CN207689327U - 气体透过率测试仪及其防泄漏结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种气体透过率测试仪及其防泄漏结构,防泄漏结构包括第一盖体、第二盖体、至少两个不同尺寸的密封圈及抽真空装置,测试时,将测试样品置于第一盖体与第二盖体之间,样品分隔第一凹槽与第二凹槽,分别对第一凹槽与第二凹槽抽真空,然后对第一凹槽内充入测试气体,使第一凹槽形成相对的高压室,第二凹槽形成相对的低压室,相邻两个不同尺寸的密封圈与第一盖体及第二盖体之间形成密封腔,由于样品不覆盖或者不完全覆盖气流管道,因此抽真空装置通过气流管道将密封腔抽真空,可以有效防止空气在样品的厚度方向及样品与第二盖体的贴合面渗透进低压室内,从而提高了样品气体透过率测试的准确性,进而提高了样品阻隔性测试的精准性。
Description
技术领域
本实用新型涉及透气性测试技术领域,特别是涉及一种气体透过率测试仪及其防泄漏结构。
背景技术
压差法气体透过率测试方法常常作为包材或者其它新材料透气性的测试方法之一。真空法是压差法中最具代表性的一种测试方法,它的测试原理是利用试样将渗透腔隔成两个独立的空间,先将试样两侧都抽成真空,然后向其中一侧充入测试气体,而另一侧继续保持真空状态。这样在试样的两侧就形成了压差,测试气体渗透试样进入低压侧并引起低压侧的压力的变化,通过使用高进度真空规测量低压侧的压力变化量就可以得到测试气体的气体透过量。
然而,目前的压差法气体透过率测试仪的密封方式中,均有空气渗透到低压室,导致泄漏而引入误差,影响试样气体透过量测试的准确性。
实用新型内容
基于此,有必要针对上述技术问题,提供一种可以有效防止泄漏以提高测试准确性的气体透过率测试仪及其防泄漏结构。
一种气体透过率测试仪的防泄漏结构,包括:
第一盖体,一面开设有第一凹槽;
第二盖体,与所述第一盖体相对设置,所述第二盖体面向于所述第一盖体的一面开设有与所述第一凹槽相对应的第二凹槽;
至少两个不同尺寸的密封圈,位于所述第一盖体与所述第二盖体之间,且相邻两个不同尺寸的所述密封圈与所述第一盖体及所述第二盖体之间形成密封腔;及
抽真空装置,通过气流管道与所述密封腔相连通,所述抽真空装置用于将所述密封腔抽真空;
其中,测试样品时,将所述样品置于所述第一盖体与所述第二盖体之间,所述样品分隔所述第一凹槽与所述第二凹槽,所述样品的边缘不覆盖或者不完全覆盖所述气流管道。
在其中一个实施例中,所述第一盖体的一面还开设有多个收容槽,所述密封圈分别位于所述收容槽内。
在其中一个实施例中,尺寸最小的所述密封圈为最内层密封圈,所述最内层密封圈位于所述第一盖体与所述样品之间。
在其中一个实施例中,所述密封圈的数量为两个,两个所述密封圈与所述第一盖体及所述第二盖体之间形成一密封腔;或者
所述密封圈的数量为三个,每相邻两个所述密封圈与所述第一盖体及所述第二盖体之间形成一密封腔。
在其中一个实施例中,所述气流管道的一端与所述抽真空装置相连通,所述气流管道的另一端贯穿所述第一盖体与所述密封腔相连通;或者
所述气流管道的一端与所述抽真空装置相连通,所述气流管道的另一端贯穿所述第二盖体与所述密封腔相连通。
在其中一个实施例中,所述气流管道上设置有防泄漏开关阀,所述防泄漏开关阀用于控制所述气流管道的开闭。
一种气体透过率测试仪,包括:
如以上任意一项所述的防泄漏结构;
气源,通过第一通道贯通所述第一盖体,以与所述第一凹槽相连通,所述气源用于向所述第一凹槽内充入测试气体以形成高压室。
在其中一个实施例中,还包括第二通道及第三通道,所述第二通道与所述第一通道及所述气流管道并联,所述第二通道贯通所述第二盖体与所述第二凹槽相连通,所述第三通道与所述第一通道相连通,所述抽真空装置用于将所述第一凹槽、所述第二凹槽及所述密封腔抽真空。
在其中一个实施例中,还包括气源开关,所述气源开关用于控制所述气源的开闭;和/或
还包括高压阀,所述高压阀用于控制所述第一通道的开闭;和/或
还包括低压阀,所述低压阀用于控制所述第二通道的开闭;和/或
还包括隔断阀,所述隔断阀用于控制所述第三通道的开闭;和/或
还包括放空阀,所述放空阀用于放空所述第一凹槽内的测试气体;和/或
还包括气体压力测试装置,所述气体压力测试装置用于监测测试气体的压力。
在其中一个实施例中,还包括支撑板,所述支撑板上开设有通孔,所述支撑板位于所述第一盖体与所述第二盖体之间,所述支撑板用于放置所述样品。
上述气体透过率测试仪及其防泄漏结构至少具有以下优点:
测试时,将测试样品置于第一盖体与第二盖体之间,样品分隔第一凹槽与第二凹槽,分别对第一凹槽与第二凹槽抽真空,然后对第一凹槽内充入测试气体,使第一凹槽形成相对的高压室,第二凹槽形成相对的低压室,相邻两个不同尺寸的密封圈与第一盖体及第二盖体之间形成密封腔,由于样品不覆盖或者不完全覆盖气流管道,因此抽真空装置通过气流管道将密封腔抽真空,可以有效防止空气在样品的厚度方向及样品与第二盖体的贴合面渗透进低压室内,从而提高了样品气体透过率测试的准确性,进而提高了样品阻隔性测试的精准性。
附图说明
图1为一实施方式中气体透过率测试仪的示意图;
图2为一实施方式中图1中A处的局部放大图;
图3为另一实施方式中图1中A处的局部放大图;
图4为又一实施方式中图1中A处的局部放大图;
图5为再一实施方式中图1中A处的局部放大图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
请参阅图1,为一实施方式中的气体透过率测试仪10,该气体透过率测试仪10能够有效防止泄漏现象,提高样品20的气体透过率测试的准确性,进而提高样品20阻隔性测试的精准性。具体地,气体透过率测试仪10包括气源100及防泄漏结构200。
防泄漏结构200主要包括第一盖体210、第二盖体220、至少两个不同尺寸的密封圈230及抽真空装置240。第一盖体210的一面开设有第一凹槽211,第二盖体220与第一盖体210相对设置,第二盖体220面向于第一盖体210的一面开设有与第一凹槽211相对应的第二凹槽221。第一盖体210的一面还开设有多个收容槽212,收容槽212大致呈环形,且各环形收容槽212的尺寸各不相同。
请一并参阅图2,各密封圈230位于第一盖体210与第二盖体220之间,且相邻两个不同尺寸的密封圈230与第一盖体210及第二盖体220之间形成密封腔200a。抽真空装置240通过气流管道250与密封腔200a相连通,抽真空装置240将密封腔200a内抽真空。各密封圈230分别位于各收容槽212内,以增大密封圈230与第一盖体210的侧壁之间的接触面积,从而增加密封性。
尺寸最小的密封圈230为最内层密封圈230’,最内层密封圈230’位于第一盖体210与样品20之间。例如,最内层密封圈230’压住样品20的边缘,有利于防止样品20移位。当然,在其它的实施方式中,最内层密封圈230’也可以压住样品20的边缘内侧,只要保证样品20不覆盖或者不完全覆盖气流管道250即可。样品20不覆盖气流管道250指的是:样品20完全不覆盖气流管道250,样品不完全覆盖气流管道指的是:样品20覆盖气流管道250的一部分,但不完全覆盖气流管道250。
请参阅图2,密封圈230的数量为两个,两个密封圈230与第一盖体210及第二盖体220之间形成一密封腔200a。气流管道250的一端与抽真空装置240相连通,气流管道250的另一端贯穿第一盖体210与密封腔200a相连通,以实现抽真空装置240通过气流管道250对密封腔200a内抽真空。
请参阅图3,在图3所示实施方式中,密封圈230的数量也为两个,两个密封圈230与第一盖体210及第二盖体220之间形成一密封腔200a。气流管道250的一端与抽真空装置240相连通,气流管道250的另一端贯穿第二盖体220与密封腔200a相连通,以实现抽真空装置240通过气流管道250对密封腔200a内抽真空。
请参阅图4,在图4所示实施方式中,密封圈230的数量为三个,每相邻两个密封圈230与第一盖体210及第二盖体220之间形成一密封腔200a。因此,密封腔200a的数量为两个。具体地,两个密封腔200a均通过气流管道250与抽真空装置240相连通,以实现两个密封腔200a的抽真空。气流管道250的一端与抽真空装置240相连通,另一端贯穿第一盖体210与密封腔200a相连通。
请参阅图5,在图5所示实施方式中,密封圈230的数量为三个,每相邻两个密封圈230与第一盖体210及第二盖体220之间形成一密封腔200a。因此,密封腔200a的数量为两个。具体地,两个密封腔200a均通过气流管道250与抽真空装置240相连通,以实现两个密封腔200a的抽真空。气流管道250的一端与抽真空装置240相连通,另一端贯穿第二盖体220与密封腔200a相连通。
具体到本实施方式中,气流管道250上设置有防泄漏开关阀251,防泄漏开关阀251用于控制气流管道250的开闭。
请再次参阅图1,气源100通过第一通道310贯通第一盖体210,以与第一凹槽211相连通,气源100用于向第一凹槽211内充入测试气体以形成高压室。气体透过率测试仪10还包括气源开关110及高压阀320,气源开关110用于控制气源100的开闭,高压阀320用于控制第一通道310的开闭。
气体透过率测试仪10还包括第二通道330、第三通道340、隔断阀350、低压阀360及放空阀370。第二通道330与第一通道310及气流管道250并联,第二通道330贯通第二盖体220与第二凹槽221相连通,第三通道340与第一通道310相连通,抽真空装置240用于将第一凹槽211、第二凹槽221及密封腔200a抽真空。隔断阀350用于控制第三通道340的开闭,放空阀370用于放空第一凹槽211内的测试气体。
具体到本实施方式中,气体透过率测试仪10还包括支撑板400,支撑板400上开设有通孔410,支撑板400位于第一盖体210与第二盖体220之间,支撑板400用于放置样品20。
具体到本实施方式中,气体透过率测试仪10还包括气体压力测试装置510、真空传感器520及控温模块530,气体压力测试装置510用于检测测试气体的压力,真空传感器520用于检测第二凹槽221内的真空度,控温模块530用于检测第二盖体220上的温度。
上述气体透过率测试仪10的具体工作原理如下:
测试样品20时,将样品20置于第一盖体210与第二盖体220之间,样品20分隔第一凹槽211与第二凹槽221,样品20的边缘不覆盖或者不完全覆盖气流管道250,防止抽真空装置240无法将密封腔200a抽真空。隔断阀350及高压阀320开启,抽真空装置240通过第一通道310及第三通道340对第一凹槽211内抽真空;低压阀360开启,抽真空装置240通过第二通道330对第二凹槽221内抽真空;防泄漏开关阀251开启,抽真空装置240通过气流管道250对密封腔200a内抽真空。抽真空结束后,隔断阀350、低压阀360及防泄漏开关阀251关闭,气源开关110开启,气源100通过第一通道310向第一凹槽211内充入测试气体,使第一凹槽211形成高压室,第二凹槽221形成低压室。测试气体充满第一凹槽211后,气源开关110关闭。通过测量低压室内的压力变化量即可得到测试气体的气体透过量。
测试结束后,隔断阀350和放空阀370开启,第一凹槽211内的测试气体经过第一通道310及第三通道340后通过放空阀370排出。
上述气体透过率测试仪10可以有效防止空气在样品20的厚度方向及样品20与第二盖体220的贴合面渗透进低压室内,从而提高了样品20气体透过率测试的准确性,进而提高了样品20阻隔性测试的精准性。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种气体透过率测试仪的防泄漏结构,其特征在于,包括:
第一盖体,一面开设有第一凹槽;
第二盖体,与所述第一盖体相对设置,所述第二盖体面向于所述第一盖体的一面开设有与所述第一凹槽相对应的第二凹槽;
至少两个不同尺寸的密封圈,位于所述第一盖体与所述第二盖体之间,且相邻两个不同尺寸的所述密封圈与所述第一盖体及所述第二盖体之间形成密封腔,尺寸最小的所述密封圈为最内层密封圈;及
抽真空装置,通过气流管道与所述密封腔相连通,所述抽真空装置用于将所述密封腔抽真空,所述气流管道的一端与所述抽真空装置相连通,所述气流管道的另一端贯穿所述第一盖体与所述密封腔相连通;或者所述气流管道的一端与所述抽真空装置相连通,所述气流管道的另一端贯穿所述第二盖体与所述密封腔相连通;所述气流管道上设置有防泄漏开关阀,所述防泄漏开关阀用于控制所述气流管道的开闭;
其中,测试样品时,将所述样品置于所述第一盖体与所述第二盖体之间,所述样品分隔所述第一凹槽与所述第二凹槽,所述样品被压在所述最内层密封圈与所述第二盖体之间,所述样品的边缘不覆盖或者不完全覆盖所述气流管道,所述样品与除最内层密封圈以外的其它所述密封圈间隔设置。
2.根据权利要求1所述的防泄漏结构,其特征在于,所述第一盖体的一面还开设有多个收容槽,所述密封圈分别位于所述收容槽内。
3.根据权利要求1所述的防泄漏结构,其特征在于,所述密封圈的数量为两个,两个所述密封圈与所述第一盖体及所述第二盖体之间形成一密封腔;或者
所述密封圈的数量为三个,每相邻两个所述密封圈与所述第一盖体及所述第二盖体之间形成一密封腔。
4.一种气体透过率测试仪,其特征在于,包括:
如权利要求1至3中任意一项所述的防泄漏结构;
气源,通过第一通道贯通所述第一盖体,以与所述第一凹槽相连通,所述气源用于向所述第一凹槽内充入测试气体以形成高压室。
5.根据权利要求4所述的气体透过率测试仪,其特征在于,还包括第二通道及第三通道,所述第二通道与所述第一通道及所述气流管道并联,所述第二通道贯通所述第二盖体与所述第二凹槽相连通,所述第三通道与所述第一通道相连通,所述抽真空装置用于将所述第一凹槽、所述第二凹槽及所述密封腔抽真空。
6.根据权利要求5所述的气体透过率测试仪,其特征在于,还包括气源开关,所述气源开关用于控制所述气源的开闭;和/或
还包括高压阀,所述高压阀用于控制所述第一通道的开闭;和/或
还包括低压阀,所述低压阀用于控制所述第二通道的开闭;和/或
还包括隔断阀,所述隔断阀用于控制所述第三通道的开闭;和/或
还包括放空阀,所述放空阀用于放空所述第一凹槽内的测试气体;和/或
还包括气体压力测试装置,所述气体压力测试装置用于监测测试气体的压力。
7.根据权利要求4所述的气体透过率测试仪,其特征在于,还包括支撑板,所述支撑板上开设有通孔,所述支撑板位于所述第一盖体与所述第二盖体之间,所述支撑板用于放置所述样品。
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CN115305457A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-11-08 | 拓荆科技(上海)有限公司 | 密封设备和半导体加工设备 |
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