CN208100042U - 一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，包括机架、装夹装置和抛光装置，装夹装置和抛光装置分别安装于机架之上，抛光装置包括有一滑动底座和横向驱动机构，滑动底座滑动安装于机架，横向驱动机构传动连接滑动底座，滑动底座的上部旋转安装有一摆臂，摆臂安装有能够替换使用的抛光带，摆臂安装有抛光电机，抛光电机传动连接抛光带，以实现抛光带循环移动，使用具有横向调节功能的抛光装置，实现长度较长的旋转靶材的整管抛光；利用抛光电机驱动可替换使用的抛光带发生循环移动，以对旋转靶材的靶材表面进行均匀且精度高的抛光打磨。

Description

一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备

技术领域

本实用新型涉及旋转靶的加工设备的技术领域，尤其是涉及一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备。

背景技术

旋转靶材的靶材表面粗糙度对磁控溅射的成膜速度和均匀性影响很大，目前，一般通过工人手工抛光旋转靶材的靶材表面，存在着劳动强度大，抛光不均匀，抛光精度低，抛光效率低的问题，尤其缺乏针对长度较长的旋转靶材的精密抛光设备，因此有必要予以改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，实现全自动抛光旋转靶材，抛光精度高，生产效率高。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是，使用具有横向调节功能的抛光装置，实现长度较长的旋转靶材的整管抛光；利用抛光电机驱动可替换使用的抛光带发生循环移动，以对旋转靶材的靶材表面进行均匀且精度高的抛光打磨。

一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，包括机架、用于装夹旋转靶的装夹装置和抛光装置，装夹装置和抛光装置分别安装于机架之上，抛光装置包括有一滑动底座和横向驱动机构，滑动底座滑动安装于机架，横向驱动机构传动连接滑动底座，滑动底座的上部旋转安装有一摆臂，摆臂安装有能够替换使用的抛光带，摆臂安装有抛光电机，抛光电机传动连接抛光带，以实现抛光带循环移动。

在进一步的技术方案中，该摆臂安装有若干导轮，该抛光带紧套于各导轮的外缘，形成抛光段，该抛光电机传动连接于导轮，用于驱动导轮转动以带动抛光带循环移动。

在进一步的技术方案中，该滑动底座的上部固定有一支柱，该摆臂的中部枢接于支柱的中部或上部，摆臂的第一端固定有该抛光电机，摆臂的第二端设置有配重装置，配重装置放置有至少一配重砝码，摆臂的中部设置有一向下折角，折角处旋转安装有一该导轮，折角两端分别旋转安装有一导轮，选其折角两端导轮之间的该抛光带段为该抛光段，摆臂受配重砝码的重力作用下，其第二端发生以摆臂的枢接点为转轴的向下运动，致使抛光段下压至旋转靶的靶材的表面；抛光力度根据选用的配重砝码的重量而进行调节。

在进一步的技术方案中，该滑动底座包括抛光小车，抛光小车的底部旋转安装有若干导轮，该机架的上部设置有横向导轨，横向导轨前端和后端分别延伸至机架的两端，导轮滑动安装于横向导轨，滑动底座用于调节旋转靶的抛光位置，滑动底座具有滑动在机架的两端之间的功能，使该抛光设备能够对旋转靶进行整管打磨；

该横向驱动机构包括行走调节电机和行走变速器，行走调节电机固定于机架，行走变速器固定于横向导轨的一端，行走调节电机带传动于行走变速器，行走变速器链传动于抛光小车，用作驱动滑动底座滑动于机架的两端之间。

在进一步的技术方案中，该横向导轨的旁侧设置有该装夹装置，包括调节座和定心支架，定心支架固定于该机架的上部的一端，调节座滑动安装于该机架的上部，调节座朝向定心支架旋转安装有一装夹头，定心支架朝向调节座旋转安装有一卡盘，装夹头和卡盘之间形成一用于装夹背管的旋转靶装夹空间，调节座的外侧旋转安装有一转盘，转盘传动连接于装夹头，用于驱动装夹头朝向卡盘伸出设定距离，以实现夹紧相应放置旋转靶的背管。

在进一步的技术方案中，该定心支架设置有用于驱动旋转靶的背管旋转的驱动机构，包括旋转安装在定心支架的转轴、固定于转轴的外端的皮带轮和一驱动电机，转轴的内端部固定有该卡盘，位于转轴的外端的皮带轮传动连接于驱动电机，驱动电机固定于该机架的侧端，用于驱动背管以其中轴进行自转，其自转方向优选为于该抛光带的循环移动方向的相反反向，以提高抛光效率。

在进一步的技术方案中，该抛光设备的旁侧设置有抽风装置，用于抽走抛光设备在进行抛光工作的过程中所产生的粉末。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：全自动抛光旋转靶材，抛光精度高，生产效率高。

另外，能够对任意直径和长度的旋转靶材进行抛光，且抛光精度达到 Ra0.8以上；

再者，根据不同打磨精度的需求，能够快速更换不同的抛光带，使用便捷，快速打磨，降低生产成本。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型另一视角的结构示意图。

图中：

1-摆臂、11-抛光带、12-传动轮、13-抛光电机、14-配重砝码；

2-滑动底座、21-支柱、；

3-横向导轨、31-行走变速器、310-行走调节电机；

4-卡盘、41-定心支架、42-转轴、43-驱动电机；

5-装夹头、51-调节座、52-转盘；

6-背管。

具体实施方式

以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

实施例，见图1和图2所示，一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，包括机架、用于装夹旋转靶的装夹装置和抛光装置，装夹装置和抛光装置分别安装于机架之上，抛光装置包括有一滑动底座2和横向驱动机构，滑动底座2 滑动安装于机架，横向驱动机构传动连接滑动底座2，滑动底座2的上部旋转安装有一摆臂1，摆臂1安装有能够替换使用的抛光带11，摆臂1安装有抛光电机13，抛光电机13传动连接抛光带11，以实现抛光带11循环移动。

上述摆臂1安装有若干传动轮12，上述抛光带11紧套于各传动轮12的外缘，形成抛光段，上述抛光电机13传动连接于传动轮12，用于驱动传动轮 12转动以带动抛光带11循环移动。

上述滑动底座2的上部固定有一支柱21，上述摆臂1的中部枢接于支柱 21的上部，摆臂1的第一端固定有上述抛光电机13，摆臂1的第二端设置有配重装置，配重装置放置有一配重砝码14。

上述滑动底座2包括抛光小车，抛光小车的底部旋转安装有若干导轮，上述机架的上部设置有横向导轨3，横向导轨3前端和后端分别延伸至机架的两端，导轮滑动安装于横向导轨3；上述横向驱动机构包括行走调节电机310 和行走变速器31，行走调节电机310固定于机架，行走变速器31固定于横向导轨3的一端，行走调节电机310带传动于行走变速器31，行走变速器31链传动于抛光小车，用作驱动滑动底座2滑动于机架的两端之间。

上述横向导轨3的旁侧设置有上述装夹装置，包括调节座51和定心支架 41，定心支架41固定于上述机架的上部的一端，调节座51滑动安装于上述机架的上部，调节座51朝向定心支架41旋转安装有一装夹头5，定心支架 41朝向调节座51旋转安装有一卡盘4，装夹头5和卡盘4之间形成一用于装夹旋转靶的背管6的旋转靶装夹空间，调节座51的外侧旋转安装有一转盘52，转盘52传动连接于装夹头5，用于驱动装夹头5朝向卡盘伸出设定距离，以实现夹紧相应放置旋转靶的背管6。

上述定心支架41设置有用于驱动旋转靶的背管6旋转的驱动机构，包括旋转安装在定心支架41的转轴42、固定于转轴42的外端的皮带轮和一驱动电机43，转轴42的内端部固定有上述卡盘4，位于转轴42的外端的皮带轮传动连接于驱动电机43，驱动电机43固定于上述机架的侧端。

上述抛光设备的旁侧设置有抽风装置，用于抽走抛光设备在进行抛光工作的过程中所产生的粉末。

上述抛光设备设置有控制电路，控制电路电性连接上述抛光电机13、行走调节电机310和驱动电机43，用于控制和调节该抛光设备的抛光工作。

本实施例的操作如下：根据相应的旋转靶材6的长度，调节上述定位装夹装置的挡距(即调节上述卡盘4与装夹头5之间的挡距)，把旋转靶材6同轴放置于装夹装置的旋转靶装夹空间中；根据表面粗糙度情况，选择抛光带 11；在上述控制电路中输入上述抛光电机13的转速、上述滑动底座2的移速和旋转靶材6的转速；开始打磨工序，上述配重装置放置一设定重量的配重砝码14，使上述摆臂1的前端向下运动，致其抛光带11的抛光段抵压至旋转靶材6的外圆，并在抛光过程中保持此抵压状态；完成一周期抛光工序后，检查旋转靶材6的外圆的粗糙度是否达到技术要求以判断是否重复以上抛光工序。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (7)

1.一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，包括机架、用于装夹旋转靶的装夹装置和抛光装置，装夹装置和抛光装置分别安装于机架之上，其特征在于：抛光装置包括有一滑动底座(2)和横向驱动机构，滑动底座(2)滑动安装于机架，横向驱动机构传动连接滑动底座(2)，

滑动底座(2)的上部旋转安装有一摆臂(1)，摆臂(1)安装有能够替换使用的抛光带(11)，摆臂(1)安装有抛光电机(13)，抛光电机(13)传动连接抛光带(11)，以实现抛光带(11)循环移动。

2.根据权利要求1所述的一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，其特征在于：所述摆臂(1)安装有若干传动轮(12)，所述抛光带(11)紧套于各传动轮(12)的外缘，形成抛光段，

所述抛光电机(13)传动连接于传动轮(12)，用于驱动传动轮(12)转动以带动抛光带(11)循环移动。

3.根据权利要求2所述的一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，其特征在于：所述滑动底座(2)的上部固定有一支柱(21)，所述摆臂(1)的中部枢接于支柱(21)的中部或上部，摆臂(1)的第一端固定有所述抛光电机(13)，摆臂(1)的第二端设置有配重装置，配重装置放置有至少一配重砝码(14)。

4.根据权利要求3所述的一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，其特征在于：所述滑动底座(2)包括抛光小车，抛光小车的底部旋转安装有若干导轮，所述机架的上部设置有横向导轨(3)，横向导轨(3)前端和后端分别延伸至机架的两端，导轮滑动安装于横向导轨(3)；

所述横向驱动机构包括行走调节电机(310)和行走变速器(31)，行走调节电机(310)固定于机架，行走变速器(31)固定于横向导轨(3)的一端，行走调节电机(310)带传动于行走变速器(31)，行走变速器(31)链传动于抛光小车，用作驱动滑动底座(2)滑动于机架的两端之间。

5.根据权利要求4所述的一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，其特征在于：所述横向导轨(3)的旁侧设置有所述装夹装置，装夹装置包括调节座(51)和定心支架(41)，

定心支架(41)固定于所述机架的上部的一端，调节座(51)滑动安装于所述机架的上部，

调节座(51)朝向定心支架(41)旋转安装有一装夹头(5)，定心支架(41)朝向调节座(51)旋转安装有一卡盘(4)，装夹头(5)和卡盘(4)之间形成一旋转靶装夹空间，

调节座(51)的外侧旋转安装有一转盘(52)，转盘(52)传动连接于装夹头(5)，用于驱动装夹头(5)朝向卡盘伸出设定距离，以实现夹紧相应放置靶的背管(6)。

6.根据权利要求5所述的一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，其特征在于：所述定心支架(41)设置有用于驱动背管(6)旋转的驱动机构，包括旋转安装在定心支架(41)的转轴(42)、固定于转轴(42)的外端的皮带轮和一驱动电机(43)，转轴(42)的内端部固定有所述卡盘(4)，位于转轴(42)的外端的皮带轮传动连接于驱动电机(43)，驱动电机(43)固定于所述机架的侧端。

7.根据权利要求1至6之一所述的一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备，其特征在于：所述抛光设备的旁侧设置有抽风装置，用于抽走抛光设备在进行抛光工作的过程中所产生的粉末。