CN207881494U - 一种气氛炉进气预热分流盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种气氛炉进气预热分流盒，包括外壳、进气口、隔板和数个出气口，所述的外壳由通过可拆卸方式连接的上外壳和下外壳组成，所述的进气口位于下外壳的侧边上，出气口设置在上外壳与进气口相对的侧边上，隔板包括左隔板和右隔板，左隔板和右隔板分别连接在外壳内壁的两侧并将外壳内腔分隔成S形进气通道，所述的出气口的直径小于进气口的直径。本实用新型通过设置隔板，将外壳内腔分为S型空间，使得气体在壳体内成S型前进，延长了预热气体进入气氛炉的流动时间，可将气氛烧结炉的炉内上下层的温度差异控制在±5℃之间，温差越小，越有利于提高产能。

Description

一种气氛炉进气预热分流盒

技术领域

本实用新型涉及一种用于改善气氛烧结炉内温度均匀性的进气口结构，特别涉及一种气氛炉进气预热分流盒。

背景技术

目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。在OLED以及LCD的大部分高端产品中都会使用到ITO靶材镀膜，其对靶材密度、电阻率等特性要求极高，目前高端产品的靶材主要依赖从韩国和日本进口。我国靶材发展较晚，不仅设备落后，在制造过程中的关键工艺，仍处于摸索阶段。国产的靶材在使用过程中寿命短、结瘤严重，靶材品质与日本有较大差距，近年通过不断研究，靶材品质已有明显改进。

烧结是ITO靶材生产过程中的关键步骤之一，而目前的烧结炉中上层与下层的靶材品质会出现较大的差异，由于烧结过程中需要气氛保护，而大量的低温气体吹入使得烧结炉内下层气体在温度还未达到程序设定温度时便在炉内循环流动，造成炉内上下层温度不均。

目前我国的常压烧结炉，很少有能够预热进气的构件，其中大多数都是通过进气口将气体直接吹向承烧台底层。在专利CN206339095U带有预热功能的脱脂烧结一体式高温升降炉中，在承烧台的底部加设了进气预热结构，其在一定程度上能够加快气体预热速度，但是其气体未得到分流、加热不均，仍不能解决下层气体在温度还未达到程序设定温度时便在炉内循环流动，造成炉内上下层温度不均的问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种气氛炉进气预热分流盒，该装置延长了预热气体进入气氛炉的流动时间，使得预热气体的温度与气氛炉内温度保持一致，缩小温差，解决了上述现有技术中存在的气体未被加热便高速吹入气氛烧结炉内的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种气氛炉进气预热分流盒，包括外壳、进气口、隔板和数个出气口，所述的外壳由通过可拆卸方式连接的上外壳和下外壳组成，所述的进气口位于下外壳的侧边上，出气口设置在上外壳与进气口相对的侧边上，隔板包括左隔板和右隔板，左隔板和右隔板分别连接在外壳内壁的两侧并将外壳内腔分隔成S形进气通道，所述的出气口的直径小于进气口的直径。

所述的出气口的个数为2-8个。

所述的上外壳底端面设置有凸起，下外壳上端面设置有凹槽，上外壳和下外壳通过凸起和凹槽配合连接。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

1、未使用本实用新型烧结前，气氛烧结炉的炉内上下层的温度差为±20℃，采用本实用新型后，可将气氛烧结炉的炉内上下层的温度差异控制在±5℃之间，远远小于之前未使用本实用新型时气氛烧结炉的炉内温差，在较小的温差条件下，通过调节烧结工艺使得整炉的烧结品质稳定，对提高产能具有重大的意义。

2、本实用新型在外壳内壁设置有隔板，隔板将外壳内腔分为S型空间，使得气体在壳体内成S型前进，尽量加长了气体加热时间。

3、本实用新型设置多个出气口，预热气体从出气口排出时，从一股气流，改为多股气流，气流变的分散后，能更好的再次被气氛炉内的上方硅钼棒加热。

下面，结合附图和实施例对本实用新型之一种气氛炉进气预热分流盒的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之一种气氛炉进气预热分流盒立体图之一。

图2：本实用新型之一种气氛炉进气预热分流盒立体图之二。

图3：图1的Q向视图。

图4：图3的B-B剖视图。

图5：图2的A-A剖视图。

图6：本实用新型的使用状态示意图。

图中：1-外壳， 11-上外壳，111-凸起，12-下外壳，121-凹槽，2-进气口，3-隔板，31-左隔板，32-右隔板，4-出气口，P1-硅钼棒，P2-炉壁，P3-承烧台，P4表示本实用新型。

具体实施方式

实施例1：一种气氛炉进气预热分流盒，如图1-图5所示，包括外壳1、进气口2、隔板3和数个出气口4，所述的外壳1由通过可拆卸方式连接的上外壳11和下外壳12组成，所述的进气口2位于下外壳12的侧边上，出气口4设置在上外壳11与进气口相对的侧边上，隔板3包括左隔板31和右隔板32，左隔板31和右隔板32分别连接在外壳内壁的两侧并将外壳内腔分隔成S形进气通道，所述的出气口4的直径小于进气口2的直径。

本实施例中，所述的出气口4的个数为5个。作为一种变换，还可以根据实际需要确定出气口的个数，一般为2-8个。

本实施例中，所述的上外壳底端面设置有凸起111，下外壳上端面设置有凹槽121，上外壳11和下外壳12通过凸起111和凹槽121配合连接（即外壳上下两部分可扣合，连接处采用凹凸口结合）。作为一种变换，上外壳11和下外壳12还可以通过其他可拆卸方式连接。

本实施例中，外壳的形状为长方体。作为一种变换，还可以根据实际需要设定其形状。

本实施例中，所述的进气口2与气氛烧结炉进气口同高。

工作过程：在气氛烧结炉每一个进气口处全部配备本实用新型之一种气氛炉进气预热分流盒P4，如图6所示，将其直接放置在炉膛壁边沿，将气氛烧结炉进气口与本实用新型的进气口2相连接（注意气氛烧结炉进气口与本实用新型进气口连接处的密封性），确保气氛烧结炉进气口与本实用新型进气口2连接处的密封性。硅钼棒P1放置在本实用新型的上方，在烧结过程中，气体通过进气口2进入本实用新型，在隔板3的阻挡作用下，曲折前进，增加了在硅钼棒热源下方的流动时间，起到了预热作用，从出气口4排出时，从一股气流，改为多股气流，气流变的分散，能更好的再次被上方硅钼棒加热。

Claims (3)

1.一种气氛炉进气预热分流盒，其特征在于：包括外壳（1）、进气口（2）、隔板（3）和数个出气口（4），所述的外壳（1）由通过可拆卸方式连接的上外壳（11）和下外壳（12）组成，所述的进气口（2）位于下外壳（12）的侧边上，出气口（4）设置在上外壳（11）与进气口相对的侧边上，隔板（3）包括左隔板（31）和右隔板（32），左隔板（31）和右隔板（32）分别连接在外壳内壁的两侧并将外壳内腔分隔成S形进气通道，所述的出气口（4）的直径小于进气口（2）的直径。

2.根据权利要求1所述的一种气氛炉进气预热分流盒，其特征在于：所述的出气口（4）的个数为2-8个。

3.根据权利要求1所述的一种气氛炉进气预热分流盒，其特征在于：所述的上外壳底端面设置有凸起（111），下外壳上端面设置有凹槽（121），上外壳（11）和下外壳（12）通过凸起（111）和凹槽（121）配合连接。