CN208410300U - 一种晶棒上下料运输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于金刚线晶片切割设备领域，具体涉及一种晶棒上下料运输装置，该运输装置安装于导轨架上，其特征在于：包括行走机构、升降机构、平移机构、定位机构、推拉机构和旋转机构；其中所述行走机构安装于导轨架上，所述定位机构安装于升降机构一侧，平移机构安装于升降机构上，平移机构上还设置有推拉机构和旋转机构。能实现晶棒的上下料操作与运输过程中实现无人自动化，节省人力资本，提高企业生产效率。

Description

一种晶棒上下料运输装置

技术领域

本实用新型属于金刚线晶片切割设备领域，具体涉及一种晶棒上下料运输装置。

背景技术

现有的技术中，在切片机实际生产过程中，基本都是依靠工人通过操作一辆专用小车，进行对切片机上料与下料的操作，在上料与下料时准备工人，推动专用小车进行来回的运输准备切割的晶棒与切割完成的晶片，因工人个体操作差异性很大，不利于提高工作效率，而且在卸下切割完成晶片的过程中容易出现损坏晶片的现象，这样的操作费时费力费人工，并且专用小车占用了厂房地面有限的活动空间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒上下料运输装置，为了能实现晶棒的上下料操作与运输过程中实现无人自动化，节省人力资本，提高企业生产效率。

为实现上述目的，本实用新型具体提供的技术方案为：包括导轨机构，行走机构，升降机构，定位机构，平移机构，推拉机构，旋转机构。

所述导轨机构包括导轨架，导轨。导轨固定安装在导轨架上，导轨架两端面固定在两侧切片机机架上，提供给行走机构稳固的行走轨道。

所述行走机构包括行走轮，行走机架，动力源一（伺服电机，气动马达），传动轮（摩擦轮，齿轮，带轮）。四个行走轮固定在行走机架四周角上，置于导轨槽内，动力源一固定在行走机架上驱动传动轮提供给行走机架动力，行走轮带动行走机架沿导轨长度方向移动。实现晶棒上下料运输装置在不同工位的切片机之间进行移动运输并且沿导轨导向方向定位。

所述升降机构包括升降机架，直线导向组件一，动力源二（伺服电机，气动马达），丝杆传动机构。两组直线导向组件一分别置于升降机架两侧，与行走车间滑动连接，对升降机架起到导向作用，丝杆传动机构一端螺母固定安装在升降机架上，一端丝杆与动力源二相连接，动力源二固定安装在行车机架中间，通过驱动丝杆传动机构，带动升降机架沿两侧直线导向组件一导向方向升降移动，实现安装在切片机上的定位座与安装在升降机架上的定位架沿竖直升降方向定位，保证切片机晶棒滑槽与本装置滑槽共面。

所述定位机构包括定位座，气缸，定位架，涨紧机构。定位架固定安装在升降机架竖直侧面上，气缸固定安装在定位架顶部与涨紧机构连接，气缸杆伸缩驱动涨紧机构，与固定安装在切片机机架上的定位座涨紧，实现升降机架相对切片机固定。

所述平移机构包括平移机架，动力源三（伺服电机，气动马达，手轮），涡轮蜗杆升降机，直线导向组件二，滑槽条。两组直线导向组件二分别置于平移机架顶部两侧，与升降机架滑动连接，对平移机架起到导向作用，涡轮蜗杆升降机固定安装在升降机架上，输入端与固定安装在升降机架上的动力源三相连接，输出端与固定安装在平移机架上的螺母座固定连接，动力源三通过驱动涡轮蜗杆升降机，带动平移机架沿直线导向组件二导向方向水平移动，4条滑槽条固定安装在平移机架底部，提供2个工位的滑槽导轨。通过平移机架的移动，实现两组推拉机构对切片机工位的对接。

所述推拉机构包括动力源四（伺服电机，气动马达，手轮），减速机，传动机构，直线导向组件三。两组直线导向组件三分别置于平移机架底部两侧，动力源四通过固定安装在平移机架上的减速机提供给传动机构动力，带动2组旋转机构沿直线导向组件三导向方向水平移动。实现对切片机工位上切割完成的晶片进行抽拉与对储存安放在平移机构内的晶棒进行推进这两种操作。

所述旋转机构包括旋转支架，旋转组件，动力源五（旋转气缸，伺服电机，手轮，气动马达）。旋转支架固定安装在直线导向组件三上，动力源五固定安装在旋转支架上，提供给旋转组件动力，实现旋转组件沿旋转轴0°~90°方向转动。

有益效果：本实用新型适用于切片机车间装卸运输操作，通过控制行走、升降、定位、平移、推拉、旋转动作来实现晶棒上下料自动运输，方便快捷，大大减少了人力成本与操作时间，提高了企业的生产效率；各个机构通过机械方法或者传感器实现相对切片机的精确定位，保证操作的准确快捷；因为导轨机构架在两端切片机机架上，保证了整个装置不占用车间场地空间。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构图；

图2为本实用新型的各个运动部件主视图；

图3为本实用新型的各个运动部件局部视图。

标号说明：导轨架1；导轨2；行走轮3；行走机架4；动力源一5；传动轮6；升降机架7；直线导向组件一8；动力源二9；丝杆传动机构10；定位座11；气缸12；定位架13；涨紧机构14；平移机架15；动力源三16；涡轮蜗杆升降机17；直线导向组件二18；滑槽条19；动力源四20；减速机21；传动机构22；直线导向组件三23；旋转支架24；旋转组件25；动力源五26。

导轨机构30；行走机构40；升降机构50；定位机构60；平移机构70；推拉机构80；旋转机构90。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明：如图1所示，一种一种晶棒上下料运输装置，包括导轨机构30，行走机构40，升降机构50，定位机构60，平移机构70，推拉机构80，旋转机构90。

上述导轨2固定安装在导轨架1底部，导轨架1两端与车间切片机机架固定连接，在两切片机之间的上部位置形成稳固的行走轨道。

行走机构40置于导轨2上，包括行走轮3，行走机架4，动力源一5（伺服电机，气动马达），传动轮6（摩擦轮，齿轮，带轮）。行走机架4通过安装在行走机架4四角上的行走轮3置于导轨2上，动力源一5带动传动轮6（摩擦轮，齿轮，带轮）驱动行走机构沿导轨2导向方向移动，实现晶棒上下料运输装置在不同工位的切片机之间进行移动运输并且沿导轨导向方向定位。

升降机构50能够实现相对行走机构在竖直方向相对移动，包括升降机架7，直线导向组件一8，动力源二9（伺服电机，气动马达），丝杆传动机构10。升降机架7通过直线导向组件一8与行走机架4实现滑动连接，动力源二9固定在行走机架4上，带动丝杆传功机构10驱动升降机构沿竖直方向上下移动，实现安装在切片机上的定位座11与安装在升降机架7上的定位架13沿竖直升降方向定位。

定位机构60保证行走机构与升降机构相对切片机机架相对固定，包括定位座11，气缸12，定位架13，涨紧机构14。定位座11固定安装在切片机机架上，定位架13固定安装在升降机架7竖直侧面上，气缸12固定安装在定位架13上，通过气缸杆伸缩驱动涨紧机构14与定位座11涨紧固定，实现走机构与升降机构相对切片机机架相对固定。

平移机构70能够实现相对行走机构在水平方左右向相对移动，包括平移机架15，动力源三16（伺服电机，气动马达，手轮），涡轮蜗杆升降机17，直线导向组件二18，滑槽条19。平移机架15通过直线导向组件二18与行走机架4滑动连接，动力源三16带动涡轮蜗杆升降机17驱动平移机构沿水平方向左右移动，滑槽条19固定安装在平移机架15底部，提供2个各工位的滑槽导轨，实现两组推拉机构对切片机工位的水平对接。

推拉机构80能够实现相对平移机构在水平前后方向相对移动，包括动力源四20（伺服电机，气动马达，手轮），减速机21，传动机构22，直线导向组件三23。两组直线导向组件三23分别置于平移机架15底部两侧，动力源四20通过固定安装在平移机架15上的减速机21提供给传动机构22动力，带动两组旋转机构沿直线导向组件三23导向方向水平前后移动。实现对切片机工位上切割完成的晶片进行抽拉与对储存安放在平移机构内的晶棒进行推进这两种操作。

旋转机构90包括旋转支架24，旋转组件25，动力源五26（旋转气缸，伺服电机，手轮，气动马达）。旋转支架24固定安装在直线导向组件三23上，动力源五26固定安装在旋转支架24上，提供给旋转组件25动力，旋转组件沿旋转轴0°~90°方向转动。

以上没有具体展开的机构特征，为本领域技术人员知晓的故不再这里作具体赘述。

Claims (7)

1.一种晶棒上下料运输装置，该运输装置安装于导轨架上，其特征在于：包括行走机构、升降机构、平移机构、定位机构、推拉机构和旋转机构；其中所述行走机构安装于导轨架上，所述定位机构安装于升降机构一侧，平移机构安装于升降机构上，平移机构上还设置有推拉机构和旋转机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒上下料运输装置，其特征在于：所述导轨架上设置有导轨；所述行走机构包括行走轮，行走机架，动力源一，传动轮；其中四个行走轮固定在行走机架四周角上，置于导轨槽内，动力源一固定在行走机架上驱动传动轮提供给行走机架动力，行走轮带动行走机架沿导轨长度方向移动。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒上下料运输装置，其特征在于：所述升降机构包括直线导向组件一，动力源二，丝杆传动机构；其中，两组直线导向组件一分别置于升降机架两侧，与行走车间滑动连接，丝杆传动机构一端螺母固定安装在升降机架上，一端丝杆与动力源二相连接，动力源二固定安装在行车机架中间，通过驱动丝杆传动机构，带动升降机架沿两侧直线导向组件一导向方向升降移动。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒上下料运输装置，其特征在于：所述定位机构包括定位座，气缸，定位架，涨紧机构；其中，定位架固定安装在升降机架竖直侧面上，气缸固定安装在定位架顶部与涨紧机构连接，气缸杆伸缩驱动涨紧机构，与固定安装在切片机机架上的定位座涨紧。

5.根据权利要求3所述的一种晶棒上下料运输装置，其特征在于：所述平移机架，包括动力源三，涡轮蜗杆升降机，直线导向组件二，滑槽条；其中，两组直线导向组件二分别置于平移机架顶部两侧，与升降机架滑动连接，涡轮蜗杆升降机固定安装在升降机架上，输入端与固定安装在升降机架上的动力源三相连接，输出端与固定安装在平移机架上的螺母座固定连接，动力源三通过驱动涡轮蜗杆升降机，带动平移机架沿直线导向组件二导向方向水平移动，四条滑槽条固定安装在平移机架底部。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒上下料运输装置，其特征在于：所述推拉机构包括动力源四，减速机，传动机构，直线导向组件三；其中，两组直线导向组件三分别置于平移机架底部两侧，动力源四通过固定安装在平移机架上的减速机提供给传动机构动力，带动组旋转机构沿直线导向组件三导向方向水平移动。

7.根据权利要求1所述的一种晶棒上下料运输装置，其特征在于：所述旋转机构包括旋转支架，旋转组件，动力源五；其中，所述旋转支架固定安装在直线导向组件三上，动力源五固定安装在旋转支架上，旋转组件沿旋转轴0°~90°圆周方向转动。