CN207760219U - 高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器，属石英玻璃生产技术领域。它由料仓、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室、氢气外仓室构成，料仓、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室和氢气外仓室由上至下呈层叠状设置，氢气外仓室的下方密封设置有筛板，筛板上均布有多个下料孔。该石英燃烧可满足大规格石英锭熔制所需的合适火焰，各仓室均可通过进气管对进气流量进行调节。使气体流量更加稳定，进而使氢、氧外混更加均匀，解决了单点下料时出现中空状态所带来的品质问题，使生产效率成倍提升，特别适用于高品质石英玻璃锭生产使用。

Description

高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器

技术领域

本实用新型涉及一种高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器，属石英玻璃生产技术领域。

背景技术

在CVD 合成三类石英玻璃工艺中，燃烧器是工艺流程中的一个关键部件，完成氢氧的混合和燃烧，将四氯化硅引入反应器内并通过氧化或者水解反应生产纳米状态的二氧化硅颗粒，在合适的温度下沉积到基体上并熔融形成石英玻璃。目前采用的燃烧器为氧气载料，即用高纯氧气通过鼓泡罐将气态四氯化硅引入燃烧器内，这种燃烧一般是单点下料，这种燃烧器的化料能力有限，四氯化硅基本上依靠火焰内部的水解反应生成二氧化硅颗粒；因此当四氯化硅流量加大时，料带内部出现空心现象，导致四氯化硅不能全部反应，从而影响沉积速率和得料率。

目前，熔制石英玻璃锁使用的氢氧燃烧器，基本上为单点下料燃烧器，即在燃烧火焰上只有一根料管。当四氯化硅流量加大时，料带内部出现空心现象，导致四氯化硅不能全部反应，从而影响沉积速率和得料率。目前的沉积速度最大能达到600g/h左右，想继续提高生长速度非常困难。

发明内容

本实用新型的目的在于：提供一种各舱室可单独调节，具有氢、氧气混合均匀，同时以多点下料方式提高沉积速率和得料率，以解决现有氢氧燃烧器生产速度低，效率低等问题的高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器。

本实用新型是通过以下技术方案来实现上述目的的：

一种高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器，它由料仓、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室、氢气外仓室构成，其特征在于：料仓、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室和氢气外仓室由上至下呈层叠状设置，氢气外仓室的下方密封设置有筛板，筛板上均布有多个下料孔，下料孔外围的筛板上均布有多个料保孔，料保孔外围的筛板上设置有多个氧气孔和氢气孔，料仓的顶部设置有进料管，料仓的底部设置有多个下料管，料保仓上设置有料保进气管，料保仓底部设置有料保仓连通管，下料管和料保仓连通管的一端分别延伸至与其对应的下料孔和料保孔内；氧气内仓室上设置有内氧进气管，氧气中仓室上设置有中氧进气管，氧气外仓室上设置有外氧进气管，氧气内仓室、氧气中仓室和氧气外仓室的底部分别设置有氧气连通管，氧气连通管的一端分别延伸至筛板上与其对应的氧气孔内，氢气内仓室上设置有内氢进气管、氢气中仓室上设置有中氢进气管，氢气外仓室上设置有外氢进气管，氢气内仓室、氢气中仓室和氢气外仓室的底部分别设置有氢气连通管，氢气连通管的一端分别延伸至筛板上与其对应的氢气孔内。

所述的下料管、料保仓连通管、氧气连通管和氢气连通管的的下端口分别与筛板下表面平齐。

所述的料仓分布室、料保仓、氧气内仓室、氢气内仓室、氧气中仓室、氢气中仓室、氧气外仓室、氢气外仓室相互之间分别独立。

所述的氧气孔和氢气孔在筛板上呈环形交错状设置。

本实用新型与现有技术相比的有益效果在于：

该用于熔制石英玻璃锭的氢氧焰石英燃烧器由多个套装在一起氢、氧气仓室构成，各氢、氧气仓室互为独立。可满足大规格石英锭熔制所需的合适火焰，各仓室均可通过进气管对进气流量进行调节。使气体流量更加稳定，进而使氢、氧外混更加均匀，热效率提高；同时采用多点下料，避免了单点下料时出现中空状态所带来的品质问题，使生产效率成倍提升，特别适用于高品质石英玻璃锭生产使用。

附图说明

图1 为本实用新型的结构示意图，

图2为本实用新型的筛板的结构示意图。

图中：1、料仓，2、料保仓，3、氧气内仓室，4、氢气内仓室，5、氧气中仓室，6、氢气中仓室，7、氧气外仓室，8、氢气外仓室，9、筛板，10、下料孔，11、进料管，12、下料管，13、料保进气管，14、料保仓连通管，15、内氧进气管，16、中氧进气管，17、外氧进气管，18、氧气连通管，19、内氢进气管，20、中氢进气管，21、外氢进气管，22、氢气连通管。

具体实施方式

该高速合成石英玻璃生产用多点下料石英燃烧器由料仓1、料保仓2、氧气内仓室3、氢气内仓室4、氧气中仓室5、氢气中仓室6、氧气外仓室7、氢气外仓室8构成。料仓1、料保仓2、氧气内仓室3、氢气内仓室4、氧气中仓室5、氢气中仓室6、氧气外仓室7、氢气外仓室8由上至下呈层叠状设置，料仓1、料保仓2、氧气内仓室3、氢气内仓室4、氧气中仓室5、氢气中仓室6、氧气外仓室7、氢气外仓室8之间相互独立。氢气外仓室8的下方密封设置有筛板9，筛板9上均布有多个下料孔10，下料孔10外围的筛板9上均布有多个料保孔，料保孔外围的筛板9上设置有多个氧气孔和氢气孔。

该燃烧器的料仓1顶部设置有进料管11，料仓1的底部设置有4个下料管12，料保仓2上设置有料保进气管13，料保仓2底部设置有料保仓连通管14，下料管12和料保仓连通管14的一端分别延伸至筛板9上与其对应的下料孔10和料保孔内。

该燃烧器的氧气内仓室3上设置有内氧进气管15，氧气中仓室5上设置有中氧进气管16，氧气外仓室7上设置有外氧进气管17，氧气内仓室3、氧气中仓室5和氧气外仓室7的底部分别设置有氧气连通管18，氧气连通管18的一端分别延伸至筛板9上与其对应的氧气孔内。

氢气内仓室4上设置有内氢进气管19、氢气中仓室6上设置有中氢进气管20，氢气外仓室8上设置有外氢进气管21，氢气内仓室4、氢气中仓室6和氢气外仓室8的底部分别设置有氢气连通管22，氢气连通管22的一端分别延伸至筛板9上与其对应的氢气孔内。

下料管12、料保仓连通管14、氧气连通管18和氢气连通管22的下端口分别与筛板9下表面平齐。

该石英燃烧器的氧气孔和氢气孔在筛板9上呈环形交错状设置。工作时，氢、氧气体通过进气管进入各个仓室内，同时在下端口喷出形成一道外混聚焦的火焰，并与下料管12喷出的料进行预混，从而沉积合成石英玻璃锭。

该石英燃烧器由于具有多个下料管12且具有多个互为独立的氢、氧气仓室，因此可满足大规格石英锭熔制所需的合适火焰，同时，各仓室均可通过氢、氧气进气管对进气流量进行调节，使氢、氧气气体流量更加稳定，进而使氢、氧外混更加均匀，解决了避免了单点下料加大料量时出现中空状态所带来的品质问题，使生产效率成倍提升，特别适用于高品质石英玻璃锭生产使用。

Claims (4)

1.一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器，它由料仓（1）、料保仓（2）、氧气内仓室（3）、氢气内仓室（4）、氧气中仓室（5）、氢气中仓室（6）、氧气外仓室（7）、氢气外仓室（8）构成，其特征在于：料仓（1）、料保仓（2）、氧气内仓室（3）、氢气内仓室（4）、氧气中仓室（5）、氢气中仓室（6）、氧气外仓室（7）和氢气外仓室（8）由上至下呈层叠状设置，氢气外仓室（8）的下方密封设置有筛板（9），筛板（9）上均布有多个下料孔（10），下料孔（10）外围的筛板（9）上均布有多个料保孔，料保孔外围的筛板（9）上设置有多个氧气孔和氢气孔，料仓（1）的顶部设置有进料管（11），料仓（1）的底部设置有多个下料管（12），料保仓（2）上设置有料保进气管（13），料保仓（2）底部设置有料保仓连通管（14），下料管（12）和料保仓连通管（14）的一端分别延伸至与其对应的下料孔（10）和料保孔内；氧气内仓室（3）上设置有内氧进气管（15），氧气中仓室（5）上设置有中氧进气管（16），氧气外仓室（7）上设置有外氧进气管（17），氧气内仓室（3）、氧气中仓室（5）和氧气外仓室（7）的底部分别设置有氧气连通管（18），氧气连通管（18），的一端分别延伸至筛板（9）上与其对应的氧气孔内，氢气内仓室（4）上设置有内氢进气管（19）、氢气中仓室（6）上设置有中氢进气管（20），氢气外仓室（8）上设置有外氢进气管（21），氢气内仓室（4）、氢气中仓室（6）和氢气外仓室（8）的底部分别设置有氢气连通管（22），氢气连通管（22）的一端分别延伸至筛板（9）上与其对应的氢气孔内。

2.根据权利要求1所述的一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器，其特征在于：所述的下料管（12）、料保仓连通管（14）、氧气连通管（18）和氢气连通管（22）的下端口分别与筛板（9）下表面平齐。

3.根据权利要求1所述的一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器，其特征在于：所述的料仓（1）、料保仓（2）、氧气内仓室（3）、氢气内仓室（4）、氧气中仓室（5）、氢气中仓室（6）、氧气外仓室（7）、氢气外仓室（8）相互之间分别独立。

4.根据权利要求1所述的一种高速合成石英玻璃生产用多点下料燃烧器，其特征在于：所述的氧气孔和氢气孔在筛板（9）上呈环形交错状设置。