CN207800566U - 一种固体蜡上蜡机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种固体蜡上蜡机构，其包括工作台、加热盘、加热棒、支撑柱、陶瓷盘、伺服气缸旋转结构、伺服丝杠滑动结构、固体蜡滴蜡装置和滴蜡盒；所述工作台上设置有所述加热盘，所述加热盘内设置有所述加热棒；所述加热盘底部通过所述支撑柱与所述工作台连接，所述加热盘上部设置有所述陶瓷盘，所述陶瓷盘底部设置有连接轴，该连接轴穿过所述加热盘与位于所述工作台底部的所述伺服气缸旋转结构连接；所述工作台上还设置有所述伺服丝杠滑动结构，所述固体蜡滴蜡装置设置在所述伺服丝杠滑动结构上，且所述固体蜡滴蜡装置出口与所述滴蜡盒连接，所述滴蜡盒位于所述陶瓷盘上方。本实用新型能在X轴方向移动定位，实现陶瓷盘旋转滴蜡。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种上蜡机构，特别是关于一种在半导体制造领域中应用的固体蜡上蜡机构。
背景技术
目前，市场上有各种各样的半导体制造领域单晶片固体蜡上蜡机构，但是现有机构不能实现在X轴方向移动定位，使用较为不便。因此，亟需提供一种改进式的上蜡机构。
发明内容
针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种固体蜡上蜡机构，其能在X轴方向移动定位，实现陶瓷盘旋转滴蜡。
为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：它包括工作台、加热盘、加热棒、支撑柱、陶瓷盘、伺服气缸旋转结构、伺服丝杠滑动结构、固体蜡滴蜡装置和滴蜡盒；所述工作台上设置有所述加热盘，所述加热盘内设置有所述加热棒；所述加热盘底部通过所述支撑柱与所述工作台连接，所述加热盘上部设置有所述陶瓷盘，所述陶瓷盘底部设置有连接轴，该连接轴穿过所述加热盘与位于所述工作台底部的所述伺服气缸旋转结构连接；所述工作台上还设置有所述伺服丝杠滑动结构，所述固体蜡滴蜡装置设置在所述伺服丝杠滑动结构上，且所述固体蜡滴蜡装置出口与所述滴蜡盒连接，所述滴蜡盒位于所述陶瓷盘上方。本实用新型具有X轴方向移动定位，实现陶瓷盘旋转滴蜡。
进一步，所述伺服丝杠滑动结构包括直线导轨、滚珠丝杠、第一伺服电机、支撑板、传感器支架、传感器和传动结构；所述直线导轨与所述滚珠丝杠平行设置在所述工作台上，且所述直线导轨上的滑动与所述滚珠丝杠上的滚珠螺母固定连接，所述滚珠丝杠通过所述传动结构与所述第一伺服电机输出端连接；所述直线导轨的滑块上固定设置有所述支撑板，所述固体蜡滴蜡装置固定安装在所述支撑板上；所述传感器支架与所述滚珠丝杠平行设置在所述工作台上，所述传感器支架上间隔设置有两个以上的所述传感器。
进一步，所述传动结构包括小同步带轮、同步带和大同步带轮；所述小同步带轮与所述滚珠丝杠动力端同轴连接，所述大同步带轮与所述第一伺服电机输出端同轴连接，所述小同步带轮经所述同步带与所述大同步带轮传动连接。
进一步，所述第一伺服电机通过电机支架设置在所述工作台上。
进一步，所述滚珠丝杠上设置有光电感应片。
进一步，所述伺服气缸旋转结构包括连接总架、旋转轴、旋转支撑圈、轴承、轴套、轴承座、轴承座支撑板、气缸、支撑套、支撑杆、固定板和直线轴承；所述连接总架安装在所述工作台底部，所述旋转轴一端通过所述旋转支撑圈穿过所述连接总架与所述陶瓷盘的连接轴连接；所述旋转轴另一端通过所述轴承和轴套安装在所述轴承座上，所述轴承座安装在所述轴承座支撑板上；所述气缸一端与所述连接总架底部固定连接，另一端通过所述支撑套连接在所述轴承座支撑板上；所述支撑杆一端与所述连接总架连接，所述支撑杆另一端穿过所述轴承座支撑板与所述固定板连接，且所述支撑杆与所述轴承座支撑板通过所述直线轴承连接。
进一步，所述伺服气缸旋转结构还包括大同步带轮、第二伺服电机、小同步带轮和同步带；在所述旋转轴另一端同轴连接有所述大同步带轮，所述第二伺服电机的输出端与所述小同步带轮同轴连接，所述大同步带轮与所述小同步带轮之间经所述同步带传动连接。
进一步，所述第二伺服电机通过电机支撑板设置在所述轴承座支撑板上。
进一步，所述旋转轴与所述轴承座通过卡簧固定在一起。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的分解示意图；
图3是本实用新型的伺服丝杆滑动结构分解示意图；
图4是本实用新型的伺服气缸旋转结构分解示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的描述。
如图1、图2所示，本实用新型提供一种固体蜡上蜡机构，其包括工作台1、加热盘2、加热棒3、支撑柱4、陶瓷盘5、伺服气缸旋转结构6、伺服丝杠滑动结构7、固体蜡滴蜡装置8和滴蜡盒9。
工作台1用于安装承载其他结构，位于工作台1上设置有加热盘2，加热盘2 内设置有加热棒3。加热盘2底部通过支撑柱4与工作台1连接，加热盘2上部设置有陶瓷盘5，陶瓷盘5底部设置有连接轴，该连接轴穿过加热盘2与位于工作台 1底部的伺服气缸旋转结构6连接。工作台1上还设置有伺服丝杠滑动结构7，固体蜡滴蜡装置8设置在伺服丝杠滑动结构7上，且固体蜡滴蜡装置8出口与滴蜡盒9连接，用于接收从固体蜡滴蜡装置8流出的蜡，滴蜡盒9位于陶瓷盘5上方。
在一个优选地实施例中，如图3所示，伺服丝杠滑动结构7包括直线导轨10、滚珠丝杠11、第一伺服电机12、支撑板13、传感器支架14、传感器15和传动结构。
直线导轨10与滚珠丝杠11平行设置在工作台1上，且直线导轨10上的滑动与滚珠丝杠11上的滚珠螺母固定连接，滚珠丝杠11通过传动结构与第一伺服电机12输出端连接，由第一伺服电机12驱动其工作，进而带动直线导轨10上的滑动沿直线导轨10进行X轴移动。直线导轨10的滑块上固定设置有支撑板13，固体蜡滴蜡装置8固定安装在支撑板13上。传感器支架14与滚珠丝杠11平行设置在工作台1上，传感器支架14上间隔设置有两个以上的传感器15，通过传感器 15限位保护滚珠丝杠11的移动行程。使用时，通过第一伺服电机12驱动，带动固体蜡滴蜡装置8沿X轴方向运行。
上述实施例中，传动结构包括小同步带轮16、大同步带轮17和同步带18。小同步带轮16与滚珠丝杠11动力端同轴连接，大同步带轮17与第一伺服电机12 输出端同轴连接，小同步带轮16经同步带18与大同步带轮17传动连接，进而实现由第一伺服电机12带动滚珠丝杠11转动。
上述各实施例中，第一伺服电机12通过电机支架19设置在工作台1上。
上述各实施例中，在滚珠丝杠11上还设置有光电感应片20。
在一个优选地实施例中，如图4所示，伺服气缸旋转结构6包括连接总架21、旋转轴22、旋转支撑圈23、轴承24、轴套25、轴承座26、卡簧27、轴承座支撑板28、大同步带轮29、第二伺服电机30、小同步带轮31、同步带32、电机支撑板33、气缸34、支撑套35、支撑杆36、固定板37和直线轴承38。
连接总架21安装在工作台1底部，旋转轴22一端通过旋转支撑圈23穿过连接总架21与陶瓷盘5的连接轴连接。旋转轴22另一端通过轴承24和轴套25 安装在轴承座26上，并通过卡簧27将旋转轴22与轴承座26固定在一起，轴承座26安装在轴承座支撑板28上。在旋转轴22另一端同轴连接有大同步带轮29，第二伺服电机30的输出端与小同步带轮31同轴连接，大同步带轮29与小同步带轮31之间经同步带32进行传动连接，进而实现由第二伺服电机30带动旋转轴22 转动；其中，第二伺服电机30通过电机支撑板33设置在轴承座支撑板28上。气缸34一端与连接总架21底部固定连接，气缸34另一端通过支撑套35连接在轴承座支撑板28上，支撑杆36一端与连接总架21连接，支撑杆36另一端穿过轴承座支撑板28与固定板37连接，且支撑杆36与轴承座支撑板28通过直线轴承 38连接。使用时，由气缸34驱动，使除固定板37和直线轴承38外的其他零件升降，上升可以托起在加热盘2上的陶瓷盘5，在通过第二伺服电机30驱动，旋转轴22旋转，可以带动托起的陶瓷盘5旋转。
上述各实施例仅用于说明本实用新型，各部件的结构、尺寸、设置位置及形状都是可以有所变化的，在本实用新型技术方案的基础上，凡根据本实用新型原理对个别部件进行的改进和等同变换，均不应排除在本实用新型的保护范围之外。
Claims (9)
1.一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：它包括工作台、加热盘、加热棒、支撑柱、陶瓷盘、伺服气缸旋转结构、伺服丝杠滑动结构、固体蜡滴蜡装置和滴蜡盒；所述工作台上设置有所述加热盘，所述加热盘内设置有所述加热棒；所述加热盘底部通过所述支撑柱与所述工作台连接，所述加热盘上部设置有所述陶瓷盘，所述陶瓷盘底部设置有连接轴，该连接轴穿过所述加热盘与位于所述工作台底部的所述伺服气缸旋转结构连接；所述工作台上还设置有所述伺服丝杠滑动结构，所述固体蜡滴蜡装置设置在所述伺服丝杠滑动结构上，且所述固体蜡滴蜡装置出口与所述滴蜡盒连接，所述滴蜡盒位于所述陶瓷盘上方。
2.如权利要求1所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述伺服丝杠滑动结构包括直线导轨、滚珠丝杠、第一伺服电机、支撑板、传感器支架、传感器和传动结构；所述直线导轨与所述滚珠丝杠平行设置在所述工作台上，且所述直线导轨上的滑动与所述滚珠丝杠上的滚珠螺母固定连接，所述滚珠丝杠通过所述传动结构与所述第一伺服电机输出端连接；所述直线导轨的滑块上固定设置有所述支撑板，所述固体蜡滴蜡装置固定安装在所述支撑板上；所述传感器支架与所述滚珠丝杠平行设置在所述工作台上，所述传感器支架上间隔设置有两个以上的所述传感器。
3.如权利要求2所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述传动结构包括小同步带轮、同步带和大同步带轮；所述小同步带轮与所述滚珠丝杠动力端同轴连接，所述大同步带轮与所述第一伺服电机输出端同轴连接，所述小同步带轮经所述同步带与所述大同步带轮传动连接。
4.如权利要求2或3所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述第一伺服电机通过电机支架设置在所述工作台上。
5.如权利要求2或3所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述滚珠丝杠上设置有光电感应片。
6.如权利要求1所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述伺服气缸旋转结构包括连接总架、旋转轴、旋转支撑圈、轴承、轴套、轴承座、轴承座支撑板、气缸、支撑套、支撑杆、固定板和直线轴承；所述连接总架安装在所述工作台底部，所述旋转轴一端通过所述旋转支撑圈穿过所述连接总架与所述陶瓷盘的连接轴连接；所述旋转轴另一端通过所述轴承和轴套安装在所述轴承座上，所述轴承座安装在所述轴承座支撑板上；所述气缸一端与所述连接总架底部固定连接，另一端通过所述支撑套连接在所述轴承座支撑板上；所述支撑杆一端与所述连接总架连接，所述支撑杆另一端穿过所述轴承座支撑板与所述固定板连接，且所述支撑杆与所述轴承座支撑板通过所述直线轴承连接。
7.如权利要求6所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述伺服气缸旋转结构还包括大同步带轮、第二伺服电机、小同步带轮和同步带；在所述旋转轴另一端同轴连接有所述大同步带轮，所述第二伺服电机的输出端与所述小同步带轮同轴连接，所述大同步带轮与所述小同步带轮之间经所述同步带传动连接。
8.如权利要求7所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述第二伺服电机通过电机支撑板设置在所述轴承座支撑板上。
9.如权利要求6所述的一种固体蜡上蜡机构，其特征在于：所述旋转轴与所述轴承座通过卡簧固定在一起。
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