CN208604010U - 激光器用石英管连熔炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光器用石英管连熔炉，属于石英管生产技术领域。解决了现有技术生产的激光器用石英管透光性差，废品率高的问题，其包括连熔炉本体，设置在连熔炉本体内部的坩埚，包覆坩埚的加热套以及保温层，连熔炉本体顶部设有炉盖，炉盖上设有加料斗，所述炉盖上与加料斗相对的一侧设有加料分布器，加料分布器与加料斗相通，所述坩埚中下部固定有加热网，加热网上固定有芯杆套，芯杆固定在芯杆套内部。本实用新型可用于生产激光器用石英管。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种激光器用石英管连熔炉，属于石英管生产技术领域。
背景技术
目前，高纯度的石英管、石英棒都是通过石英连熔炉生产的，现有的石英连熔炉加热装置多采用外加热，且加热装置多是纵向设置，通过辐射传热对坩埚进行加热，这种加热方式容易导致石英砂受热不均匀，受热不均匀的熔融石英砂密度不均匀，容易导致石英管偏壁；另一方面现有连熔炉的芯杆都是悬挂在炉盖上的，芯杆一般比较长，坩埚内的石英熔液温度超过2000℃，高温使芯杆变形，加上石英熔液的流动导致芯杆晃动，这也是导致石英管产生偏壁的原因，激光器用石英管对透光率的质量要求较高，这就要求激光器用石英管管壁均匀度高，无气泡气线，无色线，现有的石英连熔炉生产激光器用石英管透光性差、废品率较高，成本高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种激光器用石英管连熔炉，生产的石英管管壁均匀度高，透光性好。
所述的激光器用石英管连熔炉，包括连熔炉本体，设置在连熔炉本体内部的坩埚，包覆坩埚的加热套以及保温层，连熔炉本体顶部设有炉盖，炉盖上设有加料斗，所述炉盖上与加料斗相对的一侧设有加料分布器，加料分布器与加料斗相通，所述坩埚中下部固定有加热网，加热网上固定有芯杆套，芯杆固定在芯杆套内部。
进一步的讲，所述坩埚底端呈锥形，且在锥形结构处设有辅热装置。
进一步的讲，所述坩埚出料口设有纠偏装置。
进一步的讲，所述坩埚为碳化硅坩埚。
进一步的讲，所述辅热装置和加热套通过温度控制器自动控温。
进一步的讲，所述保温层由保温层Ⅰ和保温层Ⅱ组成。
与现有技术相比本实用新型的有益效果是：
本实用新型采用碳化硅坩埚，导热和传热更好，坩埚中下部设有横向的加热网，用于保证石英砂熔融液的均匀性，减少熔液中气泡的产生，将芯杆设置于坩埚的中下部，减少了芯杆的不稳定性；加料斗直接与加料分布器相连，使得加料更加均匀，减少由于加料引起的石英砂熔融液面波动；坩埚出料口设有纠偏装置进而保证芯杆的稳定性。本实用新型从三个方面保证了芯杆和石英砂熔融液面的稳定性，大大提高了石英管管壁均匀性，进而提高石英管透光性。数据表明，本实用新型生产的激光器用石英管成品率较现有连熔炉高出40％以上。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图；
其中，1、加料斗；2、炉盖；3、加料分布器；4、温度控制器；5、连熔炉本体；6、保温层Ⅰ；7、保温层Ⅱ；8、芯杆套；9、纠偏装置；10、辅热装置；11、芯杆；12、加热网；13、加热套；14、坩埚。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型做进一步说明。
实施例1
所述的激光器用石英管连熔炉，包括连熔炉本体5，设置在连熔炉本体5内部的坩埚14，包覆坩埚14的加热套13以及保温层，连熔炉本体5顶部设有炉盖2，炉盖2上设有加料斗1，所述炉盖2上与加料斗1相对的一侧设有加料分布器3，加料分布器3与加料斗1相通，所述坩埚14中下部固定有加热网12，加热网12上固定有芯杆套8，芯杆11固定在芯杆套8内部。
实施例2
所述的激光器用石英管连熔炉，包括连熔炉本体5，设置在连熔炉本体5内部的坩埚14，包覆坩埚14的加热套13以及保温层，连熔炉本体5顶部设有炉盖2，炉盖2上设有加料斗1，所述炉盖2上与加料斗1相对的一侧设有加料分布器3，加料分布器3与加料斗1相通，所述坩埚14中下部固定有加热网12，加热网12上固定有芯杆套8，芯杆11固定在芯杆套8内部。所述坩埚14为碳化硅坩埚。坩埚14底端呈锥形，且在锥形结构处设有辅热装置10，坩埚14出料口设有纠偏装置9。
实施例3
所述的激光器用石英管连熔炉，包括连熔炉本体5，设置在连熔炉本体5内部的坩埚14，包覆坩埚14的加热套13以及保温层，连熔炉本体5顶部设有炉盖2，炉盖2上设有加料斗1，所述炉盖2上与加料斗1相对的一侧设有加料分布器3，加料分布器3与加料斗1相通，所述坩埚14中下部固定有加热网12，加热网12上固定有芯杆套8，芯杆11固定在芯杆套8内部。所述坩埚14为碳化硅坩埚。坩埚14底端呈锥形，且在锥形结构处设有辅热装置10，坩埚14出料口设有纠偏装置9。所述辅热装置10和加热套13通过温度控制器4自动控温。所述保温层由保温层Ⅰ6和保温层Ⅱ7组成。
进一步的讲，本实用新型坩埚14底端呈锥形，且在锥形结构处设有辅热装置10，辅热装置10和加热套13通过温度控制器4自动控温，一般设置辅热装置10温度较加热套13低500℃左右，这是由于石英砂熔融液温度较高接近2000℃，由坩埚14出料口流出后初步成型的石英管温度在700℃左右，巨大的温差容易导致石英管产生裂痕，影响透光性，通过设置辅热装置10，一方面避免出料口熔融液温度不均匀导致产生偏壁，另一方面减缓温度变化梯度，进而保证石英管透光性。本实用新型生产的激光器用石英管成品率较现有连熔炉高出40％以上，透光率可达95％以上。
Claims (6)
1.一种激光器用石英管连熔炉，包括连熔炉本体(5)，设置在连熔炉本体(5)内部的坩埚(14)，包覆坩埚(14)的加热套(13)以及保温层，连熔炉本体(5)顶部设有炉盖(2)，炉盖(2)上设有加料斗(1)，其特征在于：所述炉盖(2)上与加料斗(1)相对的一侧设有加料分布器(3)，加料分布器(3)与加料斗(1)相通，所述坩埚(14)中下部固定有加热网(12)，加热网(12)上固定有芯杆套(8)，芯杆(11)固定在芯杆套(8)内部。
2.根据权利要求1所述的激光器用石英管连熔炉，其特征在于：所述坩埚(14)底端呈锥形，且在锥形结构处设有辅热装置(10)。
3.根据权利要求2所述的激光器用石英管连熔炉，其特征在于：所述坩埚(14)出料口设有纠偏装置(9)。
4.根据权利要求3所述的激光器用石英管连熔炉，其特征在于：所述坩埚(14)为碳化硅坩埚。
5.根据权利要求4所述的激光器用石英管连熔炉，其特征在于：所述辅热装置(10)和加热套(13)通过温度控制器(4)自动控温。
6.根据权利要求5所述的激光器用石英管连熔炉，其特征在于：所述保温层由保温层Ⅰ(6)和保温层Ⅱ(7)组成。
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|---|---|---|---|---|
| CN110156301A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
| CN110171921A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-08-27 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 制备半导体及光伏用石英管的均匀加料连熔炉及其方法 |
| CN112028455A (zh) * | 2020-09-24 | 2020-12-04 | 连云港三明石英制品有限公司 | 可减少管材偏壁的石英连熔炉 |
| CN112851090A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-05-28 | 中天科技精密材料有限公司 | 石英母管的生产设备及生产方法 |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110156301A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
| CN110156301B (zh) * | 2019-06-21 | 2023-10-20 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
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| CN110171921B (zh) * | 2019-06-24 | 2023-10-13 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 制备半导体及光伏用石英管的均匀加料连熔炉及其方法 |
| CN112028455A (zh) * | 2020-09-24 | 2020-12-04 | 连云港三明石英制品有限公司 | 可减少管材偏壁的石英连熔炉 |
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