CN207862479U - 一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，包括安装于导流筒下沿的标记物，标记物与熔硅的液面保持设定的距离。本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置解决了现有的单晶炉内液口距测量数据精确度不够的问题。本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置利用定位单晶硅籽晶作为参照物预先设置精确的液口距，同时在拉晶过程中也可以结合现有的CCD测量系统综合进行液口距的测量。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶硅制造技术领域，具体涉及一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置。
背景技术
在直拉生产单晶硅过程中，涉及熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等工序，在这些工序中，引晶、放肩、等径均涉及到液口距(熔硅液面到导流筒下沿距离)控制问题。目前行业中尽管使用CCD测量系统计算液口距，但仍无法达到液口距精准定位，拉晶过程中如液口距未精准控制，就会存在以下问题：
1.等径拉速能力受限，导致拉晶效率低、成本高；
2.液口距未精准定位，炉内热场梯度温度不稳定，容易导致等径断棱；
3.液口距过大或过小势必带来通过导流筒下沿气体流速发生变化，使其等径拉速忽高忽低，由于生长控制作用导致热场温度波动，造成晶体断棱。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，解决了现有的单晶炉内液口距测量数据精确度不够的问题。
本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，包括安装于导流筒下沿的标记物，所述标记物与熔硅的液面保持设定的距离。
优选的，为了避免在拉晶过程中引入其它杂质，标记物为定位硅单晶籽晶。
进一步的，所述标记物设置于定位安装工装内、并通过石墨螺栓进行固定，所述导流筒下沿设置有用于固定所述定位安装工装的安装孔。
进一步的，所述安装孔所述熔硅的液面呈12°，所述定位安装工装的侧面具有与所述安装孔形状相适应的凸柱，所述定位安装工装通过凸柱卡设于所述安装孔。
优选的，还包括CCD测量系统，所述CCD测量系统监控拉晶过程中液口距的变化。
本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置解决了现有的单晶炉内液口距测量数据精确度不够的问题。本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置利用定位单晶硅籽晶作为参照物预先设置精确的液口距，同时在拉晶过程中也可以结合现有的CCD测量系统综合进行液口距的测量。
附图说明
图1是本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置的结构示意图。
图中，1.定位安装工装，2.定位硅单晶籽晶，3.石墨螺栓，4.熔硅，5.导流筒。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
本实用新型提供的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置的结构如图1所示，包括安装于导流筒5下沿的标记物，标记物与熔硅4的液面保持设定的距离。通过设置标记物，然后预先测量设置好位置，进而在拉晶过程就可以按预设的过程进行。
为了避免引入杂质，标记物优选为为定位硅单晶籽晶2。
具体的，标记物安装方式是在导流筒5下沿的位置开设一个安装孔，然后将标记物设置于一个定位安装工装1内、并通过石墨螺栓3进行固定，最后将定位安装工装1通过导流筒5下沿的安装孔进行固定。优选的，可以将安装孔与熔硅4的液面呈12°夹角设置，定位安装工装1的侧面具有与安装孔形状相适应的凸柱，将定位安装工装1的凸柱插设于安装孔内即可完成定位安装工装1的固定，而无需再借助其他固定零件。
本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置还可以包括CCD测量系统，将CCD测量系统和前述预先设置好液口距的标记物相结合，利用CCD测量系统监控拉晶过程中液口距的变化。
在直拉法生产单晶硅前，使用本实用新型的定位装置，首先在导流筒5下沿设置安装石墨定位工装1的安装孔，然后在安装导流筒5前，将定位安装工装1置于导流筒5的安装孔进行，将定位硅单晶籽晶2置于定位安装工装1内，使用标尺测量定位硅单晶籽晶2与导流筒5下沿距离15mm时，锁紧压紧石墨螺栓3，完成后安装导流筒进入下步工序。在自动拉晶系统进入调温引放状态时，上升埚位时熔硅4的液面与定位硅单晶籽晶2下沿接触时，记录此时坩埚位置，用工艺设定目标液口距减去15mm，得到一定值假设为X，此时，在熔硅4的液面接触定位硅单晶籽晶2下沿时埚位基础上下降X距离，即得到拉晶等径目标液口距，在此液口距基础上配合自动拉晶系统的CCD测量系统监控拉晶过程中的液口距变化。
Claims (2)
1.一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，其特征在于，包括安装于导流筒(5)下沿的标记物，所述标记物与熔硅(4)的液面保持设定的距离，所述导流筒(5)下沿设置有用于固定定位安装工装(1)的安装孔，所述安装孔与所述熔硅(4)的液面呈12°设置，所述定位安装工装(1)的侧面具有与所述安装孔形状相适应的凸柱，所述定位安装工装(1)通过凸柱卡设于所述安装孔，所述标记物设置于定位安装工装(1)内、并通过石墨螺栓进行固定；
还包括CCD测量系统，所述CCD测量系统监控拉晶过程中液口距的变化。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，其特征在于，所述标记物为定位硅单晶籽晶(2)。
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| CN201721471967.3U CN207862479U (zh) | 2017-11-07 | 2017-11-07 | 一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置 |
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| CN201721471967.3U CN207862479U (zh) | 2017-11-07 | 2017-11-07 | 一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置 |
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| CN207862479U true CN207862479U (zh) | 2018-09-14 |
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ID=63474875
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| CN201721471967.3U Active CN207862479U (zh) | 2017-11-07 | 2017-11-07 | 一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置 |
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2017
- 2017-11-07 CN CN201721471967.3U patent/CN207862479U/zh active Active
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