CN208279682U - 一种用于斜面钼圆靶放置的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及圆靶支架工装技术领域，具体涉及一种用于斜面钼圆靶放置的装置，包括壳体、底板、固定板、移动板、隔块与传动组件；所述传动组件包括L型连接板、传动齿条、传动齿轮，所述壳体底部固定连接底板，壳体内部一侧设置固定板，固定板垂直于底板设置，与固定板相对设置移动板，移动板垂直于底板设置，固定板与移动板分别间隔设置若干隔块，所述移动板一端连接L型连接板，L型连接板上设置传动齿条，设置在壳体上的传动齿轮与传动齿条啮合。本实用新型专用于斜面钼圆靶的放置，一个支架可以放置多个斜面钼圆靶，更节省空间，且放置到支架上的斜面钼圆靶不易划伤、倾倒。

Description

一种用于斜面钼圆靶放置的装置

技术领域

本实用新型涉及圆靶支架工装技术领域，具体涉及一种用于斜面钼圆靶放置的装置。

背景技术

溅射靶材主要用于平面显示器、薄膜太阳能电池的电极和配线材料以及半导体的阻挡层材料。这些是基于钨、钼的高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能。以前，平面显示器的配线材料主要是铬，但随着平面显示器的大型化和高精度化，越来越需要比阻抗小的材料。另外，环保也是必须考虑的问题。而钼具有比阻抗和膜应力仅为铬的1／2的优势，而且不存在环境污染问题，因此钼成为了平面显示器溅射靶材的首选材料之一。此外，钼靶材使用在LCD的元器件中，可使液晶显示器在亮度、对比度、色彩以及寿命方面的性能大大提升。钼圆靶中存在一类斜面钼圆靶，其用于曲面屏幕的生产。

目前在存放钨钼靶材时，一般是将钨钼靶材两端支撑，靶材水平放置在支撑架上，由于钨、钼靶材一般长度相对较长，靶材水平放置，两端支撑，此种存放方式，长时间存放，靶材的中部缺乏支撑，受重力影响会出现向下的弯曲变形，从而影响平面靶材后续的使用。并且该放置方法所占空间较大。进一步的现有技术中还没有专门用于斜面钼圆靶放置的支架；更没有可以调节尺寸的支架用于放置尺寸不同的斜面钼圆靶。

发明内容

鉴于现有技术的缺陷，本实用新型提供一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其专用于斜面钼圆靶的放置，一个支架可以放置多个斜面钼圆靶，更节省空间，且放置到支架上的斜面钼圆靶不易划伤、倾倒。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其包括壳体、底板、固定板、移动板、隔块与传动组件；所述传动组件包括L型连接板、传动齿条、传动齿轮，所述壳体底部固定连接底板，壳体内部一侧设置固定板，固定板垂直于底板设置，与固定板相对设置移动板，移动板垂直于底板设置，固定板与移动板分别间隔设置若干隔块，所述移动板一端连接L型连接板，L型连接板上设置传动齿条，设置在壳体上的传动齿轮与传动齿条上的矩尺啮合。

基于上述技术方案，将一个斜面钼圆靶竖着放置在两个相邻的隔块之间，将斜面钼圆靶立起来，然后放进固定板与移动板之间的立式卡槽内，从而实现将斜面钼圆靶立式放置，可有效的防止靶材的弯曲变形，保证靶材能够正常的使用。一个支架上可以放置多个斜面钼圆靶。

基于上述技术方案，利用传动齿轮转动，传动齿轮与传动齿条上的矩尺啮合，带动L型连接板前移，从而带动移动板平移，调节固定板与移动板之间距离，以适应不同直径尺寸的斜面钼圆靶。

进一步的，所述移动板底部两端设置行走轮，行走轮与底板上的轨道连接。

基于上述技术方案，移动板可以在底板上更加平稳的平移，向固定板靠近。

进一步的，所述壳体上部设置刻度板，所述刻度板设置在移动板上方，刻度板垂直于移动板。

基于上述技术方案，可以更加直观的在刻度板上读出移动板与固定板之间的距离，本装置可以放置直径在180mm-290mm的斜面钼圆靶。

进一步的，所述传动齿轮连接转动手柄。用于驱动传动齿轮。

斜面钼圆靶放置在间隔设置的两个隔块之间，所述隔块与斜面钼圆靶之间设置胶木垫。胶木垫可以有效防止斜面钼圆靶刮伤。

进一步的，所述L型连接板通过螺栓连接移动板一端的上部。

进一步的，所述隔块底部设置导向轮，导向轮与底板上的导向轮轨道连接。

本实用新型的的工作过程：操作人员转动手柄，利用传动齿轮转动，传动齿轮与传动齿条上的矩尺啮合，带动L型连接板前移，从而带动移动板平移，调节固定板与移动板之间距离，根据所要放置的斜面钼圆靶尺寸，观察刻度板上读数，直到读数接近所要放置的斜面钼圆靶尺寸，停止转动手柄，将斜面钼圆靶放置在两个隔块之间。

本实用新型的有益效果：可以防止斜面钼圆靶划伤，一个支架可以放置多个斜面钼圆靶，更节省空间。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型的主视图；

图4为放置尺寸较小斜面钼圆靶的示意图；

图中：1、壳体，2、底板，3、固定板，4、移动板，5、隔块，6、L型连接板，7、传动齿条，8、传动齿轮，9、斜面钼圆靶，10、行走轮，11、刻度板，12、胶木垫，13、螺栓，14、导向轮，15、手柄。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例1

一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其包括壳体1、底板2、固定板3、移动板4、隔块5与传动组件；所述传动组件包括L型连接板6、传动齿条7、传动齿轮8，所述壳体1底部固定连接底板2，壳体1内部一侧设置固定板3，固定板3垂直于底板2设置，与固定板3相对设置移动板4，移动板4垂直于底板2设置，固定板3与移动板4分别间隔设置若干隔块5，所述移动板4一端连接L型连接板6，L型连接板6上设置传动齿条7，设置在壳体1上的传动齿轮8与传动齿条7上的矩尺啮合。

基于上述技术方案，将一个斜面钼圆靶9竖着放置在两个相邻的隔块5之间，一个支架上可以放置多个斜面钼圆靶9。将斜面钼圆靶9立起来，然后放进固定板3与移动板4之间的立式卡槽内，从而实现将斜面钼圆靶9立式放置，可有效的防止靶材的弯曲变形，保证靶材能够正常的使用。

基于上述技术方案，利用传动齿轮8转动，传动齿轮8与传动齿条7上的矩尺啮合，带动L型连接板6前移，从而带动移动板4平移，调节固定板3与移动板4之间距离，以适应不同直径尺寸的斜面钼圆靶9。

进一步的，所述移动板4底部两端设置行走轮10，行走轮10与底板2上的轨道连接。

基于上述技术方案，移动板4可以在底板2上更加平稳的平移，向固定板靠近。

进一步的，所述壳体1上部设置刻度板11，所述刻度板11设置在移动板上方，刻度板11垂直于移动板4。

基于上述技术方案，可以更加直观的在刻度板11上读出移动板4与固定板3之间的距离，本装置可以放置直径在180mm-290mm的斜面钼圆靶9。

进一步的，所述传动齿轮连接转动手柄。用于驱动传动齿轮。

斜面钼圆靶9放置在间隔设置的两个隔块5之间，所述隔块5与斜面钼圆靶9之间设置胶木垫12。胶木垫12可以有效防止斜面钼圆靶9刮伤。

进一步的，所述L型连接板6通过螺栓13连接移动板4一端的上部。

进一步的，所述隔块5底部设置导向轮14，导向轮14与底板2上的导向轮轨道连接。

本实用新型的的工作过程：操作人员转动手柄15，利用传动齿轮8转动，传动齿轮8与传动齿条7上的矩尺啮合，带动L型连接板6前移，从而带动移动板4平移，调节固定板3与移动板4之间距离，根据所要放置的斜面钼圆靶9尺寸，观察刻度板11上读数，直到读数接近所要放置的斜面钼圆靶9尺寸，停止转动手柄15，将斜面钼圆靶9放置在两个隔块之间。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (7)

1.一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：包括壳体、底板、固定板、移动板、隔块与传动组件；所述传动组件包括L型连接板、传动齿条与传动齿轮，所述壳体底部固定连接底板，壳体内部一侧设置固定板，固定板垂直于底板设置，与固定板相对设置移动板，移动板垂直于底板设置，固定板与移动板分别间隔设置若干隔块，所述移动板一端连接L型连接板，L型连接板上设置传动齿条，设置在壳体上的传动齿轮与传动齿条啮合。

2.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：所述移动板底部两端设置行走轮，行走轮与底板上的轨道连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：所述壳体上部设置刻度板，所述刻度板设置在移动板上方，刻度板垂直于移动板。

4.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：所述传动齿轮连接转动手柄。

5.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：斜面钼圆靶放置在间隔设置的两个隔块之间，所述隔块与斜面钼圆靶之间设置胶木垫。

6.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：所述L型连接板通过螺栓连接移动板一端的上部。

7.根据权利要求1所述的一种用于斜面钼圆靶放置的装置，其特征在于：所述隔块底部设置导向轮，导向轮与底板上的导向轮轨道连接。