CN207805857U - 一种还原炉钟罩内壁喷涂装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,包括:底座架、限位支架、动力台、驱动电机、齿轮、齿轮盘,所述底座架前端固定安装第一转轴,所述底座架固定连接固定块,所述固定块活动连接滑杆,所述滑杆固定连接滑轨,所述滑轨上端面固定连接限位支架,所述限位支架包括圆形基架、托轮和定位轮,所述圆形基架内侧壁连接有卡环所述卡环活动连接定位轮,所述定位轮内侧壁活动连接还原炉,所述还原炉右端固定套接齿轮盘,所述齿轮盘连接齿轮,所述齿轮固定连接驱动电机,该还原炉钟罩内壁喷涂装置,其能够降达到还原炉钟罩喷涂作业的高速旋转要求,并能够稳定旋转,达到喷涂均匀的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体硅制备技术领域,具体为一种还原炉钟罩内壁喷涂装置。
背景技术
改良西门子法是国际上生产多晶硅的主流技术,在多晶硅生产过程中,需要电能加热将硅棒的温度保持在1000℃-1200℃,还原炉内的热量通过两种方式传递到炉内壁上,一种是高温硅棒通过辐射传热将其热量传递到还原炉内壁上,一种是被加热的反应气体通过对流传热将热量传递到内壁上。多晶硅还原炉主要是由奥氏体不锈钢制作,如果多晶硅还原炉内壁温度过高,一方面会导致奥氏体不锈钢耐压性能下降而产生形变问题,另一方面会导致奥氏体不锈钢中的合金元素逸出,进而会污染产品和破坏不锈钢结构,因此通常利用设置在还原炉夹套内的承压冷却水带走经热辐射和对流传热传递到还原炉内壁表面的热量,使还原炉内壁温度保持在500℃以下,但是,承压冷却水带走的热量约占还原炉电耗的80%。当前,在还原炉内壁进行热反射材料的喷涂是一种有效减少还原炉热量损失的新技术,然而,由于还原工艺的特殊性,对于喷涂作业有着比较高的要求,这就对喷涂作业的工装提出了新的要求,由于此技术是一种多晶硅生产节能新技术,对于还原炉喷涂作业的工装目前还是空白,尤其是旋转工装,为此,我们提出一种还原炉钟罩内壁喷涂装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,包括:底座架、限位支架、动力台、驱动电机、齿轮、齿轮盘,所述底座架前端固定安装第一转轴,所述转轴连接电机,所述底座架底端固定连接插针,所述底座架固定连接固定块,所述固定块活动连接滑杆,所述滑杆固定连接滑轨,所述滑轨内腔上下两侧壁均固定连接齿条,所述滑轨内腔安装第二转轴,所述第二转轴外侧壁固定连接齿,所述滑轨上端面固定连接限位支架,所述限位支架包括圆形基架、托轮和定位轮,所述圆形基架包括第一基架和第二基架,所述第一基架和第二基架右端通过转轴活动连接,所述第一基架和第二基架的左端分别固定连接第一挡板和第二挡板,所述第一挡板和第二挡板通过螺杆螺纹连接,所述圆形基架内侧壁连接有卡环所述卡环活动连接定位轮,所述定位轮内侧壁活动连接还原炉,所述还原炉右端固定套接齿轮盘,所述齿轮盘连接齿轮,所述齿轮中间固定连接驱动电机的转轴外侧壁,所述驱动电机固定安装在动力台上端,所述动力台底端连接导轨连接。
优选的,所述第二转轴套接第一转轴外侧壁。
优选的,所述齿条和齿啮合连接,所述齿连接在第二转轴外侧壁的一半。
优选的,所述限位支架至少设有2个,且限位支架均活动连接还原炉。
优选的,所述驱动电机与齿轮同轴连接,所述齿轮与齿轮盘啮合连接。
优选的,所述插针设有若干,且插针均匀分布在底座架底端面。
优选的,所述卡环至少设有4个,呈环形阵列排列在圆形基架内侧壁。
优选的,所述滑杆活动插接固定块。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该还原炉钟罩内壁喷涂装置,通过滑杆、滑轨、固定块、齿条和齿相互配合,能够自动左右移动还原炉钟罩,节省人力,避免还原炉钟罩喷涂作业的不均匀的现象;通过齿轮和齿轮盘作用还原炉钟罩,能够达到还原炉钟罩喷涂作业的高速旋转要求,并能够稳定旋转,达到喷涂均匀的目的,提高工作效率,结构运行更加稳定、操作简便;通过卡环和定位轮的设置,能够减少摩擦阻力,提高还原炉钟罩旋转的灵活性,达到喷涂均匀的效果。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型底座架结构剖视图;
图3为本实用新型的限位支架结构示意图。
图中:1底座架、2限位支架、3动力台、4驱动电机、5齿轮、6齿轮盘、7电机、8滑杆、9转轴、91第二转轴、92齿、10还原炉、11固定块、12滑轨、121齿条、13插针、14第一基架、141第一挡板、15第二基架、151第二挡板、16螺杆、17定位轮、18卡环、19托轮、20转轴、21圆形基架、22导轨。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,包括:底座架1、限位支架2、动力台3、驱动电机4、齿轮5、齿轮盘6,所述底座架1前端固定安装第一转轴9,所述转轴9连接电机7,所述底座架1底端固定连接插针13,所述插针13设有若干,均匀分布在底座架1底端面,所述底座架1固定连接固定块11,所述固定块11活动插接连接滑杆8,所述滑杆8固定连接滑轨12,所述滑轨12内腔上下两侧壁均固定连接齿条121,所述滑轨12内腔安装第二转轴91,第二转轴91套接第一转轴9外侧壁,所述齿条121和齿92啮合连接,所述第二转轴91外侧壁固定连接齿92,所述齿92连接在第二转轴91外侧壁的一半,所述滑轨12上端面固定连接限位支架2,所述限位支架2至少设有2个,且限位支架2均活动连接还原炉10,所述限位支架2包括圆形基架21、托轮19和定位轮17,所述圆形基架21包括第一基架14和第二基架15,所述第一基架14和第二基架15右端通过转轴20活动连接,所述第一基架14和第二基架15的左端分别固定连接第一挡板141和第二挡板151,所述第一挡板141和第二挡板151通过螺杆16螺纹连接,所述圆形基架21内侧壁连接有卡环18所述卡环18活动连接定位轮17,所述定位轮17内侧壁活动连接还原炉10,所述还原炉10右端固定套接齿轮盘6,所述齿轮盘6连接齿轮5,所述齿轮5中间固定连接驱动电机4的转轴外侧壁,所述驱动电机2与齿轮5同轴连接,所述齿轮5与齿轮盘6啮合连接,所述驱动电机4固定安装在动力台3上端,所述动力台3底端连接导轨22连接。
工作原理:使用时,打开限位支架2,将还原炉钟罩平躺于限位支架2上,关闭限位支架2,启动电机7带动转轴9和第二转轴91,通过齿92和齿条121啮合连接,带动滑轨12左右移动,启动驱动电机4,通过齿轮5和齿轮盘6带动还原炉10转动,调整速度由满变快,直至调整到需要的转速,当还原炉10调整至所需转速并运行平稳开始进行喷涂作业。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,包括:底座架(1)、限位支架(2)、动力台(3)、驱动电机(4)、齿轮(5)、齿轮盘(6),其特征在于:所述底座架(1)前端固定安装第一转轴(9),所述转轴(9)连接电机(7),所述底座架(1)底端固定连接插针(13),所述底座架(1)固定连接固定块(11),所述固定块(11)活动连接滑杆(8),所述滑杆(8)固定连接滑轨(12),所述滑轨(12)内腔上下两侧壁均固定连接齿条(121),所述滑轨(12)内腔安装第二转轴(91),所述第二转轴(91)外侧壁固定连接齿(92),所述滑轨(12)上端面固定连接限位支架(2),所述限位支架(2)包括圆形基架(21)、托轮(19)和定位轮(17),所述圆形基架(21)包括第一基架(14)和第二基架(15),所述第一基架(14)和第二基架(15)右端通过转轴(20)活动连接,所述第一基架(14)和第二基架(15)的左端分别固定连接第一挡板(141)和第二挡板(151),所述第一挡板(141)和第二挡板(151)通过螺杆(16)螺纹连接,所述圆形基架(21)内侧壁连接有卡环(18)所述卡环(18)活动连接定位轮(17),所述定位轮(17)内侧壁活动连接还原炉(10),所述还原炉(10)右端固定套接齿轮盘(6),所述齿轮盘(6)连接齿轮(5),所述齿轮(5)中间固定连接驱动电机(4)的转轴外侧壁,所述驱动电机(4)固定安装在动力台(3)上端,所述动力台(3)底端连接导轨(22)连接。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述第二转轴(91)套接第一转轴(9)外侧壁。
3.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述齿条(121)和齿(92)啮合连接,所述齿(92)连接在第二转轴(91)外侧壁的一半。
4.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述限位支架(2)至少设有2个,且限位支架(2)均活动连接还原炉(10)。
5.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述驱动电机(4)与齿轮(5)同轴连接,所述齿轮(5)与齿轮盘(6)啮合连接。
6.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述插针(13)设有若干,且插针(13)均匀分布在底座架(1)底端面。
7.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述卡环(18)至少设有4个,呈环形阵列排列在圆形基架(21)内侧壁。
8.根据权利要求1所述的一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,其特征在于:所述滑杆(8)活动插接固定块(11)。
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CN201721896361.4U CN207805857U (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 一种还原炉钟罩内壁喷涂装置 |
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CN111286731A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-16 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用 |
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CN111286731B (zh) * | 2020-02-20 | 2020-12-15 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用 |
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