CN208414628U - 一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及泡生法蓝宝石晶体生长领域，旨在提供一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置。通过在泡生炉的波纹管和炉盖之间固定一套插板阀装置，使蓝宝石籽晶在晶体生长之前完全隔绝在波纹管内部，避免炉膛中发热体及保温材料在高温熔化时挥发对籽晶形成腐蚀污染，从而提高接种效率并显著改善泡生法蓝宝石晶体的质量及成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石晶体生长领域，特别是一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置与方法，属晶体制备的技术领域。
背景技术
蓝宝石晶体作为当前半导体照明行业的关键部件，是蓝光和白光LED的重要衬底材料，其大尺寸、高质量的生长制备是行业发展的基础。目前已有多种方法实现了蓝宝石晶体的生长制备，包括泡生法、热交换法、导模法、提拉法、坩埚下降法等。泡生法能够生长尺寸较大的蓝宝石晶体以及设备成本相对低廉，被业内认为是最适合大规模生产蓝宝石晶体的方法。现有的泡生法，如公开号为CN105088333A和专利号为CN205603721U的专利文件所述装置，籽晶通常暴露于发热体及保温材料的上部，在升温化料及过热阶段，发热体、保温材料及熔体分解挥发物可粘附于籽晶表面，进而腐蚀污染籽晶。使用受污染的籽晶进行大尺寸晶体生长制备时，极易造成晶体质量下降，出现晶界、散射、包裹等缺陷，降低产品的成品率及利用率。
发明内容
针对蓝宝石晶体生长中籽晶污染的问题，本实用新型提供一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置。
本实用新型的技术解决方案如下：
一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置，其保护装置是一套插板阀装置，包括插板及手动摇柄两个主体部件，插板阀通过法兰和螺栓固定在泡生炉波纹管和炉盖之间。
所述的籽晶保护方法是在蓝宝石晶体生长熔料过程中，将蓝宝石籽晶上摇至波纹管内，摇动插板阀手动摇柄将插板插入，将波纹管和炉膛完全隔开，保护籽晶不受炉膛挥发物腐蚀污染。
本实用新型的技术效果是：通过插板阀手动摇柄将插板抽出，摇动籽晶杆将籽晶移至泡生炉波纹管内。在蓝宝石晶体生长之前的升温化料和熔体过热阶段，再通过插板阀手动摇柄将插板推入，密封籽晶升降通道，使籽晶隔绝在发热体及保温材料的上部，避免其在高温下的挥发物对籽晶造成腐蚀污染。当需进行晶体生长时，通过手动摇柄抽出插板，开启籽晶升降通道完成籽晶接种工作。该实用新型装置和方法实现了对蓝宝石籽晶防污染腐蚀的保护，确保了籽晶的高品质，可显著提高接种效率，改善泡生法蓝宝石晶体的质量、成品率及利用率，降低生产成本。
附图说明
图1是泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置的剖视图。
附图标记说明：1.籽晶杆、2.波纹管、3.插板、4.手动摇柄、5.炉盖、6.炉膛。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置。所述的保护装置是一套插板阀装置，包括插板（3）及手动摇柄（4）两个主体部件，插板阀通过法兰和螺栓固定在泡生炉波纹管（2）和炉盖（5）之间；所述的保护方法是在蓝宝石晶体生长熔料过程中，将蓝宝石籽晶杆（1）上摇至波纹管内，摇动插板阀手动摇柄将插板插入，将波纹管和炉膛（6）完全隔开，保护籽晶不受炉膛内材料挥发物的腐蚀污染。
本实用新型泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置与方法的工作过程如下：在蓝宝石晶体生长的升温化料阶段，通过插板阀手动摇柄将插板抽出，摇动籽晶杆将籽晶移至泡生炉波纹管内，再将插板推入，密封籽晶升降通道，使籽晶不与发热体及保温材料的挥发物直接接触。在晶体生长下种阶段，通过手动摇柄抽出插板，打开籽晶升降通道，摇动籽晶杆使籽晶接触熔体表面完成下种工作。经放肩、等径、拉脱晶体、降温冷却等工艺工程，实现蓝宝石晶体泡生法生长。该实用新型装置和方法实现了对蓝宝石籽晶污染腐蚀的防护，确保了籽晶的高品质，显著提高接种效率，改善泡生法蓝宝石晶体的质量、成品率及利用率，降低生产成本。
上述实施例是对本实用新型的说明，不是对本实用新型的限定，任何对其简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。
Claims (1)
1.一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶保护装置，其特征在于：所述的保护装置是一套插板阀装置，包括插板及手动摇柄两个主体部件，插板阀通过法兰和螺栓固定在泡生炉波纹管和炉盖之间。
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