器的输送通道。
便于通过导风机构将径向出风的离心风机导出的气流向靠近轴线处进行导流。
所述导风机构包括一用于分隔离心风机与过滤器的隔板，所述隔板上开设有环状排布的
所述上柜体的后侧板是一网孔板，以所述网孔板上的网孔作为所述出风口。
便于保证出风的均匀性的同时，减小出风口引入颗粒的概率。
所述静电消除装置包括除静电网或者离子棒。
所述硅片放置架包括至少两个纵向排布的层板，所述层板的上表面包括一齿状结构的置物面；
所述置物面包括从左至右依次排布的复数个硅片放置单元，所述硅片放置单元是从左至右倾斜向上的倾斜面。
本专利通过优化层板上表面的结构，便于实现硅片盒的倾斜放置，进而实现硅片的倾斜放置，通过硅片盒倾斜放置相较水平放置，可以避免硅片正面边缘部分与硅片盒接触，减少由于接触带来的颗粒在硅片表面的沉积量，此外，本专利通过将硅片盒倾斜放置，便于保证相邻硅片的错位，采用倾斜放置的硅片盒相较水平放置，当摆放相同数目的硅片情况下，可以明显的减少层板的占用面积。
所述上柜体上设有一把手，所述玻璃门上也设有把手。
通过上柜体上设有把手，便于通过手握把手，实现运输车的推运。通过玻璃门上的把手，便于对玻璃门的开启与闭合。
所述下柜体的侧壁上安装有用于显示上柜体内安装有高效过滤器处的气压情况的第一压差表以及用于显示上柜体内安装有硅片放置架处的气压情况的第二压差表；
所述第一压差表与第二压差表相邻。
便于直观的查看，上柜体内不同区域的气压情况，便于进行日检。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图
图2为本实用新型的上柜体透视状态下的一种结构示意图；
图3为本实用新型的一种后视图。
图中：1为下柜体，2为上柜体，3为万向轮，4为第一压差表，5为第二压差表，6为层板，7为离子棒，8为风机，9为过滤器，10为把手，11为网孔板。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1、图2以及图3，一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，包括一用于放置硅片的运输车，运输车的下方设有万向轮3，运输车包括柜体，柜体包括一上下设置的上柜体2以及下柜体1；上柜体2的前后两侧分别开设有进风口以及出风口，上柜体2内设有分别与进风口以及出风口导通的导流通道，上柜体2内沿着导流通道的导流方向依次设有风机8、过滤器9、静电消除装置以及硅片放置架；上柜体2靠近硅片放置架的左右两侧中至少一侧开设有开口，开口上安装有用于封闭开口的玻璃门。下柜体1内设有供电系统，供电系统设有两个分别用于连接风机8的电能输入端以及静电消除装置的电能输入端的电能输出端。本专利的改良点在于：(1)将传统敞开式的台车改良为封闭式的运输车，将硅片摆放在上柜体2内，相较敞开式，减少了颗粒物吸附在硅片上的改良。本专利通过高效过滤器9以及静电消除装置设置在上柜体2内，①杜绝了外来微粒的进入；②震动造成的微粒及时被吹走，避免吸附在硅片表面；③避免了洁净房内静电消除不及时、静电消除死角，有效的保证了推车内部无静电造成的微粒吸附在硅片上。本专利通过玻璃门的设计，便于查看上柜体2内的硅片放置量。本专利通过下柜体1内设有供电系统，便于在运输车移动过程中，仍能保证对风机8以及静电消除装置的供电。风机8以及静电消除装置是目前市售的产品，如何对风机8与静电消除装置进行供电是现有技术，故本专利不进行详述。
静电消除装置包括除静电网或者离子棒7。
上柜体2的后侧板是一网孔板11，以网孔板11上的网孔作为出风口。便于保证出风的均匀性的同时，减小出风口引入颗粒的概率。
风机是一离心风机，离心风机与过滤器之间设有一导风机构；导风机构包括一喇叭口状的导风板，导风板的外径从离心风机侧至过滤器侧递减，导风板设置在离心风机靠近过滤器侧的外围；上柜体的内壁还连接有一方框，以方框与导风板的外壁之间的间隙作为离心风机导出的气流传导至过滤器的输送通道。便于通过导风机构将径向出风的离心风机导出的气流向靠近轴线处进行导流。
硅片放置架包括至少两个纵向排布的层板6，层板6的上表面包括一齿状结构的置物面；置物面包括从左至右依次排布的复数个硅片放置单元，硅片放置单元是从左至右倾斜向上的倾斜面。本专利通过优化层板6上表面的结构，便于实现硅片盒的倾斜放置，进而实现硅片的倾斜放置，通过硅片盒倾斜放置相较水平放置，可以避免硅片正面边缘部分与硅片盒接触，减少由于接触带来的颗粒在硅片表面的沉积量，此外，本专利通过将硅片盒倾斜放置，便于保证相邻硅片的错位，采用倾斜放置的硅片盒相较水平放置，当摆放相同数目的硅片情况下，可以明显的减少层板6的占用面积。
上柜体2上设有一把手，玻璃门上也设有把手10。通过上柜体2上设有把手，便于通过手握把手，实现运输车的推运。通过玻璃门上的把手，便于对玻璃门的开启与闭合。
供电系统的两个分别用于连接风机8的电能输入端以及静电消除装置的电能输入端的电能输出端可以是一插座。便于实现插头式风机电能输入端的插接，以及静电消除装置的供电电源线插头的插接。
供电系统包括蓄电池以及逆变器，蓄电池的直流电输出端连接逆变器的直流电输入端，逆变器设有两个分别用于用于连接风机8的电能输入端以及静电消除装置的电能输入端的交流电输出端。便于实现蓄电池对风机8以及静电消除装置的电能供给。或者，供电系统包括两组供电单元，两组供电电源分别包括蓄电池以及逆变器，蓄电池的直流电输出端连接逆变器的直流电输入端，两组供电电源的逆变器分别设有两个分别用于用于连接风机8的电能输入端以及静电消除装置的电能输入端的交流电输出端。蓄电池的电能输入端引出一电源线。便于通过电源线与市电的相连，进而实现蓄电池的供电。
下柜体1的侧壁上安装有用于显示上柜体2内安装有高效过滤器9处的气压情况的第一压差表4以及用于显示上柜体2内安装有硅片放置架处的气压情况的第二压差表5；第一压差表4与第二压差表5相邻。便于直观的查看，上柜体2内不同区域的气压情况，便于进行日检。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，包括一用于放置硅片的运输车，所述运输车的下方设有万向轮，其特征在于，所述运输车包括柜体，所述柜体包括一上下设置的上柜体以及下柜体；
所述上柜体的前后两侧分别开设有进风口以及出风口，所述上柜体内设有分别与进风口以及出风口导通的导流通道，所述上柜体内沿着导流通道的导流方向依次设有风机、过滤器、静电消除装置以及硅片放置架；
所述上柜体靠近硅片放置架的左右两侧中至少一侧开设有开口，所述开口上安装有用于封闭开口的玻璃门；
所述下柜体内设有供电系统，所述供电系统设有两个分别用于连接风机的电能输入端以及静电消除装置的电能输入端的电能输出端。
2.根据权利要求1所述的一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，其特征在于：所述静电消除装置包括除静电网或者离子棒。
3.根据权利要求1所述的一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，其特征在于：所述硅片放置架包括至少两个纵向排布的层板，所述层板的上表面包括一齿状结构的置物面；
所述置物面包括从左至右依次排布的复数个硅片放置单元，所述硅片放置单元是从左至右倾斜向上的倾斜面。
4.根据权利要求1所述的一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，其特征在于：所述上柜体上设有一把手，所述玻璃门上也设有把手。
5.根据权利要求1所述的一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，其特征在于：所述下柜体的侧壁上安装有用于显示上柜体内安装有高效过滤器处的气压情况的第一压差表以及用于显示上柜体内安装有硅片放置架处的气压情况的第二压差表；
所述第一压差表与第二压差表相邻。
6.根据权利要求1所述的一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，其特征在于：所述上柜体的后侧板是一网孔板，以所述网孔板上的网孔作为所述出风口。
7.根据权利要求1所述的一种用于洁净房内的硅片批量运输装置，其特征在于：所述风机是一离心风机，所述离心风机与所述过滤器之间设有一导风机构；
所述导风机构包括一喇叭口状的导风板，导风板的外径从离心风机侧至过滤器侧递减，导风板设置在所述离心风机靠近所述过滤器侧的外围；
所述上柜体的内壁还连接有一方框，以所述方框与所述导风板的外壁之间的间隙作为离心风机导出的气流传导至过滤器的输送通道。
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Cited By (1)
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| CN112616232A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-04-06 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 硅片处理设备 |
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2018
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Cited By (2)
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