CN208055451U - 一种真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空镀膜装置，具体涉及真空镀膜技术领域，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内设有蒸发底板，蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个蒸发正电极和一个蒸发负电极通过一个蒸发舟连接，蒸发底板上设有上端开口处设有蒸发罩的围槽，围槽和蒸发罩之间形成容纳腔，蒸发正电极、蒸发负电极和蒸发舟均位于容纳腔内，位于容纳腔内的蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，第一挡板将蒸发罩分为多个蒸发区，一个蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个蒸发舟。本实用新型设有第一挡板形成蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

Description

一种真空镀膜装置

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜装置。

背景技术

近年来，随着市场经济的不断发展，真空镀膜技术和薄膜产业的发展已逐渐走向成熟，社会对功能性薄膜的需求日益增长，并得到广泛应用，像硫化锌薄膜这种重要的光电应用材料的研发和生产更为迫切。

真空镀膜技术是真空领域里面重要的一个分支，真空镀膜主要是在真空腔室里面进行，真空腔室必须是密闭环境，先对真空室进行抽真空，达到一定真空度后进行镀膜。

目前国内用于真空镀制硫化锌薄膜使用的真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内设有蒸发正电极、蒸发负电极和蒸发舟以及位于蒸发舟上方的镀膜辊，蒸发舟的两端连接蒸发正电极和蒸发负电极，蒸发舟内放置硫化锌固体，此时蒸发舟充当电阻的作用，接通蒸发电源，加热蒸发舟，使块状硫化锌迅速蒸发并沉积在包裹镀膜辊表面的镀膜基材上。但是，硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，从而造成薄膜表面硫化锌的均匀性差，影响产品品质。

专利双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备(公告号CN 202131365U)，公开了一种双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备，包括蒸发正电极、蒸发负电极、蒸发底板、蒸发围槽与两排蒸发舟，每个蒸发舟是折回式条带状蒸发舟，折回式条带状蒸发舟的前、后端设有向上翻折，每排蒸发舟无间隔排列成长通槽结构，折回式条带状蒸发舟条带两端与蒸发正电极、蒸发负电极分别连接，蒸发负电极位于两排蒸发舟之间，前排蒸发舟的前面与后排蒸发舟的后面分别排列安装蒸发正电极。放卷辊与镀膜辊之间，安装有冷却镀膜副辊。蒸发舟上方装有蒸发气体均匀分配罩。在整个镀膜幅宽面上连续盛装、蒸发硫化锌，蒸发量增大，镀膜速度成倍提高；整个幅宽面镀膜层均匀，厚度一致，不会产生光学折射和透射上的差异。但是该申请文件中的分配罩只设有密集排列的通孔，并不能减弱硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，因此并没有解决现有问题。

因此急需一种能够解决以上问题的真空镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜装置，设有所述第一挡板形成所述蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个所述蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内设有蒸发底板，所述蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个所述蒸发正电极和一个所述蒸发负电极通过一个所述蒸发舟连接，所述蒸发底板上设有上端开口的围槽，所述围槽的开口处设有蒸发罩，所述围槽和所述蒸发罩之间形成容纳腔，所述蒸发正电极、所述蒸发负电极和所述蒸发舟均位于所述容纳腔内，位于所述容纳腔内的所述蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，所述第一挡板将所述蒸发罩分为多个蒸发区，一个所述蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个所述蒸发舟。硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，设有所述第一挡板形成所述蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个所述蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

优选的，所述第一挡板的下端向下延伸与所述蒸发底板相贴。这样设置会使得一个所述蒸发舟上的硫化锌理论上(尽管所述第一挡板和所述蒸发底板抵触相贴处会漏出硫化锌的蒸汽)完全从一个所述蒸发区独自蒸发到膜面，进一步增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

优选的，所述蒸发底板沿长度方向上垂直设有多个相互平行的第二挡板，相邻的两个所述第二挡板之间安装有一个所述蒸发舟且与所述蒸发舟的侧壁相贴。在生产硫化锌镀膜时，蒸发硫化锌的蒸发舟在加热到1200度左右，产生热形变使蒸发舟变形，导致蒸发量不够严重时会使蒸发舟断裂，停止生产。为了解决这个问题，现有技术中使用所述蒸发底板来支撑所述蒸发舟，但是其只是与所述蒸发舟的底部接触，而现有的一种蒸发舟为长方体的槽体，其侧壁也会受热变形，影响蒸发量，设有所述第二挡板能够与所述蒸发舟的侧壁相贴，避免其变形，保证所述蒸发舟中的硫化锌的蒸发量。

优选的，所述蒸发正电极和所述蒸发负电极均通过夹具与所述蒸发舟固定连接，所述夹具包括两个固定夹板，两个所述固定夹板的一端通过铜螺丝固定在所述蒸发正电极或者所述蒸发负电极上，另一端通过铜螺丝夹紧所述蒸发舟的一端。由于所述蒸发舟的形状的特殊性，设置夹具的目的是保证所述蒸发舟与所述蒸发正电极和所述蒸发负电极很好的接触保证良好的通电，通过一段时间的使用，效果非常好。

优选的，所述夹具由紫铜材料制成。

优选的，所述蒸发舟和所述蒸发罩均由钼材料制成。

本实用新型的有益效果是：设有所述第一挡板形成所述蒸发区，让每一个蒸发舟上的硫化锌尽量从一个所述蒸发区蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的未放入蒸发罩的俯视图；

图2是本实用新型的主视图的剖视图；

图3是左视图。

其中图中标记为：1、真空镀膜仓；2、蒸发底板；3、蒸发正电极；4、蒸发负电极；5、蒸发舟；6、围槽；7、蒸发罩；8、容纳腔；9、第一挡板；10、蒸发区；11、通孔；12、第二挡板；13、夹具。

具体实施方式

如图1-3所示，一种真空镀膜装置，包括真空镀膜仓1，真空镀膜仓1内设有蒸发底板2，蒸发底板2设有若干蒸发正电极3和若干蒸发负电极4以及若干蒸发舟5，一个蒸发正电极3和一个蒸发负电极4通过一个蒸发舟5连接，蒸发底板2上设有上端开口的围槽6，围槽6的开口处设有蒸发罩7，围槽6和蒸发罩7之间形成容纳腔8，蒸发正电极3、蒸发负电极4和蒸发舟5均位于容纳腔8内，位于容纳腔8内的蒸发罩7的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板9，第一挡板9将蒸发罩7分为多个蒸发区10，一个蒸发区10设有多个通孔11，且其正下方设有一个蒸发舟5。其中，蒸发舟5和蒸发罩7最好均由钼材料制成。硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，设有第一挡板9形成蒸发区10，让每一个蒸发舟5上的硫化锌尽量从一个蒸发区10蒸发到膜面，增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

第一挡板9的下端向下延伸与蒸发底板2相贴。这样设置会使得一个蒸发舟5上的硫化锌理论上(尽管第一挡板9和第二挡板12的抵触相贴处会漏出硫化锌的蒸汽)完全从一个蒸发区10独自蒸发到膜面，进一步增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

除了以上的结构特征外，本实施例还具有以下结构特征，用来克服现有的存在的问题：

具体的，在生产硫化锌镀膜时，蒸发硫化锌的蒸发舟5在加热到1200度左右，产生热形变使蒸发舟5变形，导致蒸发量不够严重时会使蒸发舟5断裂，停止生产。为了解决这个问题，现有技术中使用蒸发底板2来支撑蒸发舟5，但是其只是与蒸发舟5的底部接触，而现有的蒸发舟是槽体，除了底部还有侧壁，例如，一种蒸发舟5为长方体的槽体，其侧壁也会受热变形，影响蒸发量，蒸发底板2沿长度方向上垂直设有多个相互平行的第二挡板12，相邻的两个第二挡板12之间安装有一个蒸发舟5且与蒸发舟5的侧壁相贴。设有第二挡板12能够与蒸发舟5的侧壁相贴，避免其变形，保证蒸发舟5中的硫化锌的蒸发量。

具体的，蒸发舟5需要导电利用电阻产生热量，由于蒸发舟5形状的特殊性，怎样让蒸发舟5与正负电极很好的接触，是一个比较重要的问题。蒸发正电极3和蒸发负电极4均通过夹具13与蒸发舟5固定连接，夹具13可以由紫铜材料制成，夹具13包括两个固定夹板，两个固定夹板的一端通过铜螺丝固定在蒸发正电极3或者蒸发负电极4上，另一端通过铜螺丝夹紧蒸发舟5的一端。设置夹具13保证蒸发舟5与蒸发正电极3和蒸发负电极4很好的接触保证良好的通电，通过一段时间的使用，效果非常好。

原理:

硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，多个第一挡板9将蒸发罩7分为多个蒸发区10，第一挡板9起到阻止硫化锌蒸汽向其他蒸发区10运动，从而减少分子的自由行程的碰撞率，确保一个蒸发舟5内的硫化锌蒸汽尽量从一个蒸发区10蒸发出，从而增加薄膜表面硫化锌的均匀性。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内设有蒸发底板，所述蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个所述蒸发正电极和一个所述蒸发负电极通过一个所述蒸发舟连接，所述蒸发底板上设有上端开口的围槽，所述围槽的开口处设有蒸发罩，所述围槽和所述蒸发罩之间形成容纳腔，所述蒸发正电极、所述蒸发负电极和所述蒸发舟均位于所述容纳腔内，位于所述容纳腔内的所述蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，所述第一挡板将所述蒸发罩分为多个蒸发区，一个所述蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个所述蒸发舟。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第一挡板的下端向下延伸与所述蒸发底板相贴。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸发底板沿长度方向上垂直设有多个相互平行的第二挡板，相邻的两个所述第二挡板之间安装有一个所述蒸发舟且与所述蒸发舟的侧壁相贴。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸发正电极和所述蒸发负电极均通过夹具与所述蒸发舟固定连接，所述夹具包括两个固定夹板，两个所述固定夹板的一端通过铜螺丝固定在所述蒸发正电极或者所述蒸发负电极上，另一端通过铜螺丝夹紧所述蒸发舟的一端。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述夹具由紫铜材料制成。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸发舟和所述蒸发罩均由钼材料制成。