CN208439883U - 一种半导体运输系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体运输系统，通过运输机构承载待运输件(下底板)，并沿导轨机构往复运动，当运输机构沿导轨机构运动至指定位置时，通过抬升机构将运输机构上的待运输件进行抬升，从而实现对待运输件的运输，便于待运输件的安装、维护及更换等后续操作，使用方便快捷；而且，通过控制器统一控制，可实现全自动定位、移动和提升，大大提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种半导体运输系统。
背景技术
目前半导体行业在中国正处在高速发展阶段，而半导体相关的制造设备至关重要。金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方面相关设备相对复杂，且零部件的体积和重量都相对较大，从目前来看，市场上缺乏一种针对下底板的运输系统，从而无法满足市场需求。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种半导体运输系统，以解决现有技术中的问题，实现对下底板的运输。
本实用新型提供一种半导体运输系统，所述半导体运输系统包括：
导轨机构；
设置在所述导轨机构上的运输机构，用于放置待运输件，且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动；
抬升机构，当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时，所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。
可选择的，所述导轨机构包括平行设置的平面导轨和V型导轨。
可选择的，所述导轨机构还包括轨道平台构架，所述平面导轨和V型导轨均嵌装在所述轨道平台构架中。
可选择的，所述运输机构包括：
支撑框架；
设置在支撑框架上的多个立柱，所述立柱顶部用于支撑待运输件；
设置在支撑框架底部的平面导轮和V型导轮，分别用于与平面导轨、V型导轨配合。
可选择的，所述运输机构还包括用于驱动运输机构运动的驱动机构。
可选择的，所述驱动机构包括：
设置在轨道平台构架上的伺服电机；
与伺服电机依次连接的减速器、联轴器、丝杠；
设置在联轴器与丝杠之间的支撑座，所述支撑座固定在轨道平台构架上，所述联轴器穿过所述支撑座与丝杠连接；
导向螺母，设置在支撑框架上，所述丝杠穿设在所述导向螺母内，用于与导向螺母螺纹配合。
可选择的，所述抬升机构包括：可上下运动的抬升支架，用于将运输机构上的待运输件进行抬升。
可选择的，所述抬升机构还包括：设置在轨道平台构架上的导向支架，所述抬升支架与导向支架接触并配合，导向支架用于对抬升支架上下运动进行导向限位。
可选择的，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的限位机构。
可选择的，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的接近传感器。
可选择的，所述半导体运输系统还包括控制器，所述控制器分别与运输机构、抬升机构连接。
本实用新型提供的半导体运输系统，通过运输机构承载待运输件(下底板)，并沿导轨机构往复运动，当运输机构沿导轨机构运动至指定位置时，通过抬升机构将运输机构上的待运输件进行抬升，从而实现对待运输件的运输，便于待运输件的安装、维护及更换等后续操作，使用方便快捷；而且，通过控制器统一控制，可实现全自动定位、移动和提升，大大提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的半导体运输系统的结构示意图；
图2为本实用新型又一实施例提供的半导体运输系统的工作示意图；
图3为本实用新型又一实施例提供的导轨机构的结构示意图；
图4为本实用新型又一实施例提供的抬升机构的结构示意图；
图5为本实用新型又一实施例提供的驱动机构的结构示意图；
图6为本实用新型又一实施例提供的运输机构的结构示意图。
附图标记说明：
1-导轨机构，11-平面导轨，12-V型导轨，13-轨道平台构架，2-运输机构，21-支撑框架，22-立柱，23-平面导轮，24-V型导轮，3-驱动机构，31-伺服电机，32-减速器，33-联轴器，34-支撑座，35-丝杠，36-导向螺母，4-抬升机构，5-抬升支架，6-导向支架，7-限位机构，8-接近传感器，9-待运输件。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种半导体运输系统，所述半导体运输系统包括：
导轨机构1；
设置在所述导轨机构1上的运输机构2，用于放置待运输件9，且所述运输机构2可沿所述导轨机构1往复运动；
抬升机构4，当所述运输机构2沿所述导轨机构1运动至指定位置时，所述抬升机构4用于将运输机构2上的待运输件9进行抬升。
其中，本实用新型提供的半导体运输系统，通过运输机构2承载待运输件9(下底板)，并沿导轨机构1往复运动，当运输机构2沿导轨机构1运动至指定位置时，通过抬升机构4将运输机构2上的待运输件9进行抬升，抬升机构4一般靠近导轨机构1的一端设置，从而实现对待运输件9的运输，便于待运输件9的安装、维护及更换等后续操作，使用方便快捷。
如图3所示，可选择的，所述导轨机构1包括平行设置的平面导轨11和V型导轨12。可选择的，所述导轨机构1还包括轨道平台构架13，所述平面导轨11和V型导轨12均嵌装在所述轨道平台构架13中。
如图6所示，可选择的，所述运输机构2包括：支撑框架21；设置在支撑框架21上的多个立柱22，所述立柱22顶部用于支撑待运输件9；设置在支撑框架21底部的平面导轮23和V型导轮24，分别用于与平面导轨11、V型导轨12配合。
其中，轨道平台构架13作为总的框架结构，一般设置在工作平台上，其他各个部件一般以轨道平台构架13作为基础进行设置；而在轨道平台构架13内穿设平行的平面导轨11和V型导轨12，对应在其上设置平面导轮23和V型导轮24，平面导轮23和V型导轮24一般各设置两个，位于支撑框架21底部的相对两侧，分别实现导轮在对应的导轨中移动；支撑框架21上的多个立柱22，用于支撑待运输件9，立柱22的顶端可设置限位槽，便于对待运输件9进行卡合限位；当然，导轨和导轮的形式具体不做限定，只要方便实现互相配合移动即可。
如图5和图6所示，可选择的，所述运输机构2还包括用于驱动运输机构2运动的驱动机构3。
可选择的，所述驱动机构3包括：
设置在轨道平台构架13上的伺服电机31；
与伺服电机31依次连接的减速器32、联轴器33、丝杠35；
设置在联轴器33与丝杠35之间的支撑座34，所述支撑座34固定在轨道平台构架13上，所述联轴器33穿过所述支撑座34与丝杠35连接；
导向螺母36，设置在支撑框架21上，所述丝杠35穿设在所述导向螺母36内，用于与导向螺母36螺纹配合。
其中，驱动结构的实现方式有多种，如电动、液压、机械传动等方式，本实施例中，采用伺服电机31带动丝杠35转动的模式，从而驱动安装有导向螺母36的支撑框架21沿丝杠35轴向运动，实现对待运输件9的移动。
如图4所示，可选择的，所述抬升机构4包括：可上下运动的抬升支架5，用于将运输机构2上的待运输件9进行抬升。
可选择的，所述抬升机构4还包括：设置在轨道平台构架13上的导向支架6，所述抬升支架5与导向支架6接触并配合，导向支架6用于对抬升支架5上下运动进行导向限位。
其中，抬升支架5可通过液压、电动等形式进行驱动抬升，一般设置两个抬升支架5，分别位于平面导轨11和V型导轨12二者的两侧，当运输机构2带着待运输件9移动至抬升支架5的位置时，两侧的抬升支架5位置升高，从待运输件9的两侧将待运输件9抬起，实现高低位置的变化；而一般在两个抬升支架5的两侧各设置一个导向支架6，可对抬升支架5实现位置的限制，保证对待运输件9的竖直抬升。
如图1和图3所示，可选择的，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨11和/或V型导轨12和/或轨道平台构架13上的限位机构7。可选择的，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨11和/或V型导轨12和/或轨道平台构架13上的接近传感器8。
可选择的，所述半导体运输系统还包括控制器，所述控制器分别与运输机构2、抬升机构4连接。
其中，通过在不同位置设置限位机构7，以对运输机构2的移动实现准确限位，限位机构7可以是一个限位卡脚等结构，可以在平面导轨11和/或V型导轨12的一端，以及平面导轨11和/或V型导轨12的另一端，或者该另一端的轨道平台构架13上，具体位置不做限定，根据实际需要灵活设置；而接近传感器8的设置则实现了对运输机构2移动位置准确把控，具体位置可根据实际需要灵活设置，一般接近传感器8还与控制器连接，而且，通过控制器统一控制，可实现全自动定位、移动和提升，大大提高了生产效率。
本实用新型具体工作实现过程为：
伺服电机31工作带动丝杠35转动，与支撑框架21上的导向螺母36进行螺纹转动配合，并带动支撑框架21沿轨道平台构架13上的导轨进行移动。支撑框架21移动到轨道平台构架13的起始端，限位机构7对支撑框架21进行定位，可将MOCVD设备中的下底板吊装并放在支撑框架21的立柱22上面，此时支撑框架21的立柱22承载着下底板由控制器控制驱动机构3移动至轨道平台构架13的另一端，这一端的限位机构7对支撑框架21进行定位。同时安装在这一侧的抬升机构4由控制器控制进行对下底板的提升，下底板脱离抬升机构4的立柱22，抬升支架5使其提升至设备的正确位置，此时人工进行对下底板的固定，从而完成单程运动过程。当下底板进行拆卸和维护时，抬升支架5逆向重复前述过程。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。
Claims (11)
1.一种半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统包括：
导轨机构；
设置在所述导轨机构上的运输机构，用于放置待运输件，且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动；
抬升机构，当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时，所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。
2.根据权利要求1所述的半导体运输系统，其特征在于，所述导轨机构包括平行设置的平面导轨和V型导轨。
3.根据权利要求2所述的半导体运输系统，其特征在于，所述导轨机构还包括轨道平台构架，所述平面导轨和V型导轨均嵌装在所述轨道平台构架中。
4.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述运输机构包括：
支撑框架；
设置在支撑框架上的多个立柱，所述立柱顶部用于支撑待运输件；
设置在支撑框架底部的平面导轮和V型导轮，分别用于与平面导轨、V型导轨配合。
5.根据权利要求4所述的半导体运输系统，其特征在于，所述运输机构还包括用于驱动运输机构运动的驱动机构。
6.根据权利要求5所述的半导体运输系统，其特征在于，所述驱动机构包括：
设置在轨道平台构架上的伺服电机；
与伺服电机依次连接的减速器、联轴器、丝杠；
设置在联轴器与丝杠之间的支撑座，所述支撑座固定在轨道平台构架上，所述联轴器穿过所述支撑座与丝杠连接；
导向螺母，设置在支撑框架上，所述丝杠穿设在所述导向螺母内，用于与导向螺母螺纹配合。
7.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述抬升机构包括：可上下运动的抬升支架，用于将运输机构上的待运输件进行抬升。
8.根据权利要求7所述的半导体运输系统，其特征在于，所述抬升机构还包括：设置在轨道平台构架上的导向支架，所述抬升支架与导向支架接触并配合，导向支架用于对抬升支架上下运动进行导向限位。
9.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的限位机构。
10.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的接近传感器。
11.根据权利要求1所述的半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统还包括控制器，所述控制器分别与运输机构、抬升机构连接。
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|---|---|---|---|
| CN201821015308.3U CN208439883U (zh) | 2018-06-28 | 2018-06-28 | 一种半导体运输系统 |
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| CN201821015308.3U Active CN208439883U (zh) | 2018-06-28 | 2018-06-28 | 一种半导体运输系统 |
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| CN (1) | CN208439883U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110816951A (zh) * | 2019-09-30 | 2020-02-21 | 中航成飞民用飞机有限责任公司 | 飞机部件包装发运用运输机构及飞机部件包装发运方法 |
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2018
- 2018-06-28 CN CN201821015308.3U patent/CN208439883U/zh active Active
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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