CN207867214U - 曝光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种曝光设备，包括机架、设于机架的初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、机械手及电控系统，机架侧边设有入料口，初定位夹具临近所述入料口设置并夹持从入料口投入的治具，待曝光产品放置于治具上，机械手在初定位夹具与曝光台之间运输治具，曝光台在机架内移动并将治具上的待曝光产品运输至曝光灯处曝光，所述初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、及机械手均电连接所述电控系统；所述初定位夹具包括一对齐结构，使得放置有待曝光产品的治具在其放置平面内的XY方向对齐。本实用新型减少了治具在定位过程中的误差，提高定位精度，保证了屏幕玻璃产品生产的良率。

Description

曝光设备

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种曝光设备。

背景技术

因屏幕玻璃的工艺由2.5D更改为3D，在曝光加工过程中，原有的设备的定位精度满足不了工艺更改后的要求，其初定位夹紧装置只能把产品的治具在不规则的方向调整为治具的X轴方向平行与曝光平台的X轴方向，不能在XY方向都进行位置的调整，位置校正及补偿精度低，导致所生产的产品良率无法的到保障。

因此，现有技术还有待发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提出一种曝光设备，旨在解决现有曝光设备的初定位夹紧装置不能在XY方向都进行位置的调整，位置校正及补偿精度低，导致产品良率无法保障的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

一种曝光设备，包括机架、设于机架的初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、机械手及电控系统，机架侧边设有入料口，初定位夹具临近所述入料口设置并夹持从入料口投入的治具，待曝光产品放置于治具上，机械手在初定位夹具与曝光台之间运输治具，曝光台在机架内移动并将治具上的待曝光产品运输至曝光灯处曝光，所述初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、及机械手均电连接所述电控系统；

其中，所述初定位夹具包括一对齐结构，使得放置有待曝光产品的治具在其放置平面内的XY方向对齐。

可选地，所述机架还包括一平板，所述初定位夹具、曝光台均设于平板上方，所述对齐结构包括：

两相对设置定位板，固定于平板，每一定位板开设有定位口；

夹紧气缸，朝向所述定位口设置；

定位套，设于夹紧气缸伸缩杆的末端，随伸缩杆的移动靠近或远离定位口，定位并夹紧所述治具；

Y向定位杆，固定于机架并设于两定位板之间的通道靠近曝光台的一侧；

一传送机构，设于两定位板之间，将所述治具在通道内传送并触碰所述Y向定位杆；

治具感应器，临近Y向定位杆设置，检测治具触碰Y向定位杆，治具感应器电连接电控系统。

可选地，所述传送机构为皮带转动机构。

可选地，所述每一定位板开设有两个定位口，对应的每一定位板的一侧设置有两个定位套及两个夹紧气缸朝向所述定位口。

可选地，所述曝光台包括：

Y向移动模组，设于机架，曝光灯、CCD相机均设于Y向移动模组移动方向的上方；

X向移动模组，设于Y向移动模组，随Y向移动模组在曝光台的Y方向移动；

曝光座，设于X向移动模组，随X向移动模组在曝光台的X方向移动，所述曝光座上表面开设有真空吸槽，吸附放置于曝光座上的治具；

角度旋转单元，设于X向移动模组与曝光座之间，使曝光座相对治具的初始放置平面呈夹角转动，调整待曝光产品的平面角度。

可选地，所述角度旋转单元包括：

多个旋转角电机，环形排布于X向移动模组与曝光座之间，每一旋转角电机的一端与X向移动模组接触，另一端与曝光座底面接触，调整曝光座与X向移动模组的间隔距离。

可选地，所述真空吸槽为多个，间隔排列于曝光座上表面，真空吸槽的底部与真空气路系统连通。

可选地，所述机架上还设置有曝光台定位传感器，检测曝光台的位置，所述曝光台定位传感器与电控系统电连接。

可选地，所述CCD相机设于曝光座进入曝光灯之前的治具运输通道范围的上方，与曝光灯间隔固定于机架顶壁并朝向曝光台设置，获取曝光座上待曝光产品的图像信息。

可选地，所述CCD相机为并列设置的两个。

有益效果：本实用新型技术方案的曝光设备，通过在曝光设备的初定位夹具设置有对齐结构，使得放置有待曝光产品的治具在初定位夹具上能在X方向和Y方向都进行定位及位置调整，保证了治具的位置精度，提高了产品的良率，同时，曝光台设置有X向、Y向移动模组及角度旋转单元，使得曝光台能进一步对治具进行位置的精度调整，减少了定位偏差，同时将CCD相机曝光灯分开设置，CCD相机设于曝光座进入曝光灯之前的通道上方，对治具的位置进行抓拍以进行比较和补偿校正，大幅度减少了治具在定位过程中的叠加误差，提高定位精度，保证了屏幕玻璃产品生产的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型曝光设备的结构示意图；

图2为本实用新型曝光设备去掉中部机架后的结构示意图；

图3为本实用新型曝光设备部分结构分解示意图；

图4为本实用新型曝光设备的初定位夹具结构示意图；

图5为本实用新型曝光设备的初定位夹具结构分解示意图；

图6为本实用新型曝光设备的曝光台结构示意图；

图7为本实用新型曝光设备的曝光台结构分解示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	曝光设备	30	曝光台
10	机架	310	Y向移动模组
				12	入料口	320	X向移动模组
14	平板	330	曝光座
				16	顶壁	3310	真空吸槽
20	初定位夹具	340	角度旋转单元
				210	定位板	3410	旋转角电机
212	定位口	40	曝光灯
				220	夹紧气缸	50	CCD相机
230	定位套	60	机械手
				240	Y向定位杆	200	治具
250	传送机构

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相

对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

请参照图1至图3，本实用新型提出一种曝光设备100，包括机架10、设于机架10的初定位夹具20、曝光台30、曝光灯40、CCD相机50、机械手60及电控系统，机架10侧边设有入料口12，初定位夹具20临近所述入料口12设置并夹持从入料口12投入的治具200，待曝光产品放置于治具200上，机械手60在初定位夹具20与曝光台30之间运输治具200，曝光台30在机架10内移动并将治具200上的待曝光产品运输至曝光灯40处曝光，所述初定位夹具20、曝光台30、曝光灯40、CCD相机50、及机械手60均电连接所述电控系统；其中，所述初定位夹具20包括一对齐结构，使得放置有待曝光产品的治具200在其放置平面内的XY方向对齐。

本实施例的机架10分为上下两部分，其中初定位夹具20、曝光台30、曝光灯40、CCD相机50、机械手60设置于上部的机架。初定位夹具20将入料口进来的装有待曝光产品的治具进行XY方向的定位调整，如图2中所示的X放向和Y方向，然后通过机械手将经过初步定位后的治具放入曝光台，在CCD相机及曝光台的配合下治具按预设位置送入曝光灯下进行曝光，然后经曝光台运出并经机械手取出。由于初定位夹具的对齐结构对放置有待曝光产品的治具在X方向和Y方向都进行定位及位置调整，保证了治具进入曝光台前的初始位置精度，避免了后续的误差的叠加，提高了产品的良率，同时也提高产品的定位效率。

具体地，参考图3至图5，所述机架10还包括一平板14，所述初定位夹具20、曝光台30均设于平板14上方，所述对齐结构包括：

两相对设置定位板210，固定于平板14，每一定位板210开设有定位口212；

夹紧气缸220，朝向所述定位口212设置；

定位套230，设于夹紧气缸220伸缩杆的末端，随伸缩杆的移动靠近或远离定位口212，定位并夹紧所述治具200；

Y向定位杆240，固定于机架10并设于两定位板210之间的通道靠近曝光台30的一侧；

一传送机构250，设于两定位板210之间，将所述治具200在通道内传送并触碰所述Y向定位杆240；

治具感应器(未示出)，临近Y向定位杆240设置，检测治具200触碰Y向定位杆240，治具感应器电连接电控系统。

治具200从两定位板210之间的通道通过传送机构250向Y向定位杆240方向移动，在传送过程中，两定位板210或者结合定位套230对治具200在X方向有初步位置调整，然后在治具200即将触碰或者触碰向定位杆240后，治具感应器将会向电控系统反馈检测信号，传送机构250的传输电机会在预设时间内停止转动，然后两定位板210一侧的夹紧气缸220动作，夹紧气缸220伸缩杆向定位口212方向伸入，伸缩杆末端的定位套230将治具200夹紧，进一步完成治具200在X方向和Y方向的定位，调整治具在初步定位过程中X方向和Y方向的位置偏移，减少治具在XY两个方向上的位置偏差。

优选地，所述传送机构250为皮带转动机构，皮带传动机构能平稳的传动治具，防止治具在传送过程位置变化。

较佳地，在本实施例中，每一定位板210开设有两个定位口212，对应的每一定位板210的一侧设置有两个定位套230及两个夹紧气缸220朝向所述定位口212，这样治具在定位及夹紧过程中受力更均衡，利于其位置的调整定位。

请继续参考图2、图6及图7，所述曝光台30包括：

Y向移动模组310，设于机架10，曝光灯40、CCD相机50均设于Y向移动模组310移动方向的上方；Y向移动模组310的移动方向为图2中所示的Y方向。

X向移动模组320，设于Y向移动模组310，随Y向移动模组310在曝光台30的Y方向移动；曝光座330，设于X向移动模组320，随X向移动模组320在曝光台30的X方向移动，所述曝光座330上表面开设有真空吸槽3310，吸附放置于曝光座330上的治具200；角度旋转单元340，设于X向移动模组320与曝光座330之间，使曝光座330相对治具200的初始放置平面呈夹角转动，调整待曝光产品的平面角度。

曝光台30设置有X向、Y向移动模组及角度旋转单元，使得曝光台能在X方向，Y方向，以及与XY平面呈夹角的方向调整治具的位置，相对于初步定位夹具对治具进行初定位后的进一步定位调整，避免了治具在曝光座上相对于预设位置上X方向、Y方向、及平面的偏移，提高治具曝光前的位置定位精度，提高产品的加工良率。

具体地，所述角度旋转单元340包括：

多个旋转角电机3410，环形排布于X向移动模组320与曝光座330之间，每一旋转角电机3410的一端与X向移动模组320接触，另一端与曝光座330底面接触,调整曝光座330与X向移动模组320的间隔距离。本实施例中设置有三个旋转角电机3410，调整三个旋转角电机3410的伸出端，使伸出端的伸出长度不同，这样导致每个旋转角电机位置曝光座与X向移动模组的间隔距离不同或者相同，则可调整曝光座的平面角度，起到调整治具上待曝光产品平面夹角的作用。

本实施例的真空吸槽3310为多个，间隔排列于曝光座330上表面，真空吸槽3310的底部与真空气路系统(未示出)连通，多个真空吸槽吸附放置于曝光座上的治具，采用真空吸附便于固定治具，同时不夹伤治具。

优选地，所述机架10上还设置有曝光台定位传感器(未示出)，检测曝光台30的位置，所述曝光台定位传感器与电控系统电连接，曝光台定位传感器可以为多个，用于控制曝光座在曝光台上的行程及停靠位置。

参考图2和图3，本实施例的CCD相机50设于曝光座330进入曝光灯40之前的治具运输通道范围的上方，与曝光灯40间隔固定于机架10顶壁并朝向曝光台30设置，获取曝光座330上待曝光产品的图像信息。CCD相机对曝光座上的治具图像进行抓拍，然后与预设的曝光位置进行对比，然后电控系统不断调整曝光台的位置，这样在待曝光产品进入曝光区域前位置已经定好，提高了定位生产效率，CCD相机设置曝光台的运输通道上方可以直接抓取待曝光产品进行定位，对治具的位置进行抓拍以进行比较和补偿校正，大幅度减少了治具在定位过程中的叠加误差，更好的保证产品的良率。

进一步地，所述CCD相机50为并列设置的两个，以提高抓拍效果。

作为一个实施例，本实用新型曝光设备中待曝光产品的曝光过程具体如下：

1、待曝光产品进入入料口；

2、初定位夹具定位并夹紧装有待曝光产品的治具；

3、治具在初定位夹具定位完成后信号回馈到曝光台，曝光台由原点位置移动至临近初定位夹具的接片位置；

4在曝光台移动的时候，机械手把治具转运至接片位置上方，曝光台到达接片位置后信号回馈给机械手，机械手治具放到曝光台的曝光座上；

5、曝光台真空吸附定位治具，机械手回归原点，吸附的真空值达到设定值后CCD相机抓取治具位置后与曝光灯位置对比，电控系统根据对比结果对曝光台进行对位调整；

6、对位完毕后，曝光台移动待曝光产品至曝光灯下方进行曝光；

7、曝光完毕后，曝光台载该待曝光产品移动至原接片位置；

8、机械手取走曝光后的产品，一个循环完毕。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种曝光设备，包括机架、设于机架的初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、机械手及电控系统，机架侧边设有入料口，初定位夹具临近所述入料口设置并夹持从入料口投入的治具，待曝光产品放置于治具上，机械手在初定位夹具与曝光台之间运输治具，曝光台在机架内移动并将治具上的待曝光产品运输至曝光灯处曝光，所述初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、及机械手均电连接所述电控系统；

其特征在于，所述初定位夹具包括一对齐结构，使得放置有待曝光产品的治具在其放置平面内的XY方向对齐。

2.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述机架还包括一平板，所述初定位夹具、曝光台均设于平板上方，所述对齐结构包括：

两相对设置定位板，固定于平板，每一定位板开设有定位口；

夹紧气缸，朝向所述定位口设置；

定位套，设于夹紧气缸伸缩杆的末端，随伸缩杆的移动靠近或远离定位口，定位并夹紧所述治具；

Y向定位杆，固定于机架并设于两定位板之间的通道靠近曝光台的一侧；

一传送机构，设于两定位板之间，将所述治具在通道内传送并触碰所述Y向定位杆；

治具感应器，临近Y向定位杆设置，检测治具触碰Y向定位杆，治具感应器电连接电控系统。

3.根据权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，所述传送机构为皮带转动机构。

4.根据权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，所述每一定位板开设有两个定位口，对应的每一定位板的一侧设置有两个定位套及两个夹紧气缸朝向所述定位口。

5.根据权利要求1或2所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光台包括：

Y向移动模组，设于机架，曝光灯、CCD相机均设于Y向移动模组移动方向的上方；

X向移动模组，设于Y向移动模组，随Y向移动模组在曝光台的Y方向移动；

曝光座，设于X向移动模组，随X向移动模组在曝光台的X方向移动，所述曝光座上表面开设有真空吸槽，吸附放置于曝光座上的治具；

角度旋转单元，设于X向移动模组与曝光座之间，使曝光座相对治具的初始放置平面呈夹角转动，调整待曝光产品的平面角度。

6.根据权利要求5所述的曝光设备，其特征在于，所述角度旋转单元包括：

多个旋转角电机，环形排布于X向移动模组与曝光座之间，每一旋转角电机的一端与X向移动模组接触，另一端与曝光座底面接触，调整曝光座与X向移动模组的间隔距离。

7.根据权利要求6所述的曝光设备，其特征在于，所述真空吸槽为多个，间隔排列于曝光座上表面，真空吸槽的底部与真空气路系统连通。

8.根据权利要求7所述的曝光设备，其特征在于，所述机架上还设置有曝光台定位传感器，检测曝光台的位置，所述曝光台定位传感器与电控系统电连接。

9.根据权利要求5所述的曝光设备，其特征在于，所述CCD相机设于曝光座进入曝光灯之前的治具运输通道范围的上方，与曝光灯间隔固定于机架顶壁并朝向曝光台设置，获取曝光座上待曝光产品的图像信息。

10.根据权利要求9所述的曝光设备，其特征在于，所述CCD相机为并列设置的两个。