CN208407897U - 一种硅片清洗甩干装置 - Google Patents
一种硅片清洗甩干装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208407897U CN208407897U CN201721602347.9U CN201721602347U CN208407897U CN 208407897 U CN208407897 U CN 208407897U CN 201721602347 U CN201721602347 U CN 201721602347U CN 208407897 U CN208407897 U CN 208407897U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed frame
- fixing head
- telescopic rod
- drying device
- storehouse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片清洗甩干装置,包括壳体,所述壳体内部从上至下分为甩干仓和清洗仓,所述甩干仓侧边设置仓门,所述壳体内部设置上固定架和下固定架,所述上固定架和下固定架之间通过伸缩杆连接,所述上固定架和下固定架结构相同,且上固定架上端固定设置花键套筒,所述花键套筒内部设置花键轴,所述花键轴通过联轴器与电机的输出轴连接,所述电机与壳体固定安装,所述花键轴和花键套筒外部均设置限位盘,本硅片清洗甩干装置,采用超声波清洗的方式对硅片进行清洗,而且利用离心的方式将硅片甩干,不会造成硅片损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗技术领域,具体为一种硅片清洗甩干装置。
背景技术
太阳能作为一种清洁能源,正日益得到广泛的应用。硅片是太阳能产业中最为重要的元件,硅片在生产流程中需要经过多道处理工序,以便保证硅片的光电转换效果。在硅片生产过程中,需要对硅片进行药液浸泡,实现硅片的表面集中处理。而在药液浸泡之后,还有譬如清洗、烘干、沥净等工序。现在对硅片清洗后,若采用烘干,若烘机吹出的热风过热,容易对硅片表面造成反应。若采用静放使表面的液体沥净,则需要将大量硅片分开放置,耗费大量空间且耗时长。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种硅片清洗甩干装置,采用超声波清洗的方式对硅片进行清洗,而且利用离心的方式将硅片甩干,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片清洗甩干装置,包括壳体,所述壳体内部从上至下分为甩干仓和清洗仓,所述甩干仓侧边设置仓门,所述壳体内部设置上固定架和下固定架,所述上固定架和下固定架之间通过伸缩杆连接,所述上固定架和下固定架结构相同,且上固定架上端固定设置花键套筒,所述花键套筒内部设置花键轴,所述花键轴通过联轴器与电机的输出轴连接,所述电机与壳体固定安装,所述花键轴和花键套筒外部均设置限位盘,且花键轴和花键套筒的限位盘通过电动伸缩杆一连接,所述清洗仓底部设置超声波发生器。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述上固定架包括滑杆和固定头,所述上固定架外部均匀设置滑杆,且滑杆端部固定设置固定头,且固定头表面设置安装槽。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述滑杆外部套装限位块,所述限位块与上固定架中心轴之间加装弹簧,且限位块表面开设安装槽。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述滑杆外部设置行程开关,所述行程开关与限位块的距离和硅片的宽度相等,且所述行程开关的输出端电连接电动伸缩杆一和电动伸缩杆二的输入端。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述固定头外部设置挡板,所述挡板内壁侧边设置滑轨,且固定头侧壁设置滑槽,所述挡板的滑轨与固定头侧边的滑槽配合安装,且挡板与固定头之间通过电动伸缩杆二连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本硅片清洗甩干装置采用超声波发生器对硅片进行清洗,能够对硅片进行彻底清洗,保证清洗效果,而且采用上固定架和下固定架将硅片固定,并且在电动伸缩杆一的作用下,上固定架和下固定架能够在清洗仓和甩干仓之间移动,同时在电机作用下,上固定架和下固定架能够高速旋转,利用离心力将硅片甩干,避免高温造成的硅片表面反应。
附图说明
图1为本实用新型结构原理示意图;
图2为本实用新型结构上固定架和下固定架示意图;
图3为本实用新型结构花键轴安装示意图;
图4为本实用新型结构限位块安装示意图;
图5为本实用新型结构固定头示意图。
图中:1壳体、2超声波发生器、3上固定架、4下固定架、5仓门、6花键套筒、7电机、8伸缩杆、9甩干仓、10清洗仓、11花键轴、12电动伸缩杆一、13固定头、14滑杆、15限位块、16弹簧、17挡板、18电动伸缩杆二、 19行程开关。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:一种硅片清洗甩干装置,包括壳体1,壳体1内部从上至下分为甩干仓9和清洗仓10,甩干仓9侧边设置仓门5,壳体1内部设置上固定架3和下固定架4,上固定架3和下固定架4之间通过伸缩杆8连接,伸缩杆8采用现有技术中任意一种手动伸缩杆即可,适应不同长度的硅片,上固定架3和下固定架4结构相同,且上固定架3上端固定设置花键套筒6,花键套筒6内部设置花键轴11,花键轴11通过联轴器与电机7的输出轴连接,电机7与壳体1固定安装,花键轴11和花键套筒6外部均设置限位盘,且花键轴11和花键套筒6的限位盘通过电动伸缩杆一12连接,清洗仓10底部设置超声波发生器2,上固定架3包括滑杆 14和固定头13,上固定架3外部均匀设置滑杆14,且滑杆14端部固定设置固定头13,且固定头13表面设置安装槽,便于快速固定硅片,滑杆14外部套装限位块15,限位块15与上固定架3中心轴之间加装弹簧16,保证限位块15能够快速复位,且能够对硅片起到夹紧作用,且限位块15表面开设安装槽,滑杆14外部设置行程开关19,行程开关19与限位块15的距离和硅片的宽度相等,且行程开关19的输出端电连接电动伸缩杆一12和电动伸缩杆二18的输入端,实现硅片的自动固定,固定头13外部设置挡板17,防止甩干过程中硅片脱落,挡板17内壁侧边设置滑轨,且固定头13侧壁设置滑槽,挡板17的滑轨与固定头13侧边的滑槽配合安装,且挡板17与固定头13之间通过电动伸缩杆二18连接。
在使用时:首先调节伸缩杆8的长度和行程开关19的位置,然后将硅片通过仓门5放进甩干仓9,将硅片放置在固定头13表面的安装槽内部,并向内施力,直到限位块15接触到行程开关19,电动伸缩杆二18动作,带动挡板17运动将硅片固定,然后关闭仓门5,电动伸缩杆一12动作,将硅片浸入清洗仓10内部的清洗剂中,在超声波发生器2的作用下,对硅片进行清洗,完成后,电动伸缩杆一12动作,将硅片移动到甩干仓9,然后电机7带动上固定架3和下固定架4旋转,从而将硅片甩干。
本实用新型采用超声波发生器2对硅片进行清洗,能够对硅片进行彻底清洗,保证清洗效果,而且采用上固定架3和下固定架4将硅片固定,并且在电动伸缩杆一12的作用下,上固定架3和下固定架4能够在清洗仓10和甩干仓9之间移动,同时在电机7作用下,上固定架3和下固定架4能够高速旋转,利用离心力将硅片甩干,避免高温造成的硅片表面反应。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种硅片清洗甩干装置,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)内部从上至下分为甩干仓(9)和清洗仓(10),所述甩干仓(9)侧边设置仓门(5),所述壳体(1)内部设置上固定架(3)和下固定架(4),所述上固定架(3)和下固定架(4)之间通过伸缩杆(8)连接,所述上固定架(3)和下固定架(4)结构相同,且上固定架(3)上端固定设置花键套筒(6),所述花键套筒(6)内部设置花键轴(11),所述花键轴(11)通过联轴器与电机(7)的输出轴连接,所述电机(7)与壳体(1)固定安装,所述花键轴(11)和花键套筒(6)外部均设置限位盘,且花键轴(11)和花键套筒(6)的限位盘通过电动伸缩杆一(12)连接,所述清洗仓(10)底部设置超声波发生器(2)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述上固定架(3)包括滑杆(14)和固定头(13),所述上固定架(3)外部均匀设置滑杆(14),且滑杆(14)端部固定设置固定头(13),且固定头(13)表面设置安装槽。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述滑杆(14)外部套装限位块(15),所述限位块(15)与上固定架(3)中心轴之间加装弹簧(16),且限位块(15)表面开设安装槽。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述滑杆(14)外部设置行程开关(19),所述行程开关(19)与限位块(15)的距离和硅片的宽度相等,且所述行程开关(19)的输出端电连接电动伸缩杆一(12)和电动伸缩杆二(18)的输入端。
5.根据权利要求2所述的一种硅片清洗甩干装置,其特征在于:所述固定头(13)外部设置挡板(17),所述挡板(17)内壁侧边设置滑轨,且固定头(13)侧壁设置滑槽,所述挡板(17)的滑轨与固定头(13)侧边的滑槽配合安装,且挡板(17)与固定头(13)之间通过电动伸缩杆二(18)连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201721602347.9U CN208407897U (zh) | 2017-11-27 | 2017-11-27 | 一种硅片清洗甩干装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201721602347.9U CN208407897U (zh) | 2017-11-27 | 2017-11-27 | 一种硅片清洗甩干装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN208407897U true CN208407897U (zh) | 2019-01-22 |
Family
ID=65127066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201721602347.9U Expired - Fee Related CN208407897U (zh) | 2017-11-27 | 2017-11-27 | 一种硅片清洗甩干装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN208407897U (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110605212A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-24 | 浙江物产中大电机铁芯制造有限公司 | 一种交流电机大型冲片的绝缘处理设备及处理方法 |
CN111365971A (zh) * | 2020-03-20 | 2020-07-03 | 东莞市闻誉实业有限公司 | 干燥装置 |
CN116313937A (zh) * | 2023-05-16 | 2023-06-23 | 河北时硕微芯科技有限公司 | 滤波器晶圆旋转冲洗甩干机 |
-
2017
- 2017-11-27 CN CN201721602347.9U patent/CN208407897U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110605212A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-24 | 浙江物产中大电机铁芯制造有限公司 | 一种交流电机大型冲片的绝缘处理设备及处理方法 |
CN111365971A (zh) * | 2020-03-20 | 2020-07-03 | 东莞市闻誉实业有限公司 | 干燥装置 |
CN116313937A (zh) * | 2023-05-16 | 2023-06-23 | 河北时硕微芯科技有限公司 | 滤波器晶圆旋转冲洗甩干机 |
CN116313937B (zh) * | 2023-05-16 | 2023-08-18 | 河北时硕微芯科技有限公司 | 滤波器晶圆旋转冲洗甩干机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN208407897U (zh) | 一种硅片清洗甩干装置 | |
CN208116354U (zh) | 旋转式化学试验用试管清洗器 | |
CN209597775U (zh) | 一种半导体设备的器材清洗装置 | |
CN110131970B (zh) | 一种硅晶片甩干机 | |
CN113953262B (zh) | 一种光电摄像头滤光镜片清洁机构 | |
CN207338322U (zh) | 一种晶圆片清洗装置 | |
CN210146061U (zh) | 一种化学实验试管架 | |
CN213079462U (zh) | 一种实验室用试管批量清洗烘干装置 | |
CN207288266U (zh) | 一种用于医疗的试管清洗干燥装置 | |
CN110148573A (zh) | 一种半导体设备工艺腔的晶圆升降装置 | |
CN107649456A (zh) | 一种防污染管体清洁装置 | |
CN207899804U (zh) | 一种防污染管体清洁装置 | |
CN219425193U (zh) | 一种玻璃器皿清洁装置 | |
CN208066824U (zh) | 一种镜片加工用清洗烘干装置 | |
CN218251885U (zh) | 一种光伏电站组件清洗设备 | |
CN109248894A (zh) | 一种用于冲洗、清洁与干燥晶圆的设备的紧固结构 | |
CN213363091U (zh) | 一种节能环保的电磁感应热风设备 | |
CN205236574U (zh) | 一种化学仪器的快速清洗晾干装置 | |
CN210614516U (zh) | 一种漆包线导体热漂洗装置 | |
CN217451274U (zh) | 一站式手表清洗台 | |
CN113345645A (zh) | 一种漆包线生产制造工艺 | |
CN207628829U (zh) | 一种环规清洗机的超声波清洗系统 | |
CN219092968U (zh) | 一种pcb钻头生产用批量化清洗装置 | |
CN220371776U (zh) | 一种具有烘干功能的超声波清洗机 | |
CN219223157U (zh) | 一种半导体零件清洗后烘干装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190122 Termination date: 20191127 |