CN208729402U - 一种防止受热变形的硅片倒角机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防止受热变形的硅片倒角机，属于硅片加工技术领域，包括机架和箱体，箱体内设置有呈片装置、冷却液箱、PLC控制箱和转动机构，冷却液箱位于转动机构上方，冷却液箱固定在箱体内壁上，冷却液箱下部设置喷淋管，转动电机箱固定设置在箱体上，转动电机安装在转动电机箱内，转动电机输出端连接转动联轴器，转动联轴器另一端连接砂轮，PLC控制箱包括显示屏、按钮和PLC控制器，显示屏和按钮均与PLC控制器相连，PLC控制器还与纵向伺服电机、横向伺服电机、呈片电机和转动电机相连。本实用新型具有加工尺寸广、防止硅片受热变形和自动化程度更高等优点。

Description

一种防止受热变形的硅片倒角机

技术领域

本实用新型属于硅片加工技术领域，具体涉及一种防止受热变形的硅片倒角机。

背景技术

硅是一种很典型的半导体材料，其在地球表面的含量仅次于氧，被广泛应用与二极管、三极管、晶闸管、场效应管和各种集成电路，航空航天，光导纤维等多种领域中，是非常重要的材料。在硅片的加工过程中，从硅晶锭切成硅片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起硅片报废，因此在磨片之前需要对硅片进行倒角。目前的技术是通过人工对崩边的硅片进行修磨，劳力投入大，产量小，产品合格率低。

公告号为CN205904810U，公告日为2017年01月25日的中国专利文献公开了一种圆形硅片快速倒角机，包括电机、主动带轮、传动带、从动带轮、转动轴、砂轮、固定块、工作台、机体；其特征在于：机体与工作台固定连接，工作台与固定块固定连接，机体与电机固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮通过转动轴与砂轮固定连接。

该专利通过机体与工作台固定连接，工作台与固定块固定连接，机体与电机固定连接，电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮通过转动轴与砂轮固定连接，本装置采用内锥腔结构的砂轮，提高倒角效率，提高企业经济效益，但是加工尺寸单一、硅片受热易变形。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种加工多尺寸、防止硅片受热变形和自动化程度更高的硅片倒角机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种防止受热变形的硅片倒角机，包括机架和箱体，其特征在于：所述箱体内设置有呈片装置、冷却液箱、PLC控制箱和转动机构，所述呈片装置包括基座、移动板、横向移动机构、纵向移动机构、安装板、横向固定块、纵向固定块、固定块支柱、呈片电机、呈片联轴器和真空吸盘；

所述横向移动机构包括横向伺服电机、横向电机传动座、横向滚珠丝杆、横向固定座、横向螺母座、2条横向导轨和4个横向滑块，所述2条横向导轨设置在基座上，所述每条横向导轨上设置2个横向滑块，所述横向导轨之间固定设置有横向固定座，所述横向固定座与横向滚珠丝杆通过螺母相连，所述横向滚珠丝杆上套设横向螺母座，所述横向滚珠丝杆远离横向固定座一端连接有横向电机传动座，所述横向传动座和横向伺服电机相连，所述横向螺母座上固定连接移动板，所述移动板通过横向滑块跟横向导轨滑动连接；所述纵向移动机构包括纵向伺服电机、纵向电机传动座、纵向滚珠丝杆、纵向固定座、纵向螺母座、2条纵向导轨和4个纵向滑块，所述2条纵向导轨设置在移动板上，所述每条纵向导轨上设置2个纵向滑块，所述纵向导轨之间固定设置有纵向固定座，所述纵向固定座与纵向滚珠丝杆通过螺母相连，所述纵向滚珠丝杆上套设纵向螺母座，所述纵向滚珠丝杆远离纵向固定座一端连接有纵向电机传动座，所述纵向传动座和纵向伺服电机相连，所述纵向螺母座上固定连接安装板，所述安装板通过纵向滑块跟纵向导轨滑动连接，所述横向固定座和纵向固定座中部均设置有指针；所述安装板上固定设置呈片电机，所述呈片电机输出端连接呈片联轴器，所述呈片联轴器另一端连接连接真空吸盘；所述基座上设置固定块支柱，所述固定块支柱上设置横向固定块和纵向固定块，所述横向固定块和纵向固定块相连，所述横向固定块和纵向固定块上设置有刻度；

所述冷却液箱位于转动机构上方，所述冷却液箱固定在箱体内壁上，所述冷却液箱下部设置喷淋管；

所述转动机构包括转动电机、转动联轴器、砂轮和转动电机箱，所述转动电机箱固定设置在箱体上，所述转动电机安装在转动电机箱内，所述转动电机输出端连接转动联轴器，所述转动联轴器另一端连接砂轮；

所述PLC控制箱包括显示屏、按钮和PLC控制器，所述显示屏和按钮均与PLC控制器相连，所述PLC控制器还与纵向伺服电机、横向伺服电机、呈片电机和转动电机相连。

优选的，所述喷淋管上设置电磁阀，所述电磁阀和PLC控制器相连。

优选的，所述冷却液箱上方设置加液口，所述冷却液箱上设置液位计。

优选的，移动电机箱下部设置有支撑杆，所述支撑杆一端和转动电机箱底部相连，所述支撑杆另一端与箱体内壁相连。

优选的，所述砂轮的回转面设置有磨削槽，所述磨削槽为T型或R型。

优选的，所述箱体下端设置排水管，所述排水管上设置阀门。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，包括机架和箱体，所述箱体内设置有呈片装置、冷却液箱、PLC控制箱和转动机构，PLC控制箱控制呈片装置和转动机构运动，自动化程度更高、更节能；通过PLC控制器先预设好预设时间，横向移动机构移动到生产硅片尺寸所对应的位置停止移动，纵向移动机构移动到生产硅片尺寸所对应的位置停止运动，放入硅片，使硅片边缘与横向固定块和纵向固定块接触，纵向移动机构移动到硅片与转动机构接触时，纵向移动机构停止运动，此时呈片电机和转动电机运行预设时间，预设时间结束后纵向移动机构反向运动，当硅片接触固定块时纵向移动机构停止运动，取下硅片，放入新的硅片，纵向移动机构重复上述动作；固定块上的刻痕与固定座上的指针配合确定此时硅片倒角机的加工尺寸，通过横向移动机构和纵向移动机构的配合使用可以使得本实用新型的加工尺寸更广，实用性更强；移动板通过横向滑块跟横向导轨滑动连接，增加了移动板移动时的平稳性，安装板通过纵向滑块跟纵向导轨滑动连接，增加了安装板移动时的平稳性；硅片倒角时冷却液通过喷淋管喷淋在硅片上，防止硅片因摩擦受热不均而变形，减少了不合格率。

二、本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，喷淋管上设置电磁阀，电磁阀和PLC控制器相连，根据实际需要通过PLC控制器控制冷却液的流量大小。

三、本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，冷却液箱上方设置加液口，所述冷却液箱上设置液位计，可以方便的查看冷却液的液位，当冷却液液位很低时从加液口添加冷却液，保证冷却液供应。

四、本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，移动电机箱下部设置有支撑杆，所述支撑杆一端和转动电机箱底部相连，所述支撑杆另一端与箱体内壁相连，增加转动电机箱的稳固性。

五、本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，砂轮的回转面设置有磨削槽，所述磨削槽为T型或R型，T型或R型为硅片倒角加工的常用形状，满足正常的生产需要。

六、本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，箱体下端设置排水管，所述排水管上设置阀门，排水管和阀门的设置方便废液排出，减少清理箱体的工作量。

附图说明

本实用新型的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚，附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型呈片装置的结构示意图；

图3是本实用新型呈片装置的俯视图；

图中：

1、机架；2、箱体；3、呈片装置；4、冷却液箱；5、PLC控制箱；6、基座； 7、移动板；8、安装板；9、横向固定块；10、纵向固定块；11、固定块支柱；12、呈片电机；13、呈片联轴器；14、真空吸盘；15、横向伺服电机；16、横向滚珠丝杆；17、横向固定座；18、横向导轨；19、纵向伺服电机；20、纵向滚珠丝杆；21、纵向固定座；22、纵向导轨；23、喷淋管；24、转动电机；25、转动联轴器；26、砂轮；27、转动电机箱；28、显示屏；29、按钮；30、电磁阀；31、加液口；32、液位计；33、支撑杆；34、排水管；35、阀门。

具体实施方式

下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本实用新型目的技术方案，需要说明的是，本实用新型要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。

实施例1

作为本实用新型一种最基本的实施方案，本实施例公开了一种防止受热变形的硅片倒角机，如图1所示，包括机架1和箱体2，所述箱体2内设置有呈片装置3、冷却液箱4、PLC控制箱5和转动机构，所述呈片装置3包括基座6、移动板7、横向移动机构、纵向移动机构、安装板8、横向固定块9、纵向固定块10、固定块支柱11、呈片电机12、呈片联轴器13和真空吸盘14；

如图2和图3所示，所述横向移动机构包括横向伺服电机15、横向电机传动座、横向滚珠丝杆16、横向固定座17、横向螺母座、2条横向导轨18和4个横向滑块，所述2条横向导轨18设置在基座7上，所述每条横向导轨18上设置2个横向滑块，所述横向导轨18之间固定设置有横向固定座17，所述横向固定座17与横向滚珠丝杆16通过螺母相连，所述横向滚珠丝杆16上套设横向螺母座，所述横向滚珠丝杆16远离横向固定座17一端连接有横向电机传动座，所述横向传动座和横向伺服电机15相连，所述横向螺母座上固定连接移动板7，所述移动板7通过横向滑块跟横向导轨18滑动连接；所述纵向移动机构包括纵向伺服电机19、纵向电机传动座、纵向滚珠丝杆20、纵向固定座21、纵向螺母座、2条纵向导轨22和4个纵向滑块，所述2条纵向导轨2设置在移动板7上，所述每条纵向导轨22上设置2个纵向滑块，所述纵向导轨22之间固定设置有纵向固定座21，所述纵向固定座21与纵向滚珠丝杆20通过螺母相连，所述纵向滚珠丝杆20上套设纵向螺母座，所述纵向滚珠丝杆20远离纵向固定座21一端连接有纵向电机传动座，所述纵向传动座和纵向伺服电机19相连，所述纵向螺母座上固定连接安装板8，所述安装板8通过纵向滑块跟纵向导轨22滑动连接，所述横向固定座17和纵向固定座21中部均设置有指针；所述安装板8上固定设置呈片电机12，所述呈片电机12输出端连接呈片联轴器13，所述呈片联轴器13另一端连接连接真空吸盘14，所述真空吸盘14连接真空发生器，所述真空发生器设置在箱体内；所述基座6右上方设置多个固定块支柱11，所述固定块支柱11上设置横向固定块9和纵向固定块10，所述横向固定块9和纵向固定块10相连，所述横向固定块9和纵向固定块10相连呈L形，所述横向固定块9和纵向固定块10上设置有刻度；

所述冷却液箱4位于转动机构上方，所述冷却液箱4固定在箱体2内壁上，所述冷却液箱4下部设置喷淋管23；

所述转动机构包括转动电机24、转动联轴器25、砂轮26和转动电机箱27，所述转动电机箱27固定设置在箱体2上，所述转动电机24安装在转动电机箱27内，所述转动电机24输出端连接转动联轴器25，所述转动联轴器25另一端连接砂轮26，所述砂轮26回转面靠近呈片装置3的一端与纵向固定块10靠近呈片装置3的一端齐平；

所述PLC控制箱5包括显示屏28、按钮29和PLC控制器，所述PLC控制器采用西门子S7-400，所述显示屏28和按钮29均与PLC控制器相连，所述按钮29和PLC控制器配合用于调整预设时间，所述PLC控制器还与纵向伺服电机19、横向伺服电机15、呈片电机12、转动电机24和真空发生器相连，所述显示屏28用于显示纵向伺服电机19、横向伺服电机15、呈片电机12、转动电机24和真空发生器的运行状态。

本实用新型提供的防止受热变形的硅片倒角机，包括机架1和箱体2，所述箱体2内设置有呈片装置3、冷却液箱4、PLC控制箱5和转动机构，PLC控制箱5控制呈片装置3和转动机构运动，自动化程度更高、更节能；通过PLC控制器先预设好预设时间，横向移动机构移动到生产硅片尺寸所对应的位置停止移动，纵向移动机构移动到生产硅片尺寸所对应的位置停止运动，放入硅片，使硅片边缘与横向固定块9和纵向固定块10接触，纵向移动机构移动到硅片与转动机构接触时，纵向移动机构停止运动，此时呈片电机12和转动电机24运行预设时间，预设时间结束后纵向移动机构反向运动，当硅片接触固定块时纵向移动机构停止运动，取下硅片，放入新的硅片，纵向移动机构重复上述动作；固定块上的刻痕与固定座上的指针配合确定此时硅片倒角机的加工尺寸，通过横向移动机构和纵向移动机构的配合使用可以使得本实用新型的加工尺寸更广，实用性更强；移动板7通过横向滑块跟横向导轨18滑动连接，增加了移动板7移动时的平稳性，安装板8通过纵向滑块跟纵向导轨22滑动连接，增加了安装板8移动时的平稳性；硅片倒角时冷却液通过喷淋管23喷淋在硅片上，防止硅片因摩擦受热不均而变形，减少了不合格率。

本实用新型的工作原理为：初次使用时，横向伺服电机15转动带动横向滚珠丝杆16转动，横向滚珠丝杆16转动带动横向螺母座移动，横向螺母座移动带动移动板7移动，当横向固定座17上指针与横向固定块9上刻度对应此时硅片的加工尺寸时横向移动机构停止运动；纵向伺服电机19转动带动纵向滚珠丝杆20转动，纵向滚珠丝杆20转动带动纵向螺母座移动，纵向螺母座移动带动安装板8移动，当纵向固定座21上指针与纵向固定块10上刻度对应此时硅片的加工尺寸时纵向移动机构停止运动，放上硅片，使得硅片边缘与固定块接触，纵向移动机构反转，当硅片接触砂轮26时，呈片电机12和转动电机24运行，预设时间结束后，纵向移动机构再次反向运行，当硅片接触固定块时，纵向移动机构停止运动，取下硅片，放上新的硅片，纵向移动机构重复上述运动。

实施例2

作为本实用新型一种优选的实施方案，本实施例公开了一种防止受热变形的硅片倒角机，如图1所示，包括机架1和箱体2，所述箱体2内设置有呈片装置3、冷却液箱4、PLC控制箱5和转动机构，所述呈片装置3包括基座6、移动板7、横向移动机构、纵向移动机构、安装板8、横向固定块9、纵向固定块10、固定块支柱11、呈片电机12、呈片联轴器13和真空吸盘14；

如图2和图3所示，所述横向移动机构包括横向伺服电机15、横向电机传动座、横向滚珠丝杆16、横向固定座17、横向螺母座、2条横向导轨18和4个横向滑块，所述2条横向导轨18设置在基座7上，所述每条横向导轨18上设置2个横向滑块，所述横向导轨18之间固定设置有横向固定座17，所述横向固定座17与横向滚珠丝杆16通过螺母相连，所述横向滚珠丝杆16上套设横向螺母座，所述横向滚珠丝杆16远离横向固定座17一端连接有横向电机传动座，所述横向传动座和横向伺服电机15相连，所述横向螺母座上固定连接移动板7，所述移动板7通过横向滑块跟横向导轨18滑动连接；所述纵向移动机构包括纵向伺服电机19、纵向电机传动座、纵向滚珠丝杆20、纵向固定座21、纵向螺母座、2条纵向导轨22和4个纵向滑块，所述2条纵向导轨2设置在移动板7上，所述每条纵向导轨22上设置2个纵向滑块，所述纵向导轨22之间固定设置有纵向固定座21，所述纵向固定座21与纵向滚珠丝杆20通过螺母相连，所述纵向滚珠丝杆20上套设纵向螺母座，所述纵向滚珠丝杆20远离纵向固定座21一端连接有纵向电机传动座，所述纵向传动座和纵向伺服电机19相连，所述纵向螺母座上固定连接安装板8，所述安装板8通过纵向滑块跟纵向导轨22滑动连接，所述横向固定座17和纵向固定座21中部均设置有指针；所述安装板8上固定设置呈片电机12，所述呈片电机12输出端连接呈片联轴器13，所述呈片联轴器13另一端连接连接真空吸盘14，所述真空吸盘14连接真空发生器，所述真空发生器设置在箱体内；所述基座6右上方设置多个固定块支柱11，所述固定块支柱11上设置横向固定块9和纵向固定块10，所述横向固定块9和纵向固定块10相连，所述横向固定块9和纵向固定块10相连呈L形，所述横向固定块9和纵向固定块10上设置有刻度；

所述冷却液箱4位于转动机构上方，所述冷却液箱4固定在箱体2内壁上，所述冷却液箱4下部设置喷淋管23；

所述转动机构包括转动电机24、转动联轴器25、砂轮26和转动电机箱27，所述转动电机箱27固定设置在箱体2上，所述转动电机24安装在转动电机箱27内，所述转动电机24输出端连接转动联轴器25，所述转动联轴器25另一端连接砂轮26，所述砂轮26回转面靠近呈片装置3的一端与纵向固定块10靠近呈片装置3的一端齐平；

所述PLC控制箱5包括显示屏28、按钮29和PLC控制器，所述PLC控制器采用西门子S7-400，所述显示屏28和按钮29均与PLC控制器相连，所述按钮29和PLC控制器配合用于调整预设时间，所述PLC控制器还与纵向伺服电机19、横向伺服电机15、呈片电机12、转动电机24和真空发生器相连，所述显示屏28用于显示纵向伺服电机19、横向伺服电机15、呈片电机12、转动电机24和真空发生器的运行状态。

优选的，所述喷淋管23上设置电磁阀30，所述电磁阀30和PLC控制器相连。

优选的，所述冷却液箱4上方设置加液口31，所述冷却液箱4上设置液位计32。

优选的，所述转动电机箱27下部设置有支撑杆33，所述支撑杆33一端和转动电机箱27底部相连，所述支撑杆33另一端与箱体2内壁相连。

优选的，所述砂轮26的回转面设置有磨削槽，所述磨削槽为T型或R型。

优选的，所述箱体2下端设置排水管34，所述排水管34上设置阀门35。

本实用新型提供的硅片倒角机，包括机架1和箱体2，所述箱体2内设置有呈片装置3、冷却液箱4、PLC控制箱5和转动机构，PLC控制箱5控制呈片装置3和转动机构运动，自动化程度更高、更节能；通过PLC控制器先预设好预设时间，横向移动机构移动到生产硅片尺寸所对应的位置停止移动，纵向移动机构移动到生产硅片尺寸所对应的位置停止运动，放入硅片，使硅片边缘与横向固定块9和纵向固定块10接触，纵向移动机构移动到硅片与转动机构接触时，纵向移动机构停止运动，此时呈片电机12和转动电机24运行预设时间，预设时间结束后纵向移动机构反向运动，当硅片接触固定块时纵向移动机构停止运动，取下硅片，放入新的硅片，纵向移动机构重复上述动作；固定块上的刻痕与固定座上的指针配合确定此时硅片倒角机的加工尺寸，通过横向移动机构和纵向移动机构的配合使用可以使得本实用新型的加工尺寸更广，实用性更强；移动板7通过横向滑块跟横向导轨18滑动连接，增加了移动板7移动时的平稳性，安装板8通过纵向滑块跟纵向导轨22滑动连接，增加了安装板8移动时的平稳性；硅片倒角时冷却液通过喷淋管23喷淋在硅片上，防止硅片因摩擦受热不均而变形，减少了不合格率。

本实用新型的工作原理为：初次使用时，横向伺服电机15转动带动横向滚珠丝杆16转动，横向滚珠丝杆16转动带动横向螺母座移动，横向螺母座移动带动移动板7移动，当横向固定座17上指针与横向固定块9上刻度对应此时硅片的加工尺寸时横向移动机构停止运动；纵向伺服电机19转动带动纵向滚珠丝杆20转动，纵向滚珠丝杆20转动带动纵向螺母座移动，纵向螺母座移动带动安装板8移动，当纵向固定座21上指针与纵向固定块10上刻度对应此时硅片的加工尺寸时纵向移动机构停止运动，放上硅片，使得硅片边缘与固定块接触，纵向移动机构反转，当硅片接触砂轮26时，呈片电机12和转动电机24运行，预设时间结束后，纵向移动机构再次反向运行，当硅片接触固定块时，纵向移动机构停止运动，取下硅片，放上新的硅片，纵向移动机构重复上述运动。

喷淋管23上设置电磁阀30，电磁阀30和PLC控制器相连，根据实际需要通过PLC控制器控制冷却液的流量大小。冷却液箱4上方设置加液口31，所述冷却液箱4上设置液位计32，可以方便的查看冷却液的液位，当冷却液液位很低时从加液口31添加冷却液，保证冷却液供应。转动电机箱27下部设置有支撑杆33，所述支撑杆33一端和转动电机箱27底部相连，所述支撑杆33另一端与箱体2内壁相连，增加转动电机箱27的稳固性。砂轮26的回转面设置有磨削槽，所述磨削槽为T型或R型，T型或R型为硅片倒角加工的常用形状，满足正常的生产需要。箱体2下端设置排水管34，所述排水管34上设置阀门35，排水管34和阀门35的设置方便废液排出，清理箱体更方便，减少清理箱体的工作量。

Claims (6)

1.一种防止受热变形的硅片倒角机，包括机架（1）和箱体（2），其特征在于：所述箱体（2）内设置有呈片装置（3）、冷却液箱（4）、PLC控制箱（5）和转动机构，所述呈片装置（3）包括基座（6）、移动板（7）、横向移动机构、纵向移动机构、安装板（8）、横向固定块（9）、纵向固定块（10）、固定块支柱（11）、呈片电机（12）、呈片联轴器（13）和真空吸盘（14）；

所述横向移动机构包括横向伺服电机（15）、横向电机传动座、横向滚珠丝杆（16）、横向固定座（17）、横向螺母座、2条横向导轨（18）和4个横向滑块，所述2条横向导轨（18）设置在基座（6）上，所述每条横向导轨（18）上设置2个横向滑块，所述横向导轨（18）之间固定设置有横向固定座（17），所述横向固定座（17）与横向滚珠丝杆（16）通过螺母相连，所述横向滚珠丝杆（16）上套设横向螺母座，所述横向滚珠丝杆（16）远离横向固定座（17）一端连接有横向电机传动座，所述横向传动座和横向伺服电机（15）相连，所述横向螺母座上固定连接移动板（7），所述移动板（7）通过横向滑块跟横向导轨（18）滑动连接；所述纵向移动机构包括纵向伺服电机（19）、纵向电机传动座、纵向滚珠丝杆（20）、纵向固定座（21）、纵向螺母座、2条纵向导轨（22）和4个纵向滑块，所述2条纵向导轨（22）设置在移动板（7）上，所述每条纵向导轨（22）上设置2个纵向滑块，所述纵向导轨（22）之间固定设置有纵向固定座（21），所述纵向固定座（21）与纵向滚珠丝杆（20）通过螺母相连，所述纵向滚珠丝杆（20）上套设纵向螺母座，所述纵向滚珠丝杆（20）远离纵向固定座（21）一端连接有纵向电机传动座，所述纵向传动座和纵向伺服电机（19）相连，所述纵向螺母座上固定连接安装板（8），所述安装板（8）通过纵向滑块跟纵向导轨（22）滑动连接，所述横向固定座（17）和纵向固定座（21）中部均设置有指针；所述安装板（8）上固定设置呈片电机（12），所述呈片电机（12）输出端连接呈片联轴器（13），所述呈片联轴器（13）另一端连接连接真空吸盘（14）；所述基座（6）上设置固定块支柱（11），所述固定块支柱（11）上设置横向固定块（9）和纵向固定块（10），所述横向固定块（9）和纵向固定块（10）相连，所述横向固定块（9）和纵向固定块（10）上设置有刻度；

所述冷却液箱（4）位于转动机构上方，所述冷却液箱（4）固定在箱体（2）内壁上，所述冷却液箱（4）下部设置喷淋管（23）；

所述转动机构包括转动电机（24）、转动联轴器（25）、砂轮（26）和转动电机箱（27），所述转动电机箱（27）固定设置在箱体（2）上，所述转动电机（24）安装在转动电机箱（27）内，所述转动电机（24）输出端连接转动联轴器（25），所述转动联轴器（25）另一端连接砂轮（26）；

所述PLC控制箱（5）包括显示屏（28）、按钮（29）和PLC控制器，所述显示屏（28）和按钮（29）均与PLC控制器相连，所述PLC控制器还与纵向伺服电机（19）、横向伺服电机（15）、呈片电机（12）和转动电机（24）相连。

2.根据权利要求1所述的一种防止受热变形的硅片倒角机，其特征在于：所述喷淋管（23）上设置电磁阀（30），所述电磁阀（30）和PLC控制器相连。

3.根据权利要求1所述的一种防止受热变形的硅片倒角机，其特征在于：所述冷却液箱（4）上方设置加液口（31），所述冷却液箱（4）上设置液位计（32）。

4.根据权利要求1所述的一种防止受热变形的硅片倒角机，其特征在于：所述转动电机箱（27）下部设置有支撑杆（33），所述支撑杆（33）一端和转动电机箱（27）底部相连，所述支撑杆（33）另一端与箱体（2）内壁相连。

5.根据权利要求1所述的一种防止受热变形的硅片倒角机，其特征在于：所述砂轮（26）的回转面设置有磨削槽，所述磨削槽为T型或R型。

6.根据权利要求1所述的一种防止受热变形的硅片倒角机，其特征在于：所述箱体（2）下端设置排水管（34），所述排水管（34）上设置阀门（35）。