CN208179994U - 一种多线切割机的收放线机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种多线切割机的收放线机构,属于机械技术领域。它解决了现有的多线切割机使用不方便的问题。本多线切割机的收放线机构,包括基座,基座上设有收放线轴承座和电机,电机与收放线轴承座连接,收放线轴承座的一端设有收放线筒,收放线筒内设有收放线轴,收放线轴一端的端部设置在收放线轴承座内,且该端与收放线轴承座连接,收放线轴承座内开设有冷却水道,冷却水道沿着收放线轴承座的长度方向分布,收放线轴承座与电机之间设有后压盖,后压盖上开设有进水口和出水口,进水口和出水口均与冷却水道连通,收放线轴承与收放线筒之间设有前压盖。本多线切割机的收放线机构在收放线轴承座内设置冷却装置,使得多线切割机使用方便。
Description
技术领域
本实用新型属于机械技术领域,涉及一种多线切割机的收放线机构。
背景技术
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法,现有的数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。
在多线切割机的收放线机构的工作过程中,收放线轴承座能带动收放线筒内的收放线轴进行转动并实行收放,实现将切割线收入收放线筒内或者移出收放线筒内,在此过程中,会产生较高的热量,并使得收放线轴因发热而膨胀,致使更换线筒困难,但是现有的收放线轴承座并没有冷却装置对其进行冷却处理,造成了在使用的过程中,多线切割机的使用不方便的问题。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种多线切割机的收放线机构,本实用新型所要解决的技术问题是如何在收放线轴承座内设置冷却装置,使得多线切割机使用方便。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:
一种多线切割机的收放线机构,包括基座,所述基座上设有收放线轴承座和电机,所述电机与收放线轴承座连接,所述收放线轴承座的一端设有收放线筒,所述收放线筒内设有收放线轴,所述收放线轴一端的端部设置在收放线轴承座内,且该端与收放线轴承座连接,其特征在于,所述收放线轴承座内开设有冷却水道,所述冷却水道沿着收放线轴承座的长度方向分布,所述收放线轴承座与电机之间设有后压盖,所述后压盖上开设有进水口和出水口,所述进水口和出水口均与冷却水道连通,所述收放线轴承与收放线筒之间设有前压盖,所述收放线轴承座与前压盖之间设有密封垫圈一。
工作原理:通过在收放线轴承座内设有能纵向贯穿收放线轴承座的冷却水道,并在收放线轴承座的两端分别设有前压盖和后压盖,并在后端盖上开设有进水口和出水口,此时冷却水从进水口进入到冷却水道内,流进冷却水道从出水口流出,实现了对收放线筒内的收放线轴的冷却,而密封垫圈一的设置,防止了冷却水从收放线轴承座与前压盖之间流出,保证了线锯收放机构在使用的过程中,结构更加的稳定,在收放线轴承座内设置冷却水道,使得多线切割机使用方便。
在上述的多线切割机的收放线机构中,所述冷却水道呈环形,所述收放线轴承座与后压盖之间设有密封垫圈二,所述收放线轴承座与后压盖通过紧固件连接。
该结构的设置,防止了冷却水从收放线轴承座与后压盖之间流出,提高了整个收放线机构的密封性,保证了线锯收放机构在使用的过程中,结构更加的稳定。
在上述的多线切割机的收放线机构中,所述收放线筒的端部设有连接块,所述连接块与前压盖相抵靠,所述前压盖内设有密封唇,所述前压盖上设有可供压缩空气进入的进风口,所述前压盖与连接块之间形成间隙,所述进风口与间隙相连通。
该结构的设置,压缩空气从前压盖进入前压盖与连接块之间的间隙内,并从间隙中吹出,采用空气压力的方式形成一道密封环,防止机器运行中的切割液进入收放线轴承座,损坏收放线轴承座内的轴承,提高了收放线机构的使用寿命。
在上述的多线切割机的收放线机构中,所述密封唇呈环形,所述密封唇上开设有开口,所述开口与间隙相连通。
该结构的设置,进一步的提升了压缩空气的密封效果,提高了收放线机构的稳定性。
在上述的多线切割机的收放线机构中,所述收放线轴承座内设有收放线轴承外垫圈和收放线轴承内垫圈,所述收放线轴承外垫圈和收放线轴承内垫圈的两端均设有轴承,且收放线轴承外垫圈和收放线轴承内垫圈均与轴承相抵靠。
该结构的设置,减少了收放线轴与收放线轴承座内侧壁之间的摩擦力,进一步的使得收放线机构的使用更加的方便。
与现有技术相比,本多线切割机的收放线机构具有的优点:在收放线轴承座内设置冷却水道,使得多线切割机使用方便,而密封垫圈一的设置,防止了冷却水从收放线轴承座与前压盖之间流出,保证了线锯收放机构在使用的过程中,结构更加的稳定。
附图说明
图1是本多线切割机的收放线机构的部分剖视图。
图2是图1中A处的局部放大图。
图中,1、基座;2、收放线轴承座;21、冷却水道;22、收放线轴承外垫圈;23、收放线轴承内垫圈;3、电机;4、收放线筒;41、收放线轴;42、连接块;5、后压盖;51、进水口;52、密封垫圈二;6、前压盖;61、密封垫圈一;62、密封唇;63、进风口;64、间隙;65、开口;7、紧固件;8、轴承。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。
如图1所示,本多线切割机的收放线机构,包括基座1,基座1上设有收放线轴承座2和电机3,电机3与收放线轴承座2连接,收放线轴承座2的一端设有收放线筒4,收放线筒4内设有收放线轴41,收放线轴41一端的端部设置在收放线轴承座2内,且该端与收放线轴承座2连接。
具体的说,如图1和图2所示,收放线轴承座2内开设有冷却水道21,冷却水道21沿着收放线轴承座2的长度方向分布,收放线轴承座2与电机3之间设有后压盖5,后压盖5上开设有进水口51和出水口,进水口51和出水口均与冷却水道21连通,收放线轴41承与收放线筒4之间设有前压盖6,收放线轴承座2与前压盖6之间设有密封垫圈一61。
工作原理:通过在收放线轴承座2内设有能纵向贯穿收放线轴承座2的冷却水道21,并在收放线轴承座2的两端分别设有前压盖6和后压盖5,并在后端盖上开设有进水口51和出水口,此时冷却水从进水口51进入到冷却水道21内,流进冷却水道21从出水口流出,实现了对收放线筒4内的收放线轴41的冷却,而密封垫圈一61的设置,防止了冷却水从收放线轴承座2与前压盖6之间流出,保证了线锯收放机构在使用的过程中,结构更加的稳定,在收放线轴承座2内设置冷却水道21,使得多线切割机使用方便。
如图1和图2所示,冷却水道21呈环形,收放线轴承座2与后压盖5之间设有密封垫圈二52,收放线轴承座2与后压盖5通过紧固件7连接。
该结构的设置,防止了冷却水从收放线轴承座2与后压盖5之间流出,提高了整个收放线机构的密封性,保证了线锯收放机构在使用的过程中,结构更加的稳定。
如图1和图2所示,收放线筒4的端部设有连接块42,连接块42与前压盖6相抵靠,前压盖6内设有密封唇62,前压盖6上设有可供压缩空气进入的进风口63,前压盖6与连接块42之间形成间隙64,进风口63与间隙64相连通。
该结构的设置,压缩空气从前压盖6进入前压盖6与连接块42之间的间隙64内,并从间隙64中吹出,采用空气压力的方式形成一道密封环,防止机器运行中的切割液进入收放线轴承座2,损坏收放线轴承座2内的轴承,提高了收放线机构的使用寿命。
如图1和图2所示,密封唇62呈环形,密封唇62上开设有开口65,开口65与间隙64相连通。
该结构的设置,进一步的提升了压缩空气的密封效果,提高了收放线机构的稳定性。
如图1和图2所示,收放线轴承座2内设有收放线轴承外垫圈22和收放线轴承内垫圈23,收放线轴承外垫圈22和收放线轴承内垫圈23的两端均设有轴承8,且收放线轴承外垫圈22和收放线轴承内垫圈23均与轴承8相抵靠。
该结构的设置,减少了收放线轴41与收放线轴承座2内侧壁之间的摩擦力,进一步的使得收放线机构的使用更加的方便。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (5)
1.一种多线切割机的收放线机构,包括基座(1),所述基座(1)上设有收放线轴承座(2)和电机(3),所述电机(3)与收放线轴承座(2)连接,所述收放线轴承座(2)的一端设有收放线筒(4),所述收放线筒(4)内设有收放线轴(41),所述收放线轴(41)一端的端部设置在收放线轴承座(2)内,且该端与收放线轴承座(2)连接,其特征在于,所述收放线轴承座(2)内开设有冷却水道(21),所述冷却水道(21)沿着收放线轴承座(2)的长度方向分布,所述收放线轴承座(2)与电机(3)之间设有后压盖(5),所述后压盖(5)上开设有进水口(51)和出水口,所述进水口(51)和出水口均与冷却水道(21)连通,所述收放线轴(41)承与收放线筒(4)之间设有前压盖(6),所述收放线轴承座(2)与前压盖(6)之间设有密封垫圈一(61)。
2.根据权利要求1所述的多线切割机的收放线机构,其特征在于,所述冷却水道(21)呈环形,所述收放线轴承座(2)与后压盖(5)之间设有密封垫圈二(52),所述收放线轴承座(2)与后压盖(5)通过紧固件(7)连接。
3.根据权利要求1或2所述的多线切割机的收放线机构,其特征在于,所述收放线筒(4)的端部设有连接块(42),所述连接块(42)与前压盖(6)相抵靠,所述前压盖(6)内设有密封唇(62),所述前压盖(6)上设有可供压缩空气进入的进风口(63),所述前压盖(6)与连接块(42)之间形成间隙(64),所述进风口(63)与间隙(64)相连通。
4.根据权利要求3所述的多线切割机的收放线机构,其特征在于,所述密封唇(62)呈环形,所述密封唇(62)上开设有开口(65),所述开口(65)与间隙(64)相连通。
5.根据权利要求1或2所述的多线切割机的收放线机构,其特征在于,所述收放线轴承座(2)内设有收放线轴承外垫圈(22)和收放线轴承内垫圈(23),所述收放线轴承外垫圈(22)和收放线轴承内垫圈(23)的两端均设有轴承(8),且收放线轴承外垫圈(22)和收放线轴承内垫圈(23)均与轴承(8)相抵靠。
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CN114603731A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-10 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种多线切割机线轮 |
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CN114603731B (zh) * | 2022-03-30 | 2024-01-26 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种多线切割机线轮 |
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