CN208136328U - 一种pvd镀膜工件旋转悬挂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置。所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置包括主动力固定机构和公自转悬挂机构；所述主动力固定机构包括一固定盘、一主动力传动杆、一主动齿轮；所述公自转悬挂机构包括一活动盘、一与所述活动盘固定连接的主轴、一中心齿轮，所述主轴贯穿所述活动盘；所述活动盘上设有若干挂杆座，所述活动杆下端固定连接一从动齿轮，所述中心齿轮与每一从动齿轮啮合。所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置结构简单，只通过主动齿轮提供动力即可实现公自转效果，不但能对装夹的PVD镀膜工件进行PVD涂层处理，又能使每个工件自转，有助于使PVD镀膜工件各个部位得到镀膜，提高镀膜均匀性，提高产量。

Description

一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置

技术领域

本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置。

背景技术

PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜，而很多镀膜工件需要对多个面或多个部位进行镀膜，在靶材固定的情况下，只能使工件变化位置，才能使工件各个部位都能镀膜。

目前有些镀膜工件挂架仅有单一的公自转转轴，不仅安装工件的数量较少，工件之间遮挡较多，且背向靶源一侧的镀膜效果较差甚至无法实现镀膜，导致镀膜均匀性较差，产量较低，使得产品成本较高。

因此，为了满足市场对高质量多面镀膜工件的需求，需要开发一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，以期提高镀膜均匀性，提高产量。

实用新型内容

基于上述现有技术的缺陷与不足，本实用新型的目的在于提供一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，用于解决前述技术问题中的至少一个。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：

一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，安装于真空镀膜设备的公自转转架系统上；所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置包括主动力固定机构和公自转悬挂机构，所述主动力固定机构与所述公自转悬挂机构为可拆卸传动连接；

所述主动力固定机构包括一与公自

转转架系统固定连接的固定盘、一主动力传动杆、一主动齿轮；所述固定盘设有第一轴承，所述主动力传动杆贯穿所述第一轴承；所述主动力传动杆下端与所述主动齿轮的中心固定连接，所述主动力传动杆上端设有传动凸块；

所述公自转悬挂机构包括一活动盘、一与所述活动盘固定连接的主轴、一中心齿轮，所述主轴贯穿所述活动盘；所述活动盘上沿主轴中心等距周向设有若干挂杆座；每一所述挂杆座都包括一嵌套于所述活动盘上的挂杆座轴承和一贯穿所述挂杆座轴承的活动杆，所述活动杆上端设有用于支撑挂杆的挂杆卡槽，所述活动杆下端固定连接一从动齿轮；所述中心齿轮设于所述活动盘下方；所述中心齿轮的中心嵌套有第二轴承，所述主轴贯穿所述第二轴承；所述中心齿轮与每一从动齿轮啮合；所述主轴下端设有与所述传动凸块相匹配的传动凹槽；

所述中心齿轮与所述固定盘可拆卸固定连接。

进一步的，所述固定盘上设有固定杆，所述中心齿轮下方固定连接一固定板，所述固定板设有用于穿过固定杆的固定孔。

更进一步的，所述固定孔为若干个，所述固定孔沿主轴中心等距周向布设。

进一步的，所述挂杆座为3-12个。

进一步的，所述活动盘设有用于遮挡所述中心齿轮和所述从动齿轮的壳体。

进一步的，所述主轴上端设有用于固定挂杆的挂杆支板。

本实用新型相对于现有技术具有的优点及效果：

(1)所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置结构简单，只通过主动齿轮提供动力即可实现所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置的公自转效果，可悬挂较多PVD镀膜工件，不但能对装夹的PVD镀膜工件进行PVD涂层处理，又能使每个工件自转，有助于使PVD镀膜工件各个部位得到镀膜，提高镀膜均匀性，提高产量；

(2)所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置的主动力固定机构和公自转悬挂机构为可拆卸连接，从而方便取下公自转悬挂机构放入不同的真空镀膜设备中；

(3)所述中心齿轮与所述固定盘通过固定杆和固定板配合的方式进行连接，便于分拆主动力固定机构和公自转悬挂机构；

(4)所述固定板设有多个固定孔，便于在安装时减少人工对孔的失误，大大提高安装速度；

(5)所述活动盘安装的壳体可使所述中心齿轮和从动齿轮所组成的轮系系统免受镀膜的影响，有效保护中心齿轮和从动齿轮。

附图说明

图1为本实用新型所提供的PVD镀膜工件旋转悬挂装置一种具体实施方式的结构示意图。

图2为图1所示PVD镀膜工件旋转悬挂装置在使用状态的结构示意图。

图3为图1所示PVD镀膜工件旋转悬挂装置的活动盘的俯视图。

图4为实施例中PVD镀膜工件旋转悬挂装置的主动力固定机构的结构示意图。

图5为实施例中PVD镀膜工件旋转悬挂装置的公自转悬挂机构的主体部分的爆炸图。

附图标号说明：

100-主动力固定机构；200-公自转悬挂机构；101-固定盘；102-主动力传动杆；103-主动齿轮；104-第一轴承；105-传动凸块；106-固定杆；201-活动盘；202-主轴；203-中心齿轮；204-挂杆座；205-挂杆座轴承；206-活动杆；207-挂杆卡槽；208-从动齿轮；209-第二轴承；210-传动凹槽；211-固定板；212-固定孔；213-壳体；214-挂杆支板；3-挂杆；4-PVD镀膜工件；5-辅助治具。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

结合图1至图5所示，本实施例提供了一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，安装于真空镀膜设备的公自转转架系统(图中未示出)上；如图1所示，所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置包括主动力固定机构100和公自转悬挂机构200，所述主动力固定机构100与所述公自转悬挂机构200为可拆卸传动连接。所述主动力固定机构和所述公自转悬挂机构采用可拆卸传动连接，方便取下公自转悬挂机构放入不同的真空镀膜设备中，提高生产效率。

具体的，如图1、图2及图4所示，所述主动力固定机构100包括一与公自转转架系统固定连接的固定盘101、一主动力传动杆102、一主动齿轮103；所述固定盘101设有第一轴承104，所述主动力传动杆102贯穿所述第一轴承104；所述主动力传动杆102下端与所述主动齿轮103的中心固定连接，所述主动力传动杆102上端设有传动凸块105；

如图1、图2、图3及图5所示，所述公自转悬挂机构200包括一活动盘201、一与所述活动盘201固定连接的主轴202(在图1、图2及图5中，由于主轴202在实际使用中较长，为便于识别附图，图中对主轴202进行截断示意)、一中心齿轮203，所述主轴202贯穿所述活动盘201；所述活动盘201上沿主轴202中心等距周向设有若干挂杆座204；每一所述挂杆座204都包括嵌套于所述活动盘201上的挂杆座轴承205和贯穿所述挂杆座轴承205的活动杆206，所述活动杆206上端设有用于支撑挂杆的挂杆卡槽207，所述活动杆206下端固定连接一从动齿轮208；所述中心齿轮203设于所述活动盘201下方；所述中心齿轮203的中心嵌套有第二轴承209，所述主轴203贯穿所述第二轴承209；所述中心齿轮203与每一从动齿轮208啮合；所述主轴203下端设有与所述传动凸块105相匹配的传动凹槽210。

具体的，所述挂杆座204为3-12个，挂杆座204的数量依据实际镀膜的情况而设置，当悬挂的PVD镀膜工件较大或较少时，挂杆座204的数量可对应减少或增加。

如图2所示，所述活动盘201设有用于遮挡所述中心齿轮203和所述从动齿轮208的壳体213。所述壳体213可使所述中心齿轮203和从动齿轮208所组成的轮系系统免受镀膜的影响，有效保护轮系系统。

如图2所示，PVD镀膜工件旋转悬挂装置在使用时，挂杆3插设于挂杆座204的活动杆206上，通过挂杆卡槽207进行固定。挂杆3上卡设辅助治具5，辅助治具5上装夹PVD镀膜工件4。

如图1所示，所述主轴202上端设有用于固定挂杆3的挂杆支板214。挂杆支板214设有可穿过挂杆3的穿孔，所述挂杆3通过挂杆卡槽207及挂杆支板214上穿孔的配合进行安装固定。

所述中心齿轮203与所述固定盘101可拆卸固定连接。

具体的，所述固定盘101上设有固定杆106，所述中心齿轮203下方固定连接一固定板211，所述固定板211设有用于穿过固定杆106的固定孔212。所述中心齿轮203与所述固定盘101通过固定杆106和固定板211配合的方式进行连接，便于分拆主动力固定机构和公自转悬挂机构。

优化的实施方式中，所述固定孔212可为若干个，所述固定孔沿主轴中心等距周向布设。具体的，固定孔212为8-15个。在固定板211上设置多个固定孔212，可便于在安装时减少将固定杆106对准穿过固定孔212的失误，大大提高安装速度。

所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置的动作机理为：

所述主轴202在所述主动齿轮103的作用下绕轴心转动，所述主轴202转动同时带动所述活动盘201绕中心旋转，与此同时，所述活动盘201带动所述挂杆座204绕中心呈圆周转动。所述中心齿轮203在固定盘101的固定作用下不随着主轴202转动而旋转。所述从动齿轮208在挂杆座204绕主轴202中心转动及与所述中心齿轮203啮合的双重作用下发生自转，从而带动挂杆座204发生自转，进而带动挂杆3发生自转，整体实现镀膜挂架的公自转运动。

所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置结构简单，只通过主动齿轮提供动力即可实现所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置的公自转效果，可悬挂较多PVD镀膜工件，不但能对装夹的PVD镀膜工件进行PVD涂层处理，又能使每个工件自转，有助于使PVD镀膜工件各个部位得到镀膜，提高镀膜均匀性，提高产量。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本实用新型；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而作出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本实用新型的等效实施例；同时，凡依据本实用新型的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本实用新型的技术方案的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，安装于真空镀膜设备的公自转转架系统上，其特征在于：所述PVD镀膜工件旋转悬挂装置包括主动力固定机构和公自转悬挂机构，所述主动力固定机构与所述公自转悬挂机构为可拆卸传动连接；

所述主动力固定机构包括一与公自转转架系统固定连接的固定盘、一主动力传动杆、一主动齿轮；所述固定盘设有第一轴承，所述主动力传动杆贯穿所述第一轴承；所述主动力传动杆下端与所述主动齿轮的中心固定连接，所述主动力传动杆上端设有传动凸块；

所述公自转悬挂机构包括一活动盘、一与所述活动盘固定连接的主轴、一中心齿轮，所述主轴贯穿所述活动盘；所述活动盘上沿主轴中心等距周向设有若干挂杆座；每一所述挂杆座都包括一嵌套于所述活动盘上的挂杆座轴承和一贯穿所述挂杆座轴承的活动杆，所述活动杆上端设有用于支撑挂杆的挂杆卡槽，所述活动杆下端固定连接一从动齿轮；所述中心齿轮设于所述活动盘下方；所述中心齿轮的中心嵌套有第二轴承，所述主轴贯穿所述第二轴承；所述中心齿轮与每一从动齿轮啮合；所述主轴下端设有与所述传动凸块相匹配的传动凹槽；

所述中心齿轮与所述固定盘可拆卸固定连接。

2.根据权利要求1所述的PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于：所述固定盘上设有固定杆，所述中心齿轮下方固定连接一固定板，所述固定板设有用于穿过固定杆的固定孔。

3.根据权利要求2所述的PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于：所述固定孔为若干个，所述固定孔沿主轴中心等距周向布设。

4.根据权利要求1所述的PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于：所述挂杆座为3-12个。

5.根据权利要求1所述的PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于：所述活动盘设有用于遮挡所述中心齿轮和所述从动齿轮的壳体。

6.根据权利要求1所述的PVD镀膜工件旋转悬挂装置，其特征在于：所述主轴上端设有用于固定挂杆的挂杆支板。