CN208495164U - 抛光混洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抛光混洗机，包括主框架，所述主框架内设有至少一组混洗装置，所述主框架外侧设有用于混洗装置的混洗液的自动配液箱，所述主框架上设有控制混洗装置的仪表装置，每组混洗装置包括酸槽、快排冲洗槽和抛动装置，所述抛动装置使得工件花篮在所述快排冲洗槽内进行升降运动，所述主框架内还设有回收槽，所述回收槽通过导管与所述酸槽连接。本实用新型弥补了国内蓝宝石晶圆片衬底清洗设备的空白，降低对进口设备的依赖，降低蓝宝石生产企业的成本。

Description

抛光混洗机

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，尤其是一种抛光混洗机。

背景技术

目前LED(Light Emitting Diode)即发光二极管已被广泛认为是下一代主要照明工具，相比于现在使用的白炽灯而言，具有寿命长、节能、安全等优点。蓝宝石的品质在 LED的性能中占有重要的地位。蓝宝石衬底加工过程中，残留相关颗粒(研磨剂、表面活性剂、稳定剂、氧化剂、油污)。日前国内针对蓝宝石衬底的清洗设备主要依赖于进口设备，成本较高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种抛光混洗机，降低蓝宝石生产企业的成本，提高工作效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种抛光混洗机，包括主框架，所述主框架内设有至少一组混洗装置，所述主框架外侧设有用于混洗装置的混洗液的自动配液箱，所述主框架上设有控制混洗装置的仪表装置，每组混洗装置包括酸槽、快排冲洗槽和抛动装置，所述抛动装置使得工件花篮在所述快排冲洗槽内进行升降运动，所述主框架内还设有回收槽，所述回收槽通过导管与所述酸槽连接。

进一步地，所述主框架采用不锈钢制成，所述主框架的外侧设有一层PP板材。

进一步地，所述快排冲洗槽下部设有进水管和排水阀，所述快排冲洗槽内上端设有喷管，所述喷管上设有若干喷淋头。

进一步地，所述酸槽内设有加热管，所述加热管通过螺栓固定在所述酸槽的内壁上。

进一步地，所述酸槽上部设有排风管道，所述排风管道内设有导热板，所述排风管道连接所述主框架上的排风口。

进一步地，所述回收槽分为内槽和外槽，所述内槽内设有冷却管，所述内槽和外槽通过加强板连接。

进一步地，所述抛动装置包括驱动组件和吊臂，所述驱动组件包括电机和固定框，所述吊臂前端设有吊住工件花篮的吊钩，所述吊臂通过压紧板与固定框可滑动连接。

进一步地，所述驱动组件与吊臂之间还设有防腐板，防止清洗药剂对驱动组件的腐蚀。

进一步地，所述主框架两侧还设有可拆卸的门板，方便维护。

进一步地，所述快排冲洗槽内放置工件花篮的下方设有匀流板，用来均匀分布水流。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型首先在酸槽内对晶圆片上残留的颗粒、有机物进行酸洗，然后在快排冲洗槽内去除研磨剂、表面活性剂、稳定剂和油污，为下一步的工艺去除了绝大部分污染物，然后通过回收槽进行废酸的回收。本实用新型弥补了国内蓝宝石晶圆片衬底清洗设备的空白，降低对进口设备的依赖，降低蓝宝石生产企业的成本。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型的侧视图；

图4是本实用新型的酸槽的立体示意图；

图5是本实用新型的酸槽的剖面图；

图6是本实用新型的快排冲洗槽的主视图；

图7是本实用新型的快排冲洗槽的侧视图；

图8是本实用新型的回收槽的主视图；

图9是本实用新型的图8的A-A视图；

图10是本实用新型的抛动装置的立体示意图；

图11是本实用新型的抛动装置的主视图。

图中：1、主框架，2、自动配液箱，3、仪表装置，4、酸槽，4.1、陶瓷烘烤台，5、快排冲洗槽，5.1、进水管，5.2、排水阀，6、抛动装置，6.1、吊臂，6.2、电机，6.3、固定框，6.4、吊钩，6.5、压紧板，6.6、防腐板，7、回收槽，7.1、内槽，7.2、外槽， 7.3、加强板，8、喷管，9、喷淋头，10、加热管，11、螺栓，12、排风管道，13、导热板，14、排风口，15、冷却管，16、门板，17、匀流板。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1至图7所示的一种抛光混洗机，包括主框架1，所述主框架1内设有至少一组混洗装置，所述主框架1外侧设有用于混洗装置的混洗液的自动配液箱2，所述主框架1上设有控制混洗装置的仪表装置3，每组混洗装置包括酸槽4、快排冲洗槽5和抛动装置6，所述抛动装置6使得工件花篮在所述快排冲洗槽5内进行升降运动，所述主框架1内还设有回收槽7，所述回收槽7通过导管与所述酸槽4连接。所述快排冲洗槽 5下部设有进水管5.1和排水阀5.2，所述快排冲洗槽5内上端设有喷管8，所述喷管8 上设有若干喷淋头9。所述快排冲洗槽5内放置工件花篮的下方设有匀流板17，用来均匀分布水流。所述酸槽4内设有加热管10，所述加热管10通过螺栓11固定在所述酸槽 4的内壁上。所述酸槽4上部设有排风管道12，所述排风管道12内设有导热板13，所述排风管道12连接所述主框架1上的排风口14。

具体地，所述主框架1采用不锈钢制成，所述主框架1的外侧设有一层PP板材。

具体地，如图8和图9所示，所述回收槽7分为内槽7.1和外槽7.2，所述内槽7.1 内设有冷却管15，所述内槽7.1和外槽7.2通过加强板7.3连接。

具体地，如图10和图11所示，所述抛动装置6包括驱动组件和吊臂6.1，所述驱动组件包括电机6.2和固定框6.3，所述吊臂6.1前端设有吊住工件花篮的吊钩6.4，所述吊臂6.1通过压紧板6.5与固定框6.3可滑动连接。所述驱动组件与吊臂6.1之间还设有防腐板6.6，防止清洗药剂对驱动组件的腐蚀。

具体地，如图3所示，所述主框架1两侧还设有可拆卸的门板16，方便维护。

本实用新型的原理如下：

人工将工件花篮放在酸槽4内，在酸槽4内对晶圆片上残留的颗粒、有机物进行酸洗，然后人工将工件花篮转移至快排冲洗槽5，在快排冲洗槽5内去除研磨剂、表面活性剂、稳定剂和油污，为下一步的工艺去除了绝大部分污染物，清洗的过程中抛动装置 6带动工件花篮在快排冲洗槽6内做升降运动，提高清洗的良率，然后通过回收槽7进行废酸的回收。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种抛光混洗机，其特征在于：包括主框架，所述主框架内设有至少一组混洗装置，所述主框架外侧设有用于混洗装置的混洗液的自动配液箱，所述主框架上设有控制混洗装置的仪表装置，每组混洗装置包括酸槽、快排冲洗槽和抛动装置，所述抛动装置使得工件花篮在所述快排冲洗槽内进行升降运动，所述主框架内还设有回收槽，所述回收槽通过导管与所述酸槽连接。

2.根据权利要求1所述的抛光混洗机，其特征在于：所述主框架采用不锈钢制成，所述主框架的外侧设有一层PP板材。

3.根据权利要求1所述的抛光混洗机，其特征在于：所述快排冲洗槽下部设有进水管和排水阀，所述快排冲洗槽内上端设有喷管，所述喷管上设有若干喷淋头。

4.根据权利要求1所述的抛光混洗机，其特征在于：所述酸槽内设有加热管，所述加热管通过螺栓固定在所述酸槽的内壁上。

5.根据权利要求4所述的抛光混洗机，其特征在于：所述酸槽上部设有排风管道，所述排风管道内设有导热板，所述排风管道连接所述主框架上的排风口。

6.根据权利要求1所述的抛光混洗机，其特征在于：所述回收槽分为内槽和外槽，所述内槽内设有冷却管，所述内槽和外槽通过加强板连接。

7.根据权利要求1所述的抛光混洗机，其特征在于：所述抛动装置包括驱动组件和吊臂，所述驱动组件包括电机和固定框，所述吊臂前端设有吊住工件花篮的吊钩，所述吊臂通过压紧板与固定框可滑动连接。

8.根据权利要求7所述的抛光混洗机，其特征在于：所述驱动组件与吊臂之间还设有防腐板。

9.根据权利要求1所述的抛光混洗机，其特征在于：所述主框架两侧还设有可拆卸的门板。

10.根据权利要求3所述的抛光混洗机，其特征在于：所述快排冲洗槽内放置工件花篮的下方设有匀流板。