CN208493282U - 一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，包括废液进料泵、预热器、精馏塔、循环泵、再沸器、冷凝器、回流罐、回流泵。本实用新型在精馏塔外壁设有多个超声波除垢装置，塔中规整填料表面涂有聚四氟乙烯涂层，避免了剥离液中光阻剂容易结垢而影响填料通量和效率的问题。通过设置循环泵和回流泵，分馏的水和回收剥离液可在精馏系统内多次循环分馏，大大提高了出水纯度，因此可保证剥离液有效成分损失极小。

Description

一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统

技术领域

本实用新型涉及一种精馏系统，具体涉及一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统。

背景技术

随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。在剥离液应用过程产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂(或 PＲ胶)和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。从资源化的观点出发，循环再生这些剥离液不仅可以减少对环境的危害，还能降低企业的生产成本。

剥离液的再生通常要经过脱水精馏、薄膜蒸发、产品精制等过程，脱水精馏是其中一个非常关键的工序，但现有技术往往存在填料结垢，影响其通量和脱水效率的问题，同时还存在塔釜物料直接进入薄膜蒸发单元易发生闪蒸的问题，若发生闪蒸，则会导致光阻剂的雾沫进入到精制单元中，最终影响再也剥离液的成分构成。

实用新型内容

本实用新型基于上述背景，目的在于解决废剥离液去除水的过程中，脱水精馏塔的填料易结垢，以及塔釜物料在温度较高的情况下进入下一工序易发生闪蒸现象的问题，提出一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，包括进料泵、预热器、精馏塔、循环泵、再沸器、冷凝器、回流罐、回流泵，其特征在于：所述进料泵、预热器、精馏塔通过管线依次相连，所述循环泵设置在精馏塔的底端，所述循环泵通过管线与再沸器相连，所述再沸器与精馏塔的下端通过管线相连，所述冷凝器设置在精馏塔的顶端、所述冷凝器通过管线与所述回流罐相连，所述回流罐通过管线与回流泵相连，所述循环泵与预热器之间有管线相连，所述预热器还设有塔釜物料出口，并与下一个薄膜蒸发单元进口通过管线相连，所述精馏塔外壁设有多个超声波除垢装置，所述精馏塔中设有规整填料，所述规整填料表面涂有聚四氟乙烯涂层，所述回流泵带有回流控制单元。

进一步地，所述进料泵带有流量计。

进一步地，所述再沸器为降膜式再沸器。

进一步地，所述循环泵为屏蔽泵。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、塔釜物料与预热器换热后才进入到薄膜蒸发单元中，使塔釜物料温度降低至薄膜蒸发器操作压力下的泡沫点以下，可以有效地防止闪蒸现象，避免含有光阻剂的雾沫进入到再一下个精制单元中。

2、剥离液中含有容易结垢的光阻剂，精馏塔外壁设有超声波除垢装置，可有效去除光阻剂形成的污垢，此外，塔内填料表面涂覆有聚四氟乙烯，聚四氟乙烯具有抗各种有机溶剂的特点，赋予填料一定的自清洁作用，因而从两方面避免精馏塔内部填料因结垢过厚而影响其通量和效率的问题。

3、采用了降膜式再沸器，其压降小，操作温度低，保证了物料的稳定性，同时降低了能耗。

4、采用屏蔽泵为塔底循环泵，具有零泄露的优点，而且在高温情况下仍然能够保持很高的效率。

5、废剥离液中水分的含量会波动，采用带有回流控制单元的回流泵，该控制单元会根据进料中水分含量的变化来自动调节回流量，让产品指标和收率得到保障。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

图2是本实用新型精馏塔侧视图。

其中，1-进料泵，2-预热器，3-精馏塔，4-循环泵，5-再沸器，6-冷凝器，7-回流罐，8-回流泵，31-超声波除垢装置，32-规整填料。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1、图2所示，一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，包括进料泵1、预热器2、精馏塔3、循环泵4、再沸器5、冷凝器6、回流罐7、回流泵8，其特征在于：所述进料泵1、预热器2、精馏塔3通过管线依次相连，所述循环泵4设置在精馏塔3的底端，所述循环泵4通过管线与再沸器5相连，所述再沸器5与精馏塔3的下端通过管线相连，所述冷凝器6设置在精馏塔3的顶端、所述冷凝器6通过管线与所述回流罐7相连，所述回流罐7通过管线与回流泵8相连，所述循环泵4与预热器2之间也有管线相连，所述预热器2还设有塔釜物料出口，并与下一个薄膜蒸发单元进口通过管线相连，所述精馏塔3外壁设有多个超声波除垢装置31，所述精馏塔3中设有规整填料32，所述规整填料32表面涂有聚四氟乙烯涂层，所述回流泵8带有回流控制单元，可对回流量进行控制，所述回流控制单元为单片机。

本实施例中，所述进料泵1带有流量计。

本实施例中，所述再沸器5为降膜式再沸器。

本实施例中，所述循环泵4为屏蔽泵。

工作原理：剥离液废液在进料泵1的作用下，通过预热器2进入精馏塔3，剥离液废液通过循环泵4在再沸器5中循环，并被部分蒸发汽化，气体往上穿过精馏塔3，液体往下在填料内传热传质。往上的气体在冷凝器6中冷凝成水，并进入回流罐7，水在回流泵8的作用下，一部分以工艺废水的形式排出，一部分回流至精馏塔3再次分馏。往下的液体一部分再次通过再沸器5进入精馏塔3进行进一步分馏，一部分脱水后的塔釜物料与预热器2换热后进入到废液再生的下一个工艺段薄膜蒸发单元中。经预热器2换热的塔釜物料，其温度降低至薄膜蒸发器操作压力下的泡沫点以下，可以有效地防止闪蒸现象，避免含有光阻剂的雾沫进入到再一下个精制单元中。此外，由于设有循环泵4和回流泵8，分馏的水和回收剥离液可在精馏系统内多次循环，大大提高了出水纯度，因此可保证剥离液有效成分损失极小。并且在精馏塔外壁设有超声波除垢装置31，规整填料32表面涂有聚四氟乙烯涂层，因此避免了剥离液中光阻剂容易结垢进而影响填料通量和效率的问题。

Claims (4)

1.一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，包括进料泵（1）、预热器（2）、精馏塔（3）、循环泵（4）、再沸器（5）、冷凝器（6）、回流罐（7）、回流泵（8），其特征在于：所述进料泵（1）、预热器（2）、精馏塔（3）通过管线依次相连，所述循环泵（4）设置在精馏塔（3）的底端，所述循环泵（4）通过管线与再沸器（5）相连，所述再沸器（5）与精馏塔（3）的下端通过管线相连，所述冷凝器（6）设置在精馏塔（3）的顶端、所述冷凝器（6）通过管线与所述回流罐（7）相连，所述回流罐（7）通过管线与回流泵（8）相连，所述循环泵（4）与预热器（2）之间也有管线相连，所述预热器（2）还设有塔釜物料出口，并与下一个薄膜蒸发单元进口通过管线相连，所述精馏塔（3）外壁设有多个超声波除垢装置（31），所述精馏塔（3）中设有规整填料（32），所述规整填料（32）表面涂有聚四氟乙烯涂层，所述回流泵（8）带有回流控制单元。

2.如权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，其特征在于：所述进料泵（1）带有流量计。

3.如权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，其特征在于：所述再沸器（5）为降膜式再沸器。

4.如权利要求1-3任意一项所述的一种剥离液再生工艺段的脱水精馏系统，其特征在于：所述循环泵（4）为屏蔽泵。