CN208240623U - 硅片旋转装置和硅片分选机 - Google Patents

Abstract

本申请揭示了一种硅片旋转装置和硅片分选机，属于硅片分选技术领域。该硅片旋转装置包括旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，其中：旋转平台上设置有用于吸附硅片的吸附孔；旋转驱动部与旋转平台连接，旋转驱动部带动旋转平台在水平方向上旋转；升降驱动部同时驱动旋转驱动部和旋转平台进行升降运动。本申请利用旋转驱动部提升旋转平台以顶起硅片，利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。

Description

硅片旋转装置和硅片分选机

技术领域

本实用新型属于硅片分选技术领域，涉及一种硅片旋转装置和硅片分选机。

背景技术

在硅片分选机上，如果判定输送的硅片的布置方向不正确，则需要对硅片进行旋转，比如旋转90度或180度等。

目前通常是采用人工手动旋转输送的硅片的方式，但由于硅片比较脆弱，采用人工手动旋转硅片的方式，不仅效率慢，而且会因人工施力不均匀导致硅片碎裂。因此需要提供一种自动对输送的硅片进行旋转的方案。

实用新型内容

为了解决相关技术中因人工手动旋转输送的硅片时，效率低下且容易会因人工施力不均匀导致硅片碎裂的问题，本实用新型提供了一种硅片旋转装置和硅片分选机。具体技术方案如下：

第一方面，提供了一种硅片旋转装置，包括旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，其中：旋转平台上设置有用于吸附硅片的吸附孔；旋转驱动部与旋转平台连接，旋转驱动部带动旋转平台在水平方向上旋转；升降驱动部同时驱动旋转驱动部和旋转平台进行升降运动。

通过设置旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，在需要对传输的硅片进行旋转时，首先利用旋转驱动部提升旋转平台以顶起硅片，然后利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。

可选的，该硅片旋转装置还包括安装架，旋转驱动部滑动安装在安装架上，升降驱动部带动旋转驱动部沿着安装架上设置的第一组导轨进行上下滑动。

通过将旋转驱动部滑动安装在安装架上，便于升降驱动部带动旋转驱动部升降，节省升降驱动的驱动力。

可选的，该硅片旋转装置还包括水平驱动件和横向设置在水平驱动件的驱动端的滑动部，安装架下部滑动安装在滑动部上，水平驱动件带动安装架在滑动部上滑动。

通过设置水平驱动件，利用水平驱动件横向驱动安装架上的旋转平台，可以保证硅片不位于旋转平台初始位置的正上方时，也可以通过水平驱动件将旋转平台横向移动至硅片的正下方以承接硅片；另外通过设置横向的滑动部，并将安装架安装在滑动部上，在利用水平驱动件横向驱动安装架时，节省了水平驱动件的驱动力。

可选的，上述滑动部为丝杠，安装架的下部设置有通孔，丝杠穿过通孔且两端分别固定在与水平驱动件的驱动端和固定安装板上。

通过在安装架的底端设置通孔，以与丝杠配合，为水平驱动件对安装架的驱动提供了节省驱动力的结构设计，由于不需要配置常规的滑轨和滑块，减少了制造成本。

可选的，该硅片旋转装置还包括第一安装板和第二安装板，第二安装板通过第一组滑块滑动安装在第一安装板上下设置的导轨上，升降驱动部驱动第二安装板沿着导轨进行上下滑动；旋转驱动部滑动安装在安装架上，且通过第一滑块安装在第二安装板的横向滑轨上。

通过将第二安装板上下滑动安装在第一安装板上且旋转驱动部上下滑动安装在安装架上，使得升降驱动部可以带动旋转平台在第二安装板的支撑下进行升降运动。

可选的，上述旋转驱动部包括旋转驱动件、第一安装侧板、第二安装侧板和顶板，第一安装侧板和第二安装侧板相对设置，旋转驱动件固定安装在顶板上且位于顶板下方，旋转驱动件的驱动端连接旋转平台；第一安装侧板通过第二滑块安装在安装架第一侧板的第一竖向滑轨上，第二安装侧板通过第三滑块安装在安装架第二侧板的第二竖向滑轨上；

安装架的第三侧板的上端与顶板固定连接，第三侧板通过第一滑块安装在第二安装板的横向滑轨上。

通过设置第一安装侧板和第二安装侧板，并在两个安装侧板上设置的竖向的滑轨，从而使得在安装架上下固定的情况下，保证旋转驱动件的升降实现。

可选的，上述升降驱动部包括升降电机、偏心轮、传动块和连接块，其中：升降电机的驱动端上安装有偏心轮，偏心轮与传动块下端转动连接，传动块上端与输送连接块的第一端连接，连接块的第二端与输送第二安装板固定连接，升降电机通过输送偏心轮带动第二安装板以及安装在第二安装板上的旋转驱动部进行升降。

通过上述设计，使得升降驱动部从竖向直接驱动改为了横向转为竖向驱动的方式，减少了竖向空间结构的占用。

可选的，上述旋转平台的形状为圆形。

通过将旋转平台的形状设置为圆形，可以使得旋转平台在旋转时，避免对传输带的干扰。

第二方面，还提供了一种硅片分选机，包括输送硅片的输送装置以及第一方面和第一方面各种可选实现方式中提供的硅片旋转装置。

通过设置旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，在需要对输送装置输送的硅片进行旋转时，利用旋转驱动部提升旋转平台以将硅片从输送装置上分离，利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅能避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。

可选的，上述输送装置至少包括并行同步输送的两条输送带，硅片旋转装置位于两条输送带之间的下方。

通过将硅片旋转装置设置于两条输送带之间的下方位置，以保证在不对硅片进行旋转时避免对硅片或输送带造成影响。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

图1是本申请部分实施例中提供的硅片分选机的结构示意图；

图2是本申请部分实施例中提供的硅片旋转装置的结构示意图；

图3是本申请一个实施例中提供的第一安装板的正面示意图；

图4是本申请一个实施例中提供的第二安装板的正面示意图；

图5A是本申请一个实施例中提供的旋转驱动部的正面安装示意图；

图5B是图5A提供的旋转驱动部的背面安装示意图；

图6是本申请一个实施例中提供的升降驱动部的安装示意图。

其中，附图标记如下：

10、输送装置；11、输送带；20、硅片旋转装置；21、旋转驱动部；211、旋转驱动件；212、第一安装侧板；213、第二安装侧板；214、顶板；215、第二滑块；216、第三滑块；22、升降驱动部；221、升降电机；222、偏心轮；223、传动块；224、连接块；23、旋转平台；24、安装架；241、第一侧板；242、第二侧板；243、第三侧板；25、水平驱动件；26、丝杠；27、固定安装板；28、第一安装板；281、第一组滑块；282、导轨；29、第二安装板；291、第一滑块；292、横向滑轨。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本实用新型相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本实用新型的一些方面相一致的装置和方法的例子。

硅片在分选的过程中，通常需要将硅片旋转至预定方向，以便于后续的检测和筛选。目前常采用人工手动的方式旋转硅片，但硅片比较脆弱，人工手动旋转的方式容易导致硅片碎裂。

针对于此，本申请提供了一种硅片分选机，该硅片分选机中增加了一种硅片旋转装置，该硅片旋转装置可以将硅片旋转至预定方向，避免了对硅片的人工手动旋转。下面结合图1至图6对硅片分选机以及硅片旋转装置进行举例说明。

图1是本申请部分实施例中提供的硅片分选机的结构示意图，该硅片分选机包括输送装置10和硅片旋转装置20。

这里的输送装置10用于输送硅片，硅片旋转装置20用于旋转输送装置10上输送的硅片，比如，相对于输送方向，硅片旋转装置20将输送的硅片旋转90°、180°或270°。

在一种可能的实现方式中，输送装置10至少可以包括并行同步输送的两条输送带11，硅片旋转装置20位于两条输送带11之间的下方，这样，硅片旋转装置20在不对硅片进行旋转时避免对硅片或输送带11造成影响。

很显然，为了实现驱动，输送装置10还包括用于驱动两条输送带11输送的驱动部，比如驱动电机和驱动轮等，由于利用驱动部驱动两条输送带11同步输送的机械结构属于本领域技术人员都能够实现的技术，本实施例中就不再赘述。

另外，硅片分选机除了包含上述输送装置10和硅片旋转装置20以外，还可以包括对硅片进行检测的至少一个检测装置，比如对硅片的外观污垢进行检测的检测装置，比如对硅片的隐裂进行检测的检测装置，比如对硅片的外观破损进行检测的检测装置等。

为了实现硅片的自动分选，硅片分选机还可以包括控制模块，控制模块可以通过PLC编程实现，以控制硅片分选机各器件的运作，且还可以实现对检测装置拍摄到的图片进行分析处理。

为了便于操作人员的操作，硅片分选机还可以包括显示屏幕，该显示屏幕可以显示各硅片的检测结果或分选结果。

进一步的，显示屏幕还可以为触摸屏幕，该触摸屏幕上可以通过控制模块显示一些操作控件，经操作人员对操作控件的触屏操作，产生相应的操作指令，比如开机、暂停、关机、开启某检测装置的检测功能、关闭某检测装置的检测功能、开启硅片旋转装置20的旋转功能、关闭硅片旋转装置20的旋转功能等。

可选的，硅片分选机还可以包括与显示屏幕和控制模块配合使用的物理操作按键，由操作人员进行物理操控，产生相应的操作指令。

为了能够实现对输送装置10所输送的硅片的旋转，硅片旋转装置20的结构请参见图2所示，该硅片旋转装置20至少包括旋转驱动部21、升降驱动部22和旋转平台23，其中：旋转平台23上设置有用于吸附硅片的吸附孔；旋转驱动部21与旋转平台23连接，旋转驱动部21带动旋转平台23在水平方向上旋转；升降驱动部22同时驱动旋转驱动部21和旋转平台23进行升降运动。

通过设置旋转驱动部21、升降驱动部22和旋转平台23，在需要对传输的硅片进行旋转时，首先利用旋转驱动部21提升旋转平台23以顶起硅片，然后利用旋转驱动部21驱动旋转平台23旋转以带动硅片旋转，达到了不仅避免旋转平台23对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。

在一种可能的实现方式中，硅片旋转装置20还设置有与吸附孔配套使用的真空抽取装置，以实现吸附孔的吸附功能。

可选的，上述旋转平台23的形状可以为圆形、椭圆形、多边形等。为了使旋转平台23在旋转时，避免对传输带的干扰，本申请实施例中将旋转平台23的形状设置为圆形。

在实际实现时，为了避免旋转平台23在顶升硅片时对硅片的影响，旋转平台23表面可以设置为缓冲材质或弹性材质，比如橡胶或软塑料等，本申请中不对旋转平台23表面的材质进行限定。

为了能够支撑住旋转平台23，该硅片旋转装置20还可以包括安装架24，旋转驱动部21滑动安装在安装架24上，升降驱动部22带动旋转驱动部21沿着安装架24上设置的第一组导轨进行上下滑动。这样，通过将旋转驱动部21滑动安装在安装架24上，便于升降驱动部22带动旋转驱动部21升降，节省升降驱动的驱动力。

在一些实现应用中，待旋转的硅片可能并不位于旋转平台23的正上方，为了能够实现对硅片的旋转，可以将硅片旋转装置20设置成可在水平方向上移动，或者设置成可以在硅片的输送方向上移动。

在一种可能的实现方式中，该硅片旋转装置20还可以包括水平驱动件25和横向设置在水平驱动件25的驱动端的滑动部，安装架24下部滑动安装在滑动部上，水平驱动件25带动安装架24在滑动部上滑动。这样，通过设置水平驱动件25，利用水平驱动件25横向驱动安装架24上的旋转平台23，可以保证硅片不位于旋转平台23初始位置的正上方时，也可以通过水平驱动件25将旋转平台23横向移动至硅片的正下方以承接硅片；另外通过设置横向的滑动部，并将安装架24安装在滑动部上，在利用水平驱动件25横向驱动安装架24时，节省了水平驱动件25的驱动力。

举例来讲，上述滑动部可以为丝杠26，此时，为了配合丝杠26实现滑动，可以在安装架24的下部设置通孔，丝杠26穿过通孔且两端分别固定在与水平驱动件25的驱动端和固定安装板27上。也就是说，在安装架24的下部设置两个相对的通孔，丝杠26穿过两个通孔，丝杠26的一端固定在固定安装板27上，另一端固定在水平驱动件25的驱动端上。

这样，通过在安装架24的底端设置通孔，以与丝杠26配合，为水平驱动件25对安装架24的驱动提供了节省驱动力的结构设计，由于不需要配置常规的滑轨和滑块，减少了制造成本。

可选的，该硅片旋转装置20还可以包括第一安装板28和第二安装板29，第二安装板29通过第一组滑块滑动安装在第一安装板28上下设置的导轨上，升降驱动部22驱动第二安装板29沿着导轨282进行上下滑动，请参见图3所示，其是本申请一个实施例中提供的第一安装板的正面示意图，该第一安装板28上竖向设置有两条导轨，即导轨282，每个导轨上滑动安装有滑块，即第一组滑块281。

对应的，旋转驱动部21滑动安装在安装架24上，且通过第一滑块安装在第二安装板29的横向滑轨上，请参见图4所示，其是本申请一个实施例中提供的第二安装板的正面示意图，该第二安装板29上横向设置有一条滑轨，即横向滑轨292，该第一横向滑轨292上滑动安装有一个滑块，即第一滑块291，旋转驱动部21通过第一滑块291安装在第二安装板29的横向滑轨292上。

本申请实施例通过将第二安装板29上下滑动安装在第一安装板28上且旋转驱动部21上下滑动安装在安装架24上，使得升降驱动部22可以带动旋转平台23在第二安装板29的支撑下进行升降运动。

请参见图5A和图5B所示，其中，图5A是本申请一个实施例中提供的旋转驱动部的正面安装示意图，图5B是图5A提供的旋转驱动部的背面安装示意图，上述旋转驱动部21包括旋转驱动件211、第一安装侧板212、第二安装侧板213和顶板214，第一安装侧板212和第二安装侧板213相对设置，旋转驱动件211固定安装在顶板214上且位于顶板214下方，旋转驱动件211的驱动端连接旋转平台23；第一安装侧板212通过第二滑块215安装在安装架24第一侧板241的第一竖向滑轨上，第二安装侧板213通过第三滑块216安装在安装架24第二侧板242的第二竖向滑轨上。这里第一竖向滑轨和第二竖向滑轨平行设置，且一般来讲，第二滑块215和第三滑块216的高度保持在同一水平线上。

这里，旋转驱动件211可以为旋转电机或其他能够实现水平方向上旋转的驱动。

这里安装架24的第一侧板241和第二侧板242为相对竖向设置的两个侧板，为了实现安装架24的横向移动，安装架24还包括一个与第一侧板241和第二侧板242分别相邻的第三侧板243，安装架24的第三侧板243的上端与顶板214固定连接，安装架24的第三侧板243通过第一滑块291安装在第二安装板29上的横向导轨上。

通过设置第一安装侧板212和第二安装侧板213，并在两个安装侧板上设置的竖向的滑轨，从而使得在安装架24上下固定的情况下，保证旋转驱动件211的升降实现。

在实际实现时，安装架24的第一侧板241、第三侧板243和第二侧板242均位于顶板214的下方，且通常是依序固定安装在顶板214的三个侧边上的。

在一种可能的实现中，请参见图6所示，其是本申请一个实施例中提供的升降驱动部22的安装示意图，上述提及的升降驱动部22可以包括升降电机221、偏心轮222、传动块223和连接块224，其中：升降电机221的驱动端上安装有偏心轮222，偏心轮222与传动块223下端转动连接，传动块223上端与输送连接块224的第一端连接，连接块224的第二端与输送第二安装板29固定连接，升降电机221通过输送偏心轮222带动第二安装板29以及安装在第二安装板29上的旋转驱动部21进行升降。

本申请实施例中通过上述设计，使得升降驱动部22从竖向直接驱动改为了横向转为竖向驱动的方式，减少了竖向空间结构的占用。

综上所述，本申请提供的硅片分选机，通过设置旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，在需要对输送装置输送的硅片进行旋转时，利用旋转驱动部提升旋转平台以将硅片从输送装置上分离，利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅能避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。另外，通过将硅片旋转装置设置于两条输送带之间的下方位置，以保证在不对硅片进行旋转时避免对硅片或输送带造成影响。

本申请提供的硅片旋转装置，通过设置旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，在需要对传输的硅片进行旋转时，首先利用旋转驱动部提升旋转平台以顶起硅片，然后利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。

另外，硅片旋转装置通过设置水平驱动件，利用水平驱动件横向驱动安装架上的旋转平台，可以保证硅片不位于旋转平台初始位置的正上方时，也可以通过水平驱动件将旋转平台横向移动至硅片的正下方以承接硅片；另外通过设置横向的滑动部，并将安装架安装在滑动部上，在利用水平驱动件横向驱动安装架时，节省了水平驱动件的驱动力。

需要补充说明的是，本申请实施例中提到的“第一”、“第二”、“第三”等描述词汇，仅是为了便于理解以表明指代的不同对象或部件，并不用于限制对象或部件的顺序。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里实用新型的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型未实用新型的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种硅片旋转装置，其特征在于，所述硅片旋转装置包括：旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，其中：

所述旋转平台上设置有用于吸附硅片的吸附孔；

所述旋转驱动部与所述旋转平台连接，所述旋转驱动部带动所述旋转平台在水平方向上旋转；

所述升降驱动部同时驱动所述旋转驱动部和所述旋转平台进行升降运动。

2.根据权利要求1所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述硅片旋转装置还包括安装架，所述旋转驱动部滑动安装在所述安装架上，所述升降驱动部带动所述旋转驱动部沿着所述安装架上设置的第一组导轨进行上下滑动。

3.根据权利要求2所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述硅片旋转装置还包括水平驱动件和横向设置在所述水平驱动件的驱动端的滑动部，所述安装架下部滑动安装在所述滑动部上，所述水平驱动件带动所述安装架在所述滑动部上滑动。

4.根据权利要求3所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述滑动部为丝杠，所述安装架的下部设置有通孔，所述丝杠穿过所述通孔且两端分别固定在与所述水平驱动件的驱动端和固定安装板上。

5.根据权利要求2所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述硅片旋转装置还包括第一安装板和第二安装板，所述第二安装板通过第一组滑块滑动安装在所述第一安装板上下设置的导轨上，所述升降驱动部驱动所述第二安装板沿着所述导轨进行上下滑动；

所述旋转驱动部滑动安装在所述安装架上，且通过第一滑块安装在所述第二安装板的横向滑轨上。

6.根据权利要求5所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述旋转驱动部包括旋转驱动件、第一安装侧板、第二安装侧板和顶板，所述第一安装侧板和第二安装侧板相对设置，所述旋转驱动件固定安装在所述顶板上且位于所述顶板下方，所述旋转驱动件的驱动端连接所述旋转平台；

所述第一安装侧板通过第二滑块安装在所述安装架第一侧板的第一竖向滑轨上，所述第二安装侧板通过第三滑块安装在所述安装架第二侧板的第二竖向滑轨上；

所述安装架的第三侧板的上端与所述顶板固定连接，所述第三侧板通过所述第一滑块安装在所述第二安装板的横向滑轨上。

7.根据权利要求5所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述升降驱动部包括升降电机、偏心轮、传动块和连接块，其中：

所述升降电机的驱动端上安装有所述偏心轮，所述偏心轮与所述传动块下端转动连接，所述传动块上端与输送连接块的第一端连接，所述连接块的第二端与输送第二安装板固定连接，所述升降电机通过输送偏心轮带动所述第二安装板以及安装在所述第二安装板上的所述旋转驱动部进行升降。

8.根据权利要求1至7中任一所述的硅片旋转装置，其特征在于，所述旋转平台的形状为圆形。

9.一种硅片分选机，其特征在于，所述硅片分选机包括输送硅片的输送装置以及如权利要求1至8中任一所述的硅片旋转装置。

10.根据权利要求9所述的硅片分选机，其特征在于，所述输送装置至少包括并行同步输送的两条输送带，所述硅片旋转装置位于所述两条输送带之间的下方。