CN208237476U - 一种高纯气体充装系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高纯气体充装系统，包括底座、间歇转动的转盘、用于竖立装入钢瓶的运筒用于对运送筒的行进轨迹进行导向的限位导槽、用于驱动转盘转动的驱动装置、用于对钢瓶充气的充气装置，转盘可回转的设置在底座上，运送筒底部设置有万向滚轮，限位导槽包括一段与转盘同心的圆弧导槽，该圆弧导槽位于转盘下方，该圆弧导槽设有供钢瓶通过的入口和出口，充气工位设置在该圆弧导槽的中间位置，转盘上圆周均布有若干用于推动入口处钢瓶沿圆弧导槽行进的推动部，圆弧导槽底部倾斜，且出口位置高于入口位置。本实用新型的高纯气体充装系统降低了钢瓶运送所消耗的能源。

Description

一种高纯气体充装系统

技术领域

本实用新型涉及一种高纯气体充装系统。

背景技术

高纯气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，高纯气体被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。

高纯气体充装系统通常包括充装转盘、充气装置、用于将钢瓶送至充装转盘的输入传送带、用于将充装完毕的钢瓶送离充装转盘的输出传送带和用于带动充装盘转动的驱动装置，现有的高纯气体充装系统中，充装转盘上的钢瓶全部由充装转盘承载(例如公开号为 CN 103867886A的专利)，驱动装置驱动充装转盘转动时需要提供较大的动力，能耗大，另外输入传送带和输出传送带均需要额外提供动力，也会消耗能源。

实用新型内容

针对现有技术中所存在的不足，本实用新型的主要目的在于优化现有高纯气体充装系统，以降低钢瓶运送所消耗的能源。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：

一种高纯气体充装系统，包括底座、间歇转动的转盘、用于驱动转盘转动的驱动装置及用于对钢瓶充气的充气装置，所述转盘可回转的设置在底座上，所述钢瓶在转盘的带动下进入充气装置对应的充气工位，并在充气完成后离开充气工位，其特征在于：

还包括用于竖立装入钢瓶的运送筒和用于对运送筒的行进轨迹进行导向的限位导槽，所述运送筒底部设置有至少三个万向滚轮，所述限位导槽包括一段与转盘同心的圆弧导槽，该圆弧导槽位于转盘下方，该圆弧导槽设有供钢瓶通过的入口和出口，所述充气工位设置在该圆弧导槽的中间位置，所述转盘上圆周均布有若干用于推动入口处钢瓶沿圆弧导槽行进的推动部，所述圆弧导槽底部倾斜，且出口位置高于入口位置。

进一步，所述限位导槽还包括与入口连接的输入导槽和与出口连接输出导槽，所述输入导槽和输出导槽的底面均倾斜设置，使得待充的钢瓶在自重作用下随运送筒行至入口，且充装完成的钢瓶在自重作用下随运送筒驶离出口进入下一工序。

进一步，所述限位导槽至少为两个，所述充气装置和限位导槽的数量相等。

进一步，所述输入导槽和输出导槽底部与水平面的倾角大于1°且小于2°。

进一步，所述圆弧导槽设置在底座上，所述底座上安装有第一步进电机，所述步进电机连接有用于将待充装的钢瓶固定在充气工位的挡臂。

进一步，该高纯气体充装系统还包括用于安装驱动装置的安装架，该驱动装置包括安装在安装架上的第二电机、随着第二电机转动的驱动盘、固定安装在驱动盘上的转臂及固定安装在转臂上的驱动销，所述转盘上圆周均布有若干径向槽，径向槽和推动部的数量相等，使得驱动销能够进入该径向槽中拨动转盘间歇转动。

进一步，所述推动部呈钩状，该推动部勾住钢瓶时，推动部的内壁与钢瓶外壁贴合。

相比于现有技术，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型的高纯气体充装系统中，钢瓶相对转盘独立设置，且钢瓶通过带有滚轮的运送筒运送，也就是转盘不再承载钢瓶，这就使得驱动装置在驱动转盘转动过程中，转盘转动所需的力矩大幅降低，从而大幅降低了驱动装置驱动转盘转动所需的能耗，达到了节约能源的目的。

附图说明

图1为本实用新型的三维结构示意图；

图2为本实用新型拆除驱动装置后另一个视角的三维结构示意图；

图3为钢瓶和运送筒的装配示意图；

图4为驱动装置驱动转盘间歇转动的原理图。

其中，充气工位A、底座1、转盘2、运送筒3、驱动装置4、钢瓶5、限位导槽6、第一步进电机7、挡臂8、推动部21、径向槽22、万向滚轮31、第二电机41、驱动盘42、转臂43、驱动销44、圆弧导槽61、输入导槽62、输出导槽63、入口611、出口612。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

参见图1、图2，本实施例的高纯气体充装系统，包括底座1、用于竖立装入钢瓶5的运送筒3、间歇转动的转盘2、用于驱动转盘2转动的驱动装置4、用于对钢瓶5充气的充气装置(图未示)及用于对运送筒3的行进轨迹进行导向的限位导槽6，该转盘2可回转的设置在底座1上，钢瓶5在转盘2的带动下进入充气装置对应的充气工位A，并在充气完成后离开充气工位A，运送筒3底部设置有三个万向滚轮31(参见图3)，所述限位导槽 6包括一段与转盘2同心的圆弧导槽61，该圆弧导槽61位于转盘2下方，该圆弧导槽61 设有供钢瓶5通过的入口611和出口612，所述充气工位A设置在该圆弧导槽61的中间位置，所述转盘2上圆周均布有若干用于推动入口611处钢瓶5沿圆弧导槽61行进的推动部 21，所述圆弧导槽61底部倾斜，且出口612位置高于入口611位置。本实施例中，圆弧导槽61设置在底座1上，在具体实施过程中，该圆弧导槽61也可额外独立设置，但设置在底座1上能够保证圆弧导槽61与转盘2的同心度精度更高。

具体的，参见图1、图4，本实施例的充装系统中还设置有用于安装驱动装置4的安装架(图未示)，该驱动装置4包括安装在安装架上的第二电机41、随着第二电机41转动的驱动盘42、固定安装在驱动盘42上的转臂43及固定安装在转臂43上的驱动销44，所述转盘2上圆周均布有若干径向槽22，径向槽22和推动部21的数量相等，使得驱动销 44能够进入该径向槽22中拨动转盘2间歇转动，这种驱动装置4使得转盘2的间歇转动角度和间隔时间更便于控制。

优选的，该圆弧导槽61底面与水平面的倾角小于2°，能够使得推动钢瓶5所需的力较小，进一步降低能耗。

工作时，第二电机41带动转臂43转动，驱动销44进入其中一个径向槽，使得转盘2开始转动，转盘2上的推动部21推着钢瓶5沿着圆弧导槽61行进，当行进至充气工位时，驱动销44从该径向槽22中退出，转盘2停止转动，由于圆弧导槽61底面倾斜，钢瓶5 会停止行进，并靠在推动部21上，充气装置开始对钢瓶5进行充气；待充气完成后，随转臂43转动的驱动销44进入另一个径向槽，再次驱动转盘2转动，使得另一个推动部继续推动下一个待充气的钢瓶5进入圆弧导槽61，而已经充气完成的钢瓶5再次在推动部 21的作用下进行至圆弧导槽61的出口612。

本实施例的钢瓶相对转盘独立设置，且钢瓶通过带有滚轮的运送筒运送，也就是转盘不再承载钢瓶，这就使得驱动装置在驱动转盘转动过程中，转盘转动所需的力矩大幅降低，从而大幅降低了驱动装置驱动转盘转动所需的能耗，达到了节约能源的目的

在一个优化的实施例中，所述推动部21呈钩状，该推动部21勾住钢瓶5时，推动部的内壁与钢瓶外壁贴合，可使得该钢瓶5在运送过程中相对转盘2不易发生相对位移，运送更为平稳、可靠。

在一个优化的实施例中，该限位导槽6还包括与入口611连接的输入导槽62和与出口 612连接输出导槽63，所述输入导槽62和输出导槽63的底面均倾斜设置，使得待充的钢瓶5在自重作用下随运送筒3行至入口611，且充装完成的钢瓶5在自重作用下随运送筒3 驶离出口612进入下一工序，使得钢瓶5在运入入口611和离开出口612的过程中均无需额外提供动力，大幅降低了能源消耗。最好是，输入导槽62和输出导槽63底部与水平面的倾角大于1°且小于2°，能够将两个钢瓶5接触后产生的冲击力控制在一个较小的值，保证运送的可靠性。在具体实施过程中个，还可在运送筒3外壁包裹软泡沫层，运送有钢瓶5的两个运送筒3接触时，冲击力能够被有效消除，能够提高运送的安全性和可靠性。

在一个优化的实施例中，该限位导槽6为两个，充气装置也对应设置为两个，每次能够对两个充气装置进行充装，提高了充装效率。在具体实施过程中，限位导槽只要至少为两个，而充气装置和限位导槽的数量相等即可，数量越多，充装效率越高。

在一个优化的实施例中，所述底座1上安装有第一步进电机7，所述步进电机连接有用于将待充装的钢瓶5固定在充气工位A的挡臂8。当待充装的钢瓶5运送至充气工位时A，转臂43在第一步进电机7的驱动下转动，挡住钢瓶5，防止其向出口612所在方向行驶，当充装完成后，该第一步进电机7反向转动一定角度，充装完成的钢瓶5在推动部21 的作用下向着出口612行驶。在具体实施过程中，第一步进电机7的第二电机41均通过控制器进行控制，其控制技术为现有技术，此处不做叙述。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (7)

1.一种高纯气体充装系统，包括底座、间歇转动的转盘、用于驱动转盘转动的驱动装置及用于对钢瓶充气的充气装置，所述转盘可回转的设置在底座上，所述钢瓶在转盘的带动下进入充气装置对应的充气工位，并在充气完成后离开充气工位，其特征在于：

还包括用于竖立装入钢瓶的运送筒和用于对运送筒的行进轨迹进行导向的限位导槽，所述运送筒底部设置有至少三个万向滚轮，所述限位导槽包括一段与转盘同心的圆弧导槽，该圆弧导槽位于转盘下方，该圆弧导槽设有供钢瓶通过的入口和出口，所述充气工位设置在该圆弧导槽的中间位置，所述转盘上圆周均布有若干用于推动入口处钢瓶沿圆弧导槽行进的推动部，所述圆弧导槽底部倾斜，且出口位置高于入口位置。

2.根据权利要求1所述的高纯气体充装系统，其特征在于：所述限位导槽还包括与入口连接的输入导槽和与出口连接输出导槽，所述输入导槽和输出导槽的底面均倾斜设置，使得待充的钢瓶在自重作用下随运送筒行至入口，且充装完成的钢瓶在自重作用下随运送筒驶离出口进入下一工序。

3.根据权利要求1或2所述的高纯气体充装系统，其特征在于：所述限位导槽至少为两个，所述充气装置和限位导槽的数量相等。

4.根据权利要求2所述的高纯气体充装系统，其特征在于：所述输入导槽和输出导槽底部与水平面的倾角大于1°且小于2°。

5.根据权利要求4所述的高纯气体充装系统，其特征在于：所述圆弧导槽设置在底座上，所述底座上安装有第一步进电机，所述步进电机连接有用于将待充装的钢瓶固定在充气工位的挡臂。

6.根据权利要求1所述的高纯气体充装系统，其特征在于：还包括用于安装驱动装置的安装架，该驱动装置包括安装在安装架上的第二电机、随着第二电机转动的驱动盘、固定安装在驱动盘上的转臂及固定安装在转臂上的驱动销，所述转盘上圆周均布有若干径向槽，径向槽和推动部的数量相等，使得驱动销能够进入该径向槽中拨动转盘间歇转动。

7.根据权利要求1所述的高纯气体充装系统，其特征在于：所述推动部呈钩状，该推动部勾住钢瓶时，推动部的内壁与钢瓶外壁贴合。