CN212168299U - 一种晶圆体的清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆体的清洗装置，包括工作箱、清洗池、分水管和风管，所述工作箱顶部一端通过螺栓镶嵌安装有清洗池，所述清洗池内设圆盘，所述圆盘内开设有圆槽，所述清洗池内一端拐角处设有第一转杆，所述清洗池内另一端拐角处设有第二转杆，所述第二转杆一侧焊设有分水管，所述分水管另一侧焊设有风管，所述分水管底部出水端排布安装有雾化喷头，所述风管底部开设有出风口，所述第一转杆一端套设安装有海绵刷套，所述工作箱顶部另一端通过螺栓嵌设安装有水泵。整体装置良好的完成一体化的冲洗、刷式和烘干工作，大大提高晶圆加工效率的高效性和便捷性。

Description

一种晶圆体的清洗装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，特别涉及一种晶圆体的清洗装置。

背景技术

晶圆体的清洗装置只具有单一的清洗功能，没有良好的一体化冲洗、刷式和烘干部件，使得晶圆在进行清洗时具有一系列转移处理，易二次沾染灰尘异物，大大降低了清洗的洁净度。

专利号CN201220066406.6公布了一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置，通过将刷桶上的刷毛设置成沿刷桶轴向交错排列的叉形刷毛，可以实现快速、彻底清洗晶圆表面上的颗粒的目的。另通过增设一排设有若干刷桶清洗喷嘴的第二喷水管，可以将刷桶上的颗粒及时冲走，防止这些颗粒被重新带回到晶圆表面，进一步确保了晶圆清洗的效果和效率。通过增设活动的单独调控的喷嘴可以加强重点区域的冲洗效果。

该晶圆清洗刷和晶圆清洗装置存在以下弊端：该申请清洗装置缺乏良好的一体化冲洗、刷式和烘干部件，使得晶圆在进行清洗时具有一系列转移处理，易二次沾染灰尘异物，大大降低了清洗的洁净度。为此，我们提出一种晶圆体的清洗装置。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆体的清洗装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种晶圆体的清洗装置，包括工作箱、清洗池、分水管和风管，所述工作箱顶部一端通过螺栓镶嵌安装有清洗池，所述清洗池内设圆盘，所述圆盘内开设有圆槽，所述清洗池内一端拐角处设有第一转杆，所述清洗池内另一端拐角处设有第二转杆，所述第二转杆一侧焊设有分水管，所述分水管另一侧焊设有风管，所述分水管底部出水端排布安装有雾化喷头，所述风管底部开设有出风口，所述第一转杆一端套设安装有海绵刷套，所述工作箱顶部另一端通过螺栓嵌设安装有水泵。

进一步地，所述第一转杆和第二转杆一端底部均设有伺服电机，所述第一转杆和第二转杆一端底部均与对应的伺服电机顶部的驱动端安装连接，所述伺服电机通过安装块安装于清洗池内拐角处，所述水泵一侧安装有气泵，所述气泵的出风端通过气管与风管的进气端连接，所述气管上套接有电加热套。

进一步地，所述工作箱内一端底部通过螺栓安装有驱动电机，所述驱动电机顶部驱动端与圆盘底部连接。

进一步地，所述圆槽底部贯穿开设有漏水孔，所述圆槽内底部胶覆有防滑橡胶垫。

进一步地，所述水泵的出水端通过水管与分水管的进水端连接，所述清洗池一端开设有排水口。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.人员通过第一转杆和第二转杆对应的伺服电机实现对第一转杆和第二转杆的工作角度进行转动调节，通过水泵实现对分水管内进行输水工作，使得分水管底部的雾化喷头实现对圆槽内的晶圆体顶部表面进行喷洗处理，通过第二转杆上海绵刷套的使用，可实现对晶圆体表面进行刷式工作，进而有效实现对晶圆体进行清洗处理；

2.烘干时，人员将海绵刷套离开晶圆体，且停止水泵工作通过气泵的使用，通过气管将气泵输出的对风管内进行排送，使得风管底部的出风口能够对转动的晶圆体进行吹气工作，实现对晶圆体进行吹干处理，通过电加热套的使用，可对经过气管的空气进行加热处理，使得对晶圆体的烘干效率大大提高，使得整体装置良好的完成一体化的冲洗、刷式和烘干工作，大大提高晶圆加工效率的高效性和便捷性。

附图说明

图1为本实用新型一种晶圆体的清洗装置的俯视结构示意图。

图2为本实用新型一种晶圆体的清洗装置的主视结构示意图。

图3为本实用新型一种晶圆体的清洗装置的伺服电机结构示意图。

图4为本实用新型一种晶圆体的清洗装置的分水管仰视结构示意图。

图5为本实用新型一种晶圆体的清洗装置的风管仰视结构示意图。

图中：1、工作箱；2、清洗池；3、圆盘；4、圆槽；5、第一转杆；6、第二转杆；7、分水管；8、风管；9、雾化喷头；10、出风口；11、伺服电机；12、海绵刷套；13、水泵；14、气泵；15、气管；16、电加热套；17、驱动电机；18、漏水孔。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-5所示，一种晶圆体的清洗装置，包括工作箱1、清洗池2、分水管7和风管8，所述工作箱1顶部一端通过螺栓镶嵌安装有清洗池2，所述清洗池2内设圆盘3，所述圆盘3内开设有圆槽4，所述清洗池2内一端拐角处设有第一转杆5，所述清洗池2内另一端拐角处设有第二转杆6，所述第二转杆6一侧焊设有分水管7，所述分水管7另一侧焊设有风管8，所述分水管7底部出水端排布安装有雾化喷头9，所述风管8底部开设有出风口10，所述第一转杆5一端套设安装有海绵刷套12，所述工作箱1顶部另一端通过螺栓嵌设安装有水泵13。

其中，所述第一转杆5和第二转杆6一端底部均设有伺服电机11，所述第一转杆5和第二转杆6一端底部均与对应的伺服电机11顶部的驱动端安装连接，所述伺服电机11通过安装块安装于清洗池2内拐角处，所述水泵13一侧安装有气泵14，所述气泵14的出风端通过气管15与风管8的进气端连接，所述气管15上套接有电加热套16。

本实施例中如图1所示，电加热套16用于对经过气管15的空气进行加热处理。

其中，所述工作箱1内一端底部通过螺栓安装有驱动电机17，所述驱动电机17顶部驱动端与圆盘3底部连接。

本实施例中如图1所示，驱动电机17用于驱动圆盘3转动。

其中，所述圆槽4底部贯穿开设有漏水孔18，所述圆槽4内底部胶覆有防滑橡胶垫。

本实施例中如图1所示，漏水孔18便于圆槽4内的水渍能够排漏，防滑橡胶垫能够提高晶圆体放置于圆槽4内的的防滑效果。

其中，所述水泵13的出水端通过水管与分水管7的进水端连接，所述清洗池2一端开设有排水口。

需要说明的是，本实用新型为一种晶圆体的清洗装置，工作时，人员将水泵13的进水端与外界供水管道连接，将需要清洗的晶圆体放置于圆盘3的圆槽4内，并通过驱动电机17对圆盘3进行驱动转动，使用时，人员通过第一转杆5和第二转杆6对应的伺服电机11实现对第一转杆5和第二转杆6的工作角度进行转动调节，通过水泵13实现对分水管7内进行输水工作，使得分水管7底部的雾化喷头9实现对圆槽4内的晶圆体顶部表面进行喷洗处理，通过第二转杆6上海绵刷套12的使用，可实现对晶圆体表面进行刷式工作，进而有效实现对晶圆体进行清洗处理；烘干时，人员将海绵刷套12离开晶圆体，且停止水泵13工作通过气泵14的使用，通过气管15将气泵14输出的对风管8内进行排送，使得风管8底部的出风口10能够对转动的晶圆体进行吹气工作，实现对晶圆体进行吹干处理，通过电加热套16的使用，可对经过气管15的空气进行加热处理，使得对晶圆体的烘干效率大大提高，使得整体装置良好的完成一体化的冲洗、刷式和烘干工作，大大提高晶圆加工效率的高效性和便捷性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种晶圆体的清洗装置，包括工作箱（1）、清洗池（2）、分水管（7）和风管（8），其特征在于，所述工作箱（1）顶部一端通过螺栓镶嵌安装有清洗池（2），所述清洗池（2）内设圆盘（3），所述圆盘（3）内开设有圆槽（4），所述清洗池（2）内一端拐角处设有第一转杆（5），所述清洗池（2）内另一端拐角处设有第二转杆（6），所述第二转杆（6）一侧焊设有分水管（7），所述分水管（7）另一侧焊设有风管（8），所述分水管（7）底部出水端排布安装有雾化喷头（9），所述风管（8）底部开设有出风口（10），所述第一转杆（5）一端套设安装有海绵刷套（12），所述工作箱（1）顶部另一端通过螺栓嵌设安装有水泵（13）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆体的清洗装置，其特征在于：所述第一转杆（5）和第二转杆（6）一端底部均设有伺服电机（11），所述第一转杆（5）和第二转杆（6）一端底部均与对应的伺服电机（11）顶部的驱动端安装连接，所述伺服电机（11）通过安装块安装于清洗池（2）内拐角处，所述水泵（13）一侧安装有气泵（14），所述气泵（14）的出风端通过气管（15）与风管（8）的进气端连接，所述气管（15）上套接有电加热套（16）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆体的清洗装置，其特征在于：所述工作箱（1）内一端底部通过螺栓安装有驱动电机（17），所述驱动电机（17）顶部驱动端与圆盘（3）底部连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆体的清洗装置，其特征在于：所述圆槽（4）底部贯穿开设有漏水孔（18），所述圆槽（4）内底部胶覆有防滑橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆体的清洗装置，其特征在于：所述水泵（13）的出水端通过水管与分水管（7）的进水端连接，所述清洗池（2）一端开设有排水口。

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