CN215613915U

CN215613915U - 一种料盒清洗机

Info

Publication number: CN215613915U
Application number: CN202121725336.6U
Authority: CN
Inventors: 杨杰; 蒋君; 孔玉朋; 宋昌万
Original assignee: Tuosi Precision Technology Suzhou Co ltd
Current assignee: Tuosi Precision Technology Suzhou Co ltd
Priority date: 2021-07-27
Filing date: 2021-07-27
Publication date: 2022-01-25
Anticipated expiration: 2031-07-27

Abstract

本实用新型公开了一种料盒清洗机，包括输送线体、沿所述输送线体长度方向依次设置的清洗工位与吹干工位以及用于所述吹干工位供气的供气组件；所述输送线体上设置有治具架；所述清洗工位包括清洗腔室、用于液体输入的进液管以及位于所述清洗腔室内的清洗喷嘴，所述进液管包括药剂管与清水管，所述清洗喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行喷淋；所述吹干工位包括吹干腔室、用于气体输入的进气管以及位于所述吹干腔室内的吹干喷嘴，所述吹干喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行吹干；所述供气组件包括依次连接设置的储气罐、空气加热器以及空气过滤器。本实用新型实现了对晶圆料盒的清洗与吹干，保证了保证了晶圆的颗粒洁净度。

Description

一种料盒清洗机

技术领域

本实用新型属于晶圆料盒清洗技术领域，尤其涉及一种料盒清洗机。

背景技术

半导体衬底材料切磨抛清洗之后，需要装载到晶圆料盒，由于晶圆料盒在来料运输过程中，可能存在静电摩擦，导致晶圆料盒颗粒洁净度不达标，从而影响晶圆的颗粒洁净度，因此需要在装载之前对晶圆料盒进行清洗，从而保证晶圆的颗粒洁净度。

目前往往是直接使用晶圆料盒对晶圆进行装载，并不会对晶圆料盒进行清洗操作，因此将会极大地影响晶圆的颗粒洁净度。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种料盒清洗机，以解决现有技术中存在的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种料盒清洗机，包括输送线体、沿所述输送线体长度方向依次设置的清洗工位与吹干工位以及用于所述吹干工位供气的供气组件；其中：

所述输送线体为分段式输送结构，所述输送线体上设置有治具架；

所述清洗工位包括清洗腔室、用于液体输入的进液管以及位于所述清洗腔室内的清洗喷嘴，所述进液管包括药剂管与清水管，所述清洗喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行喷淋；

所述吹干工位包括吹干腔室、用于气体输入的进气管以及位于所述吹干腔室内的吹干喷嘴，所述吹干喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行吹干；

所述供气组件包括依次连接设置的储气罐、空气加热器以及空气过滤器，所述空气过滤器与所述进气管连接。

优选的，所述输送线体下方设置有水箱与药剂箱，所述水箱与所述清水管连接，所述药剂箱与所述药剂管连接。

优选的，所述清洗腔室入口端与出口端以及所述吹干腔室入口端与出口端均设置有密封门。

优选的，所述清洗喷嘴通过清洗风管与所述进液管连接。

优选的，所述清洗喷嘴沿所述清洗风管长度方向间隔分布，所述清洗风管数量为两组且分别位于所述清洗腔室顶部与底部。

优选的，所述吹干喷嘴通过吹干风管与所述进气管连接。

优选的，所述吹干喷嘴沿所述吹干风管长度方向间隔分布，所述吹干风管数量为两组且分别位于所述吹干腔室顶部与底部。

优选的，所述吹干腔室的出口端设置有静电消除器。

本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

(1)本实用新型在输送线体、清洗工位、吹干工位以及供气组件的配合作用下，实现了对晶圆料盒的清洗与吹干，保证了晶圆料盒的清洁度，进而保证了晶圆的颗粒洁净度；

(2)输送线体采用分段式输送结构设计，能够连续对晶圆料盒进行分段式操作，互不干涉，进而提高对晶圆料盒的清洗效率；

(3)供气组件能够对空气进行加热过滤，从而更好地对晶圆料盒进行吹干，保证晶圆料盒的清洁度；

(4)清洗风管对清洗喷嘴进行有效地安装支撑，使清洗喷嘴能够更为全面的对晶圆料盒进行清洗，而吹干风管则是对吹干喷嘴进行有效地安装支撑，使吹干喷嘴能够更为全面的对晶圆料盒进行吹干，保证对晶圆料盒的处理效果；

(5)静电消除器能够对清洗吹干后的晶圆料盒进行静电消除，避免对晶圆的装载造成影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型优选实施例的整体结构示意图；

图2为图1的主视图；

图3为本实用新型优选实施例的局部结构示意图；

图4为本实用新型优选实施例输送线体的结构示意图；

图中：1、输送线体；2、清洗工位；21、清洗腔室；22、进液管；221、药剂管；222、清水管；23、清洗喷嘴；3、吹干工位；31、吹干腔室；32、进气管；33、吹干喷嘴；4、供气组件；41、储气罐；42、空气加热器；43、空气过滤器；5、治具架；6、水箱；7、药剂箱；8、密封门；9、清洗风管；10、吹干风管；11、静电消除器；101、第一段输送线；102、第二段输送线；103、第三段输送线；104、第四段输送线。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合图1与图2所示，一种料盒清洗机，包括输送线体1、沿输送线体1长度方向依次设置的清洗工位2与吹干工位3以及用于吹干工位3供气的供气组件4；其中：

如图4所示，输送线体1为分段式输送结构，输送线体1上设置有治具架5，该输送线体1由依次设置的第一段输送线101、第二段输送线102、第三段输送线103以及第四段输送线104组成，第一段输送线101作为治具架5的上料输送，第二段输送线102作为治具架5的清洗输送，第三段输送线103作为治具架5的烘干输送，第四段输送线104作为治具架5的下料输送，采用分段式输送结构设计，能够连续对晶圆料盒进行分段式操作，互不干涉，进而提高对晶圆料盒的清洗效率。

结合图2与图3所示，清洗工位2包括清洗腔室21、用于液体输入的进液管22以及位于清洗腔室21内的清洗喷嘴23，进液管22包括药剂管221与清水管222，清洗喷嘴23分别对料盒上端面与下端面进行喷淋，清洗喷嘴23通过清洗风管9与进液管22连接，清洗喷嘴23沿清洗风管9长度方向间隔分布，清洗风管9数量为两组且分别位于清洗腔室21顶部与底部，当治具架5从第一段输送线101进入第二段输送线102之后，清洗腔室21的入口端与出口端均密封，通过药剂管221将药剂导入清洗风管9内，由清洗喷嘴23对治具架5内的晶圆料盒进行清洗，药剂清洗完成之后，清水管222将清水导入清洗风管9内，由清洗喷嘴23对治具架5内的晶圆料盒进行清洗，清洗风管9对清洗喷嘴23进行有效地安装支撑，使清洗喷嘴23能够更为全面的对晶圆料盒进行清洗，清洗完成之后即可进行下一步。

结合图2与图3所示，吹干工位3包括吹干腔室31、用于气体输入的进气管32以及位于吹干腔室31内的吹干喷嘴33，吹干喷嘴33分别对料盒上端面与下端面进行吹干，吹干喷嘴33通过吹干风管10与进气管32连接，吹干喷嘴33沿吹干风管10长度方向间隔分布，吹干风管10数量为两组且分别位于吹干腔室31顶部与底部，当治具架5从第二段输送线102进入第三段输送线103后，吹干腔室31的入口端与出口端均密封，通过进气管32将处理过的空气导入吹干腔室31内，由吹干喷嘴33对晶圆料盒进行吹干，吹干风管10对吹干喷嘴33进行有效地安装支撑，使吹干喷嘴33能够更为全面的对晶圆料盒进行吹干，保证对晶圆料盒的处理效果。

结合图2与图3所示，供气组件4包括依次连接设置的储气罐41、空气加热器42以及空气过滤器43，空气过滤器43与进气管32连接，空气从储气罐41进入空气加热器42进行加热，使空气保持一定的温度，而后经过空气过滤器43进行空气过滤，过滤后的空气通入吹干工位3的进气管32内，对治具架5内的晶圆料盒进行吹干处理，供气组件4能够对空气进行加热过滤，从而更好地对晶圆料盒进行吹干，保证晶圆料盒的清洁度。

在本实施例中，输送线体1下方设置有水箱6与药剂箱7，水箱6与清水管222连接，药剂箱7与药剂管221连接，清洗腔室21入口端与出口端以及吹干腔室31入口端与出口端均设置有密封门8，密封门8能够对清洗腔室21入口端与出口端以及吹干腔室31入口端与出口端进行密封处理，保证对晶圆料盒的清洗效果与烘干效果。

进一步地，在本实施例中，吹干腔室31的出口端设置有静电消除器11，静电消除器11能够对清洗吹干后的晶圆料盒进行静电消除，避免对晶圆的装载造成影响。

总而言之，本实用新型在输送线体1、清洗工位2、吹干工位3以及供气组件4的配合作用下，实现了对晶圆料盒的清洗与吹干，保证了晶圆料盒的清洁度，进而保证了晶圆的颗粒洁净度。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims

1.一种料盒清洗机，其特征在于，包括输送线体、沿所述输送线体长度方向依次设置的清洗工位与吹干工位以及用于所述吹干工位供气的供气组件；其中：

2.根据权利要求1所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述输送线体下方设置有水箱与药剂箱，所述水箱与所述清水管连接，所述药剂箱与所述药剂管连接。

3.根据权利要求1所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述清洗腔室入口端与出口端以及所述吹干腔室入口端与出口端均设置有密封门。

4.根据权利要求1所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述清洗喷嘴通过清洗风管与所述进液管连接。

5.根据权利要求4所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述清洗喷嘴沿所述清洗风管长度方向间隔分布，所述清洗风管数量为两组且分别位于所述清洗腔室顶部与底部。

6.根据权利要求1所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述吹干喷嘴通过吹干风管与所述进气管连接。

7.根据权利要求6所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述吹干喷嘴沿所述吹干风管长度方向间隔分布，所述吹干风管数量为两组且分别位于所述吹干腔室顶部与底部。

8.根据权利要求1所述的一种料盒清洗机，其特征在于，所述吹干腔室的出口端设置有静电消除器。