CN208429761U - 半导体单晶炉坩埚吊装机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供半导体单晶炉坩埚吊装机构，包括一吊盘，吊盘上固定有至少三个径向向外延伸的伸出杆；还包括与伸出杆个数相匹配的夹紧爪，夹紧爪包括一与伸出杆远离吊盘中央处转动连接的拉杆，夹紧爪还包括一抓手，拉杆的下端与抓手相连，抓手接触坩埚侧固定有一石墨垫；还包括一驱动夹紧爪张开或者收拢的驱动组件，驱动组件包括固定在吊盘的中央的立柱，立柱的上端安装有一吊环；驱动组件还包括可沿着立柱上下运动的滑块，驱动组件还包括一用于对滑块定位固定在立柱上的定位组件；滑块设有与伸出杆个数相匹配的突起，每个突起均通过一个连杆与拉杆传动连接。本专利轻松地从炉内取出吊具，快速高效地装料，节约人力，提高效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及吊装机构。
背景技术
单晶炉用坩埚装载硅料后，放置在炉腔的热场中熔化后提制晶体。
以前的单晶炉坩埚的安装都是靠人工搬运，费时费力，容易损坏昂贵的石英和石墨坩埚零件，效率低。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉坩埚吊装机构，以解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉坩埚吊装机构，其特征在于，包括一吊盘，所述吊盘上固定有至少三个径向向外延伸的伸出杆；
还包括与伸出杆个数相匹配的夹紧爪，所述夹紧爪包括一与伸出杆远离吊盘中央处转动连接的拉杆，所述夹紧爪还包括一抓手，所述拉杆的下端与所述抓手相连，所述抓手接触坩埚侧固定有一石墨垫；
还包括一驱动所述夹紧爪张开或者收拢的驱动组件，所述驱动组件包括固定在所述吊盘的中央的立柱，所述立柱的上端安装有一吊环；
所述驱动组件还包括可沿着立柱上下运动的滑块，所述驱动组件还包括一用于对滑块定位固定在立柱上的定位组件；
所述滑块设有与伸出杆个数相匹配的突起，每个突起分别与一连杆的一端转动连接，所述连杆的另一端与拉杆的上端转动连接，所述拉杆靠近连杆处与伸出杆远离吊盘中央端转动连接。
本专利的创造点在于(1)通过滑块向下按压，通过连杆机构的传动，即可实现夹紧爪的收拢，进而实现对坩埚的夹紧，便于通过吊环实现吊装。使用工厂行车，移动吊车等将装好料的石英和石墨坩埚吊入炉内后。通过滑块的上移，通过连杆机构的传动，即可实现夹紧爪的张开。轻松地从炉内取出吊具，快速高效地装料，节约人力，提高效率。
(2)本专利通过抓手上安装有石墨垫，通过石墨垫与坩埚接触，避免了污染坩埚。
所述定位组件包括一固定在所述滑块上的压板；
所述定位组件还包括一定位套，所述定位套套设在所述立柱的外围，且所述定位套设置在所述吊盘上方；
所述定位组件还包括一弹簧，所述弹簧套设在所述立柱的外围，且所述弹簧设置在所述定位套与所述滑块之间；
所述定位组件还包括一用于对压板进行定位压紧的肘夹，所述肘夹固定在所述吊盘上。
便于通过肘夹，实现滑块下压至下限位，便于夹紧爪保持收拢状态。当松开肘夹后，滑块上移，实现夹紧爪的张开。
所述伸出杆是一可伸缩的伸缩杆。便于可以吊取不同尺寸的坩埚。
所述伸出杆是一伸缩方向为横向的伸缩杆；
所述伸缩杆包括第一杆体，所述第一杆体与所述吊盘固定连接；
所述伸缩杆还包括第二杆体，所述第二杆体与所述第一杆体滑动连接，所述第二杆体上沿着长度方向排布有至少三个插销孔；
所述第一杆体上开设有一定位孔，所述第一杆体与第二杆体通过穿过定位孔以及插销孔的插销相连。
便于通过伸出杆的长度的控制。
所述吊盘的中央开设有一螺纹孔，所述立柱的下端设有与所述螺纹孔相匹配的外螺纹。
便于立柱的可拆卸。
所述弹簧是断面为矩形的矩形弹簧。便于压缩受力。
作为一种优选方案，所述伸出杆、所述拉杆均设有三个。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图。
图中：1为石墨垫，2为抓手，3为拉杆，4为伸缩杆，5为第一销轴，6为第二销轴，7为接头，8为连杆，9为吊盘，10为垫块，11为压板，12为肘夹，13为立柱，14为吊环螺钉，15为固定环，16为三爪套，17为弹簧，18为定位套，19为球头插销，20为石英坩埚，21为石墨坩埚。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1，半导体单晶炉坩埚吊装机构，包括一吊盘9，吊盘9上固定有三个径向向外延伸的伸出杆；还包括与伸出杆个数相匹配的夹紧爪，夹紧爪包括一与伸出杆远离吊盘9中央处转动连接的拉杆3，夹紧爪还包括一抓手2，拉杆3的下端与抓手2相连，抓手2接触坩埚侧固定有一石墨垫1；还包括一驱动夹紧爪张开或者收拢的驱动组件，驱动组件包括固定在吊盘9的中央的立柱13，立柱13的上端安装有一吊环；驱动组件还包括可沿着立柱13上下运动的滑块，驱动组件还包括一用于对滑块定位固定在立柱13上的定位组件；滑块设有与伸出杆个数相匹配的突起，每个突起分别与连杆8的一端转动连接，连杆8的另一端与拉杆3的上端转动连接，拉杆靠近连杆处与伸出杆转动。连杆8与拉杆3的连接处至拉杆3与伸出杆的连接处的距离小于拉杆3与伸出杆的连接处至拉杆3下端的长度。本专利的创造点在于：通过滑块向下按压，通过连杆8机构的传动，即可实现夹紧爪的收拢，进而实现对坩埚的夹紧，便于通过吊环实现吊装。使用工厂行车，移动吊车等将装好料的石英和石墨坩埚吊入炉内后。通过滑块的上移，通过连杆8机构的传动，即可实现夹紧爪的张开。轻松地从炉内取出吊具，快速高效地装料，节约人力，提高效率。本专利通过抓手2上安装有石墨垫1，通过石墨垫1与坩埚接触，避免了污染坩埚。石墨垫接触坩埚侧为一弧形曲面。
吊环是一吊环螺钉14，吊环螺钉14与立柱螺纹连接。
设有三个突起的滑块为三爪套16。
定位组件包括一固定在滑块上的压板11；定位组件还包括一定位套18，定位套18套设在立柱13的外围，且定位套18设置在吊盘9上方；定位组件还包括一弹簧17，弹簧17套设在立柱13的外围，且弹簧设置在定位套18与滑块之间；定位组件还包括一用于对压板11进行定位压紧的肘夹12，肘夹12固定在吊盘9上。便于通过肘夹12，实现滑块下压至下限位，便于夹紧爪保持收拢状态。当松开肘夹12后，滑块上移，实现夹紧爪的张开。吊盘上固定有一垫块10，肘夹固定在垫块10上。便于控制肘夹的高度。立柱上还套设有一固定环15。便于通过固定环实现对滑块的限位。
伸出杆是一可伸缩的伸缩杆4。便于可以吊取不同尺寸的坩埚。
伸出杆是一伸缩方向为横向的伸缩杆4；伸缩杆4包括第一杆体，第一杆体与吊盘9固定连接；伸缩杆4还包括第二杆体，第二杆体与第一杆体滑动连接，第二杆体上沿着长度方向排布有三个插销孔；第一杆体上开设有一定位孔，第一杆体与第二杆体通过穿过定位孔以及插销孔的插销相连。便于通过伸出杆的长度的控制。
吊盘9的中央开设有一螺纹孔，立柱13的下端设有与螺纹孔相匹配的外螺纹。便于立柱13的可拆卸。
弹簧17是断面为矩形的矩形弹簧。便于压缩受力。
立柱可以是一长度方向为竖直方向的直杆。也可以立柱是两个杆体螺纹连接构成的杆体。便于实现立柱整体长度的调整。
本装置的组装方法为
1、将三个第二杆体分别安装在吊盘8上，用球头插销18插入第二杆体的插销孔与吊盘9上的三个第一杆体上的定位孔；
2、立柱13旋入吊盘9的中心螺纹孔并拧紧，依次装入定位套18、弹簧17、三爪套16、固定环15；
3、将压板11固定在三爪套16上，将垫块10固定在吊盘9上，再将肘夹12安装在垫块10上，调节肘夹12的压头螺栓高度，使压头螺栓头部与压板11接触；
4、将石墨垫1用螺钉固定在抓手2上，然后将拉杆3下端与抓手2连接，下端用螺栓紧固，安装好三套。将安装好的三套夹紧爪分别通过第二销轴6安装在上述安装好的吊盘的三个伸缩轴，分别用接头7、连杆8、第一销轴5与拉杆3和三爪套16连接好，最后将吊环螺钉14拧入立柱13上端，用于连接吊绳；
5、按图1所示，将组装好的坩埚吊具放入32寸石英坩埚20和石墨坩埚21，用于吊取整套坩埚，将夹紧爪打开后，如图1所示位置，将固定环15固定即可。吊具取出时只需将肘夹12松开。
工作人员可以使用工厂行车，移动吊车等将夹持有装好料的石英和石墨坩埚本装置吊入炉内后，夹紧爪打开后轻松地从炉内取出吊具，快速高效地装料，节约人力，提高效率。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.半导体单晶炉坩埚吊装机构，其特征在于，包括一吊盘，所述吊盘上固定有至少三个径向向外延伸的伸出杆；
还包括与伸出杆个数相匹配的夹紧爪，所述夹紧爪包括一与伸出杆远离吊盘中央处转动连接的拉杆，所述夹紧爪还包括一抓手，所述拉杆的下端与所述抓手相连，所述抓手接触坩埚侧固定有一石墨垫；
还包括一驱动所述夹紧爪张开或者收拢的驱动组件，所述驱动组件包括固定在所述吊盘的中央的立柱，所述立柱的上端安装有一吊环；
所述驱动组件还包括可沿着立柱上下运动的滑块，所述驱动组件还包括一用于对滑块定位固定在立柱上的定位组件；
所述滑块设有与伸出杆个数相匹配的突起，每个突起分别与一连杆的一端转动连接，所述连杆的另一端与拉杆的上端转动连接，所述拉杆靠近连杆处与伸出杆远离吊盘中央端转动连接。
2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉坩埚吊装机构，其特征在于：所述定位组件包括一固定在所述滑块上的压板；
所述定位组件还包括一定位套，所述定位套套设在所述立柱的外围，且所述定位套设置在所述吊盘上方；
所述定位组件还包括一弹簧，所述弹簧套设在所述立柱的外围，且所述弹簧设置在所述定位套与所述滑块之间；
所述定位组件还包括一用于对压板进行定位压紧的肘夹，所述肘夹固定在所述吊盘上。
3.根据权利要求1所述的半导体单晶炉坩埚吊装机构，其特征在于：所述伸出杆是一伸缩方向为横向的伸缩杆；
所述伸缩杆包括第一杆体，所述第一杆体与所述吊盘固定连接；
所述伸缩杆还包括第二杆体，所述第二杆体与所述第一杆体滑动连接，所述第二杆体上沿着长度方向排布有至少三个插销孔；
所述第一杆体上开设有一定位孔，所述第一杆体与第二杆体通过穿过定位孔以及插销孔的插销相连。
4.根据权利要求2所述的半导体单晶炉坩埚吊装机构，其特征在于：所述吊盘的中央开设有一螺纹孔，所述立柱的下端设有与所述螺纹孔相匹配的外螺纹。
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