CN207816182U

CN207816182U - 柱面镜测量设备

Info

Publication number: CN207816182U
Application number: CN201820038230.0U
Authority: CN
Inventors: 陈靖宇; 武雁雄
Original assignee: Jilin Henghua Photoelectric Co Ltd
Current assignee: Jilin Henghua Photoelectric Co Ltd
Priority date: 2018-01-10
Filing date: 2018-01-10
Publication date: 2018-09-04
Anticipated expiration: 2028-01-10

Abstract

一种柱面镜测量设备，包括：气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器；其中，在所述辅助支架上安装有柱面镜头。该柱面镜测量设备通过在现有激光干涉仪的前方设辅助支架，通过调整辅助支架来快速更快柱面镜镜头，使测量球面镜的激光干涉仪也可进行柱面镜测量。

Description

柱面镜测量设备

技术领域

本实用新型属于柱面镜检测领域，具体涉及一种柱面镜测量设备。

背景技术

激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。现有激光干涉仪上安装柱面镜头时，用于测量不同半径的柱面镜；安装球面镜头时用于检测球面镜的面型和半径。然而，由于激光干涉仪成本高，体积大，在生产车间针对不同产品配备相应的激光干涉仪无疑是增加运行成本。因此，有必要在现有测量球面镜的激光干涉仪上进行改进，以便使一台激光干涉仪同时满足测量柱面镜和球面镜的需求。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种柱面镜测量设备，该柱面镜测量设备通过在现有测量球面镜的激光干涉仪的前方设备辅助支架，通过调整辅助支架来快速更快柱面镜镜头，使测量球面镜的激光干涉仪也可进行柱面镜测量，使用该测量设备能够从分利用现有实验室的仪器设备，大大降低测量成本，同时节省生产空间。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种柱面镜测量设备，包括：气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器；其中，所述激光干涉仪用于测量柱面镜的PV值；所述显示器用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息；所述辅助支架在导轨上能够进行滑动，在辅助支架上安装有柱面镜头，利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量；所述调节支架通过滑动座能够在滑轨上进行滑动，调节支架上设置有柱面镜，通过调节支架能够对柱面镜的前后、左右、高低、仰俯角度进行调整；所述光栅尺与滑动座连接，当调节支架在滑轨上滑动时，利用光栅尺检测调节支架上柱面镜的半径；所述辅助支架包括：安装在导轨上且在导轨上能够进行滑动的滑动座、设置在滑动座上的L型柱面镜头支架、安装在L型柱面镜头支架上的磁铁架、吸附在磁铁架上的柱面镜头；其中，在所述导轨的末端加工有限位销；所述限位销用于限制滑动座的移动位移；在所述导轨的水平面上加工有多个限位孔；所述滑动座的一端安装有L型安装座，在所述L型安装座上安装有可调节限位钮，当滑动座滑动到合适位置后，旋转可调节限位钮，将其旋转到限位孔内，以实现对滑动座的固定；所述L型柱面镜头支架的侧面安装有第一调节旋钮，在L型柱面镜头支架的底部安装有两个第二调节旋钮，在L型柱面镜头支架的顶端安装有夹紧旋钮，通过夹紧旋钮将磁铁架固定在L型柱面镜头支架上，通过第一调节旋钮、第二调节旋钮调节磁铁架的仰、俯角度；所述磁铁架的外轮廓为L型结构，磁铁架的中间为半圆形结构，在磁铁架的底部加工有托台；所述托台用于放置柱面镜头，起到支撑柱面镜头的作用；在所述磁铁架的三个顶点位置还加工有磁力垫；所述柱面镜头为方形结构，在柱面镜头的四角处均安装有镜头固定架；在所述镜头固定架上还设置有磁力钢珠，所述磁力钢珠吸附在磁力垫上。

作为本实用新型的优选，在所述磁铁架外侧的两个顶点处还设有活动销，在磁铁架上吸附镜头固定架的一侧设置有顶出销；所述活动销与顶出销活动连接，当活动销受到向下施加的压力时，活动销向下移动，此时顶出销向外顶出；所述活动销上加工有大圆安装孔，所述大圆安装孔下方设置有小圆安装孔；大圆安装孔与小圆安装孔连通为一个整体；所述顶出销上依次加工有第一限位槽、第二限位槽，顶出销通过弹簧与磁铁架固连；所述活动销套装在所述顶出销上，活动销的底部通过弹簧固定在磁铁架内。

本实用新型的优点和有益效果是：本实用新型提供的柱面镜测量设备是在原有的测量球面镜的激光干涉仪上，通过增设承载柱面镜镜头的辅助支架，以及承载柱面镜的调节支架实现的，该柱面镜测量设备有效利用实验室现有实验仪器，大大降低测量成本，同时节省生产空间，同时采用该测量设备可快速对柱面镜进行测量，测量结果准确。

附图说明

图1 为柱面镜测量设备的第一种角度的结构示意图。

图2 为柱面镜测量设备的第二种角度的示意图。

图3 为本实用新型辅助支架的整体结构示意图。

图4 为本实用新型辅助支架未安装柱面镜头的结构示意图。

图5 为本实用新型活动销与顶出销的连接示意图。

具体实施方式

为使本领域技术人员能够更好的理解本实用新型的技术方案及其优点，下面结合附图对本申请进行详细描述，但并不用于限定本实用新型的保护范围。

参阅图1、图2，本实用新型提供的一种柱面镜测量设备，包括：气压式减震平台1、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪2、与激光干涉仪连接的显示器3、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨4、设置在导轨上的辅助支架5、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨6、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架7、设置在调节支架底部与滑轨6滑动连接的滑动座8、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺9、与光栅尺电连的数显器10；其中，所述激光干涉仪1用于测量柱面镜的PV值；所述显示器3用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息；所述辅助支架5在导轨上能够进行滑动，在辅助支架上安装有柱面镜头，利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量；所述调节支架7通过滑动座8能够在滑轨6上进行滑动，调节支架7上设置有柱面镜，通过调节支架7能够对柱面镜的上下、左右、前后、俯仰以及倾斜角度进行调整；所述光栅尺9与滑动座连接，当调节支架在滑轨上滑动时，利用光栅尺9检测调节支架7上柱面镜的半径。

参阅图3、图4，所述辅助支架5包括：安装在导轨4上且在导轨上能够进行滑动的滑动座52、设置在滑动座52上的L型柱面镜头支架53、安装在L型柱面镜头支架53上的磁铁架54、吸附在磁铁架54上的柱面镜头55；其中，在所述导轨4的末端加工有限位销511；所述限位销511用于限制滑动座52的移动位移，防止滑动座52滑出导轨4；在所述导轨4的水平面上加工有多个限位孔512；所述滑动座52的一端安装有L型安装座521，在所述L型安装座521上安装有可调节限位钮522，当滑动座52滑动到合适位置后，旋转可调节限位钮522，将其旋转到限位孔522内，以实现对滑动座52的固定；所述L型柱面镜头支架53的侧面安装有第一调节旋钮531，在L型柱面镜头支架53的底部安装有两个第二调节旋钮532，在L型柱面镜头支架53的顶端安装有夹紧旋钮533，通过夹紧旋钮533将磁铁架54固定在L型柱面镜头支架53上，通过第一调节旋钮531、第二调节旋钮532调节磁铁架54的仰、俯角度；所述磁铁架54的外轮廓为L型结构，磁铁架54的中间为半圆形结构，在磁铁架54的底部加工有托台541；所述托台541用于放置柱面镜头55，起到支撑柱面镜头55的作用；在所述磁铁架54的三个顶点位置还加工有磁力垫542；所述柱面镜头55为方形结构，在柱面镜头55的四角处均安装有镜头固定架551；在所述镜头固定架551上还设置有磁力钢珠552，所述磁力钢珠552吸附在磁力垫542上，当需要测量柱面镜时，可以直接将激光干涉仪原有的球面镜头取下，然后将滑动座52滑动到指定位置，即相当于将柱面镜头安装在激光干涉仪的前端，此时即可通过激光干涉仪完成对柱面镜的测量。

本实用新型在所述磁铁架54外侧的两个顶点处还设有活动销543，在磁铁架上吸附镜头固定架551的一侧设置有顶出销544；所述活动销543与顶出销544活动连接，当活动销受到向下施加的压力时，活动销543向下移动，此时顶出销向外顶出，将镜头固定架551向外侧顶起，即可直接取下柱面镜头。

参阅图5，所述活动销543上加工有大圆安装孔431，所述大圆安装孔431下方设置有小圆安装孔432；大圆安装孔431与小圆安装孔432连通为一个整体；所述顶出销544上依次加工有第一限位槽441、第二限位槽442，顶出销544通过弹簧与磁铁架54固连；所述活动销543套装在所述顶出销544上，活动销543的底部通过弹簧固定在磁铁架54内，正常情况下小圆安装孔5432恰好卡在第二限位槽5442上，此时顶出销544在磁铁架内部；当有外力作用在活动销543上时，活动销543向下运动，在弹簧的作用力下顶出销544向外顶出，此时大圆安装孔431卡在第一限位槽441上，顶出销544实现对柱面镜头的顶出。

Claims

1.一种柱面镜测量设备，其特征在于：包括：气压式减震平台、安装在气压式减震平台上用于测量球面镜的激光干涉仪、与激光干涉仪连接的显示器、靠近激光干涉仪测量端与激光干涉仪垂直设置的导轨、设置在导轨上的辅助支架、靠近辅助支架且设置在气压式减震平台上的滑轨、安装在滑轨上用于放置柱面镜的调节支架、设置在调节支架底部与滑轨滑动连接的滑动座、设置在滑轨一侧且与调节支架底部的滑动座连接的光栅尺、与光栅尺电连的数显器；其中，所述激光干涉仪用于测量柱面镜的PV值；所述显示器用于显示激光干涉仪测量的数据、图像信息；所述辅助支架在导轨上能够进行滑动，在辅助支架上安装有柱面镜头，利用辅助支架上的柱面镜头实现对柱面镜的测量；所述调节支架通过滑动座能够在滑轨上进行滑动，调节支架上设置有柱面镜，通过调节支架能够对柱面镜的前后、左右、高低、仰俯角度进行调整；所述光栅尺与滑动座连接，当调节支架在滑轨上滑动时，利用光栅尺检测调节支架上柱面镜的半径；

所述辅助支架包括：安装在导轨上且在导轨上能够进行滑动的滑动座、设置在滑动座上的L型柱面镜头支架、安装在L型柱面镜头支架上的磁铁架、吸附在磁铁架上的柱面镜头；其中，在所述导轨的末端加工有限位销；所述限位销用于限制滑动座的移动位移；在所述导轨的水平面上加工有多个限位孔；所述滑动座的一端安装有L型安装座，在所述L型安装座上安装有可调节限位钮，当滑动座滑动到合适位置后，旋转可调节限位钮，将其旋转到限位孔内，以实现对滑动座的固定；所述L型柱面镜头支架的侧面安装有第一调节旋钮，在L型柱面镜头支架的底部安装有两个第二调节旋钮，在L型柱面镜头支架的顶端安装有夹紧旋钮，通过夹紧旋钮将磁铁架固定在L型柱面镜头支架上，通过第一调节旋钮、第二调节旋钮调节磁铁架的仰、俯角度；所述磁铁架的外轮廓为L型结构，磁铁架的中间为半圆形结构，在磁铁架的底部加工有托台；所述托台用于放置柱面镜头，起到支撑柱面镜头的作用；在所述磁铁架的三个顶点位置还加工有磁力垫；所述柱面镜头为方形结构，在柱面镜头的四角处均安装有镜头固定架；在所述镜头固定架上还设置有磁力钢珠，所述磁力钢珠吸附在磁力垫上。

2.根据权利要求1所述的一种柱面镜测量设备，其特征在于：在所述磁铁架外侧的两个顶点处还设有活动销，在磁铁架上吸附镜头固定架的一侧设置有顶出销；所述活动销与顶出销活动连接，当活动销受到向下施加的压力时，活动销向下移动，此时顶出销向外顶出。