CN207877921U - 一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环和支撑腿，每个发热环具有相对的第一端部和第二端部，发热环具有多个自第一端部向第二端部延伸的第一狭槽以及多个自第二端部向第一端部延伸的第二狭槽，多个第一狭槽与多个第二狭槽交替设置，每个发热环上具有至少两个安装部，至少两个发热环的安装部对应固定于支撑腿。本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器解决了现有的加热器无法通用的问题。其将加热结构分为至少两个阻值不同的加热环，通过调整加热环的数量及阻值来实现不同的温度梯度分布，即可满足不同的直拉单晶生产工艺需求。
Description
技术领域
本实用新型属于直拉法生产单晶硅热场技术领域，具体涉及一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器。
背景技术
加热器作为一种直拉法生产单晶硅热场不可缺少的部件，为实现单晶硅产品的不同品质要求，对加热器的发热区温度梯度分布的要求也不同。目前在用的加热器，每一件只能对应一种温度梯度分布，当工艺要求变更时，就必须更换相应的新加热器，这无疑大大增加生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，解决了现有的加热器无法通用的问题。
本实用新型所采用的技术方案是：一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环和支撑腿，每个所述发热环具有相对的第一端部和第二端部，所述发热环具有多个自所述第一端部向所述第二端部延伸的第一狭槽以及多个自所述第二端部向所述第一端部延伸的第二狭槽，所述多个第一狭槽与多个第二狭槽交替设置，每个所述发热环上具有至少两个安装部，所述至少两个发热环的安装部对应固定于支撑腿。
本实用新型的特点还在于，
所述支撑腿上具有用于卡设所述安装部的安装卡槽。
所述至少两个发热环通过调整所述第一狭槽和/或第二狭槽的开缝宽度及深度导致阻值的不同。
所述发热环设置有三个，其阻值依次相差10％。
每个所述发热环具有对称设置的两个安装部，三个所述发热环的安装部对应固定于两个所述支撑腿。
本实用新型的有益效果是：本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器解决了现有的加热器无法通用的问题。其将加热结构分为至少两个阻值不同的加热环，通过调整加热环的数量及阻值来实现不同的温度梯度分布，即可满足不同的直拉单晶生产工艺需求。
附图说明
图1是本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器的结构示意图；
图2是图1的侧视图；
图3是本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器的加热环的结构示意图；
图4是本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器的支撑腿的结构示意图；
图5是本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器的使用状态图。
图中，1.发热环，2.支撑腿，3.单晶炉，4.炉底铜电极，5.等静压石墨电极，11.第一端部，12.第二端部，13.第一狭槽，14.第二狭槽，15.安装部，21.安装卡槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
本实用新型提供的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器的结构如图1-图4所示，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环1和支撑腿2，每个发热环1具有相对的第一端部11和第二端部12，发热环1具有多个自第一端部11向第二端部12延伸的第一狭槽13以及多个自第二端部12向第一端部11延伸的第二狭槽14，多个第一狭槽13与多个第二狭槽14交替设置，每个发热环1上具有至少两个安装部15，至少两个发热环1的安装部15对应固定于支撑腿2。
优选的，支撑腿2上具有用于卡设安装部15的安装卡槽21，将发热环1的安装部15卡设于安装卡槽21内，然后再通过螺栓进行固定，不但使得发热环1的重量分担于安装部15上，而且通过卡设和螺栓固定使得发热环1的固定更为稳固。
发热环1通过调整第一狭槽13和/或第二狭槽14的开缝宽度及深度，或者将发热环1选用不用电阻率的材料制成，通过这些方式改变发热环1的阻值。
事例性的，发热环1设置有三个，其阻值依次相差10％，每个发热环1具有对称设置的两个安装部15，三个发热环1的安装部15对应固定于两个支撑腿2。
本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，将加热器的发热区进行从上到下的划分，每个划分出来的发热区通过发热环1进行发热，每个发热环1的发热电阻不同(可调节发热环1开缝宽度、深度或选用不同电阻率的材料来实现)，进行直拉法生产单晶硅时，根据生产工艺对加热器发热区温度梯度分布的要求，来调整每个发热区的阻值，以及调整发热区的顺序或增加、减少发热区来实现生产工艺要求的温度梯度分布。
下面通过一个具体实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。
如图5所示，本实施例的加热器为等静压石墨+碳碳复合材料组合加热器，由上中下三个碳碳复合材料的发热环及两个等静压石墨支撑腿组成，分为发热环A、发热环B、发热环C，发热环B的发热电阻较发热环A低10％，发热环C的发热电阻较发热环B低10％；等静压石墨支撑腿为对称部件，用于连接三个发热环组成加热器。实际安装使用时，将等静压石墨电极3安装在单晶炉1的炉底铜电极2上，本实用新型的加热器的支撑腿的脚板对称放在等静压石墨电极3上，用螺栓紧固；利用直拉法生产单晶硅时，单晶炉电源柜将电流通过炉底铜电极2传给本实用新型的加热器，本实用新型的加热器发热对熔硅进行加热。
Claims (5)
1.一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，其特征在于，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环(1)和支撑腿(2)，每个所述发热环(1)具有相对的第一端部(11)和第二端部(12)，所述发热环(1)具有多个自所述第一端部(11)向所述第二端部(12)延伸的第一狭槽(13)以及多个自所述第二端部(12)向所述第一端部(11)延伸的第二狭槽(14)，所述多个第一狭槽(13)与多个第二狭槽(14)交替设置，每个所述发热环(1)上具有至少两个安装部(15)，所述至少两个发热环(1)的安装部(15)对应固定于支撑腿(2)。
2.如权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，其特征在于，所述支撑腿(2)上具有用于卡设所述安装部(15)的安装卡槽(21)。
3.如权利要求1所述的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，其特征在于，所述至少两个发热环(1)通过调整所述第一狭槽(13)和/或第二狭槽(14)的开缝宽度及深度导致阻值的不同。
4.如权利要求1或3所述的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，其特征在于，所述发热环(1)设置有三个，其阻值依次相差10％。
5.如权利要求4所述的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，其特征在于，每个所述发热环(1)具有对称设置的两个安装部(15)，三个所述发热环(1)的安装部(15)对应固定于两个所述支撑腿(2)。
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|---|---|---|---|---|
| CN109837593A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-04 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 | 加热器及具有其的单晶炉 |
| CN110846722A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-02-28 | 湖南金博碳素股份有限公司 | 单晶炉用加热器 |
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