CN105531574B - 薄膜室被抽空时的气密性测试 - Google Patents

薄膜室被抽空时的气密性测试 Download PDF

Info

Publication number
CN105531574B
CN105531574B CN201480046685.1A CN201480046685A CN105531574B CN 105531574 B CN105531574 B CN 105531574B CN 201480046685 A CN201480046685 A CN 201480046685A CN 105531574 B CN105531574 B CN 105531574B
Authority
CN
China
Prior art keywords
sample
film chamber
gas
flow
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201480046685.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105531574A (zh
Inventor
丹尼尔·维茨格
西尔维奥·德克尔
Original Assignee
Inficon GmbH Deutschland
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inficon GmbH Deutschland filed Critical Inficon GmbH Deutschland
Publication of CN105531574A publication Critical patent/CN105531574A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105531574B publication Critical patent/CN105531574B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3281Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • G01M3/3218Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators for flexible or elastic containers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

本发明涉及用于在由柔性材料制成的薄膜室(12)内测试含有气体的样品(18)的密封性的方法。所述薄膜室(12)被真空泵(28)抽空。本发明的特征在于从所述薄膜室(12)流出的由所述真空泵(28)产生的气流在抽空的过程中被测量以及对应于所述样品(18)的可能的泄漏处被检查。

Description

薄膜室被抽空时的气密性测试
技术领域
本发明涉及用于在柔性材料构成的薄膜室中测试含有气体的样品的气密性的方法。
背景技术
薄膜室是测试样品例如食品包装袋或其他柔性包装袋的气密性的测试室。目前,薄膜室至少部分地由柔软的弹性材料制成,当所述薄膜室被抽空时,该材料会紧贴薄膜室内的样品。在所述样品的环境内,在所述薄膜室内部形成真空状态。该真空状态把包含在样品内的填充气体通过可能的泄漏处排出到薄膜室内部的样品的外部环境中。薄膜室外部的大气压力会防止样品的内部压力导致样品在真空中爆裂。
通常地,已知有两种备选的方法用于在薄膜室内测试样品的气密性。在一种方法中,测试气体被加入到样品内的填充气体中,并且测试气体的部分压力在所述薄膜室的真空系统的气流中被测量。目前,所述测试气体的部分压力用作泄漏速率的测量标准。
另一个测试方法不依靠填充气体。在第一个步骤中,薄膜室被抽空,然后到达真空泵系统的阀门被关闭。之后,在第二个步骤中,随着时间变化的压力增量在薄膜室内部和样品外部被测量。该压力增量用作样品的泄漏速率的测量标准。由于“抽空”和“压力测量”这两个步骤必须被依次地执行,该方法对于工业上的气密性测试是不利的,因为这些步骤在气密性测试中需要很短的周期率。另一个不利之处是,在样品具有很大的泄漏处的情况下,填充气体将会在抽空阶段期间就已经从样品内被泵出。这样,在抽空阶段之后,样品已经被抽空,并且在压力测量阶段中将会被错误地认为是气密的。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种改进的用于在薄膜室内测试样品的气密性的方法。
本发明的用于在由柔性材料制成的薄膜室内测试含有气体的样品的密封性的方法,其中所述薄膜室被真空泵抽空;从所述薄膜室流出的由所述真空泵产生的气流在抽空阶段中被测量并且关于所述样品的可能的泄漏处被检查;一定期间内的被测得的气体流量被与所述一定期间内的参考气体流量进行比较,所述参考气体流量即气密的样品的气体流量。根据该技术方案,由真空泵产生的来自薄膜室的气体流量在抽空阶段期间就已经被测量,并且在抽空阶段期间就已经被检测以确定样品中可能存在的泄漏处。此处,在从样品中可能存在的泄漏处流出的气体积聚的期间,可以省去通常在抽空之后执行的压力测量。优选地,在抽空阶段期间被测得的气体流量被与样品被密封的情况下的气体流量情况进行比较。所述样品被密封的情况下的气体流量被用作参考气体流量。该参考气体流量可以在实际的压力测量之前被测量及存储。之后样品的泄漏速率可以被通过从测得的气体流量中减去该参考气体流量来确定。
所述测量可以利用置于真空泵的排气气流中的流量传感器来执行,或者作为备选方案,也可以利用设置在节流点的差分压力传感器来执行,所述差分压力传感器被设置在连接薄膜室和真空室,以便利用真空泵抽空薄膜室的管路系统中。
在测量之前,处于样品之外的薄膜室中的气体的量相对于处于样品之内的气体的量的比例应该被降低,例如通过使薄膜室的体积适应于样品的体积来降低该比例。
附图说明
下面是结合附图对本发明的实施方式进行的详细说明。在附图中:
图1示出了第一实施方式;
图2示出了第二实施方式;
图3示出了第三实施方式;
图4示出了第四实施方式;
图5示出了第五实施方式;以及
图6示出了第六实施方式。
具体实施方式
在所有的实施方式中,薄膜室12由两个围绕样品18,并且在它们的环绕样品18的边缘20的区域设有O形密封圈22的柔性薄膜14、16形成。所述O形密封圈22被以和所述薄膜14、16都邻接的方式置于所述薄膜14、16之间,防止气体通过所述两个薄膜14、16的边缘部分20流入所述薄膜室12中。下方的薄膜16具有用于连接气体输送管路26的连接器24,所述气体输送管路26被连接到真空泵28以便抽空所述薄膜室12。
所述样品18通常为柔性食品包装袋,为了简单起见在图中显示为椭圆形。所述样品18被填充气体充满,所述薄膜室12的体积适应于所述样品18的体积。这意味着所述薄膜室12中存在于所述样品18外部的空间很小。
在图1中,流量传感器30被设置在所述真空泵28的下游以便测量所述真空泵28的排气气流中的气体流量。在图2中,位于连接所述薄膜室12和所述真空泵28的所述管路系统26中的所述流量传感器30被设置成与所述真空泵28平行。在图3中,位于连接所述薄膜室12和所述真空泵28的所述管路系统26中的所述流量传感器30被设置成与所述真空泵28串接。在这种情况下,所述流量传感器30被精确地设置在所述薄膜室12和所述真空泵28之间。在图4中,位于连接所述薄膜室12和所述真空泵28的所述管路系统26中的压力传感器32被设置成与所述真空泵28平行。图4的实施方式对应于图2的实施方式,除了流量传感器30。
在图5的实施方式中,所述压力传感器被设置在所述真空泵28的下游;在图6的实施方式中,它被包含在连接所述薄膜室12和所述真空泵28的所述管路系统中。在图5及6的实施方式中,所述压力传感器30被分别设置成与节流点34平行,以便测量所述节流点34前后的压降。
对于所有实施方式而言,气体流量的测量,即通过所述流量传感器30或所述压力传感器32所做的测量,在通过所述真空泵28抽空所述薄膜室12的期间就被已经被执行,是共有的方案。这样,依照所述增压方法与传统的测试方法的差异在于所述测量并非在抽空之后的一个单独的步骤中被执行。这样用于测试所述样本18的气密性所花费的时间就被显著地减少。在所有实施方式中,在测试过程中被泵出薄膜室12的总气体流量Q总量由来自样品18之外的薄膜室12的气体量Q和来自样品18的气体量Q泄漏组成:
(1)Q总量=Q(t)+Q泄漏(p,t)
这两部分流量随时间变化的过程是薄膜室12内部的压力的函数。在使用真空泵28泵出气体的开始阶段,最初只有来自样品18外部的薄膜室12的气体会流动到真空泵28:
(2)Q=S xΔp
S:薄膜室内的吸气容量
在这个时刻,也就是在泵出气体的开始阶段,仍然没有气体从样品18流出,这是因为在样本18内部的压力和薄膜室12内部的样本18的周边环境中的压力之间没有足够的驱动力以差分压力Δp样品的形式存在:
Δp样品=0
其中
(3)Q泄漏=LxΔp样品
L:样品上的泄漏通道的气传导率
作为样品18外部的薄膜室12中的压力p1,作用于样品18中的泄漏处的所述驱动力会增加,使得泄漏速率随之增加。基于样品18中的较大的泄漏和样品18内部的较小的气体量,压力p2也会在样品内部减小,这是因为来自样品的气体也被真空泵28泵出。样品被泵空后泄漏气流终止。在这种状态下,根据传统的压力增量测量方法,样品会被错误地确定为是气密的。
通常应用下面的公式:
Δp=p1–p0
Δp样品=p2–p1
p0=在室的连接边缘(泵的吸嘴)处的压力;
p1=样品18外部的薄膜室12中的压力;以及
p2=样品18内部的压力。
为了使泄漏速率的流量信号相比于来自薄膜室12的流量变得更大,样品18外部的薄膜室12中的气体的量和样品18内部的气体的量的比值在上述过程的开始阶段必须尽可能的小。这个目的可以通过使薄膜室12的测试体积适应于样品18而达到。在这种情况下,薄膜室12的体积被保持为尽可能的小。样品18的尺寸限定了薄膜室的必要直径。这样样品18外部的薄膜室12中的压力将会下降得相当快,并且来自样品18的气流可以在开始阶段被测量。
其中,在所述的根据压力增量方法的泄漏测量中,所述压力增量在样品18外部的薄膜室12中被测量(阶段1:抽空;阶段2:气体积聚和压力测量),根据本发明的方法的泄漏测量在且仅在上述第一阶段(抽空阶段)被直接执行。这样每个测试周期的时间就被减少了。

Claims (8)

1.一种用于在由柔性材料制成的薄膜室内测试含有气体的样品的密封性的方法,其中所述薄膜室被真空泵抽空;
其特征在于:
从所述薄膜室流出的由所述真空泵产生的气流在抽空阶段中被测量并且关于所述样品的可能的泄漏处被检查;一定期间内的被测得的气体流量被与所述一定期间内的参考气体流量进行比较,所述参考气体流量即气密的样品的气体流量。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述一定期间内的参考气体流量被优先地测量和存储。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于:泄漏速率被通过从所述被测得的气体流量中减去所述参考气体流量来确定。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述测量通过设置于所述真空泵的排气气流中的气流传感器做出。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述测量在气体输送系统,连接所述薄膜室与所述真空泵的管道系统的节流点被执行。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于:从一个泵出管路流向另一个的流量在所述抽空阶段期间被测量,并且被用作所述样品的泄漏速率的测量标准。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述抽空阶段期间的两个泵出管路之间的压力差被用作所述样品的泄漏速率的测量标准。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于:在所述测量之前,所述样品外部的所述薄膜室中的气体的量相对于所述样品内部的气体的量的比例被减小。
CN201480046685.1A 2013-08-29 2014-08-18 薄膜室被抽空时的气密性测试 Active CN105531574B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013217288.5A DE102013217288A1 (de) 2013-08-29 2013-08-29 Dichtheitsprüfung während der Evakuierung einer Folienkammer
DE102013217288.5 2013-08-29
PCT/EP2014/067591 WO2015028338A2 (de) 2013-08-29 2014-08-18 Dichtheitsprüfung während der evakuierung einer folienkammer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105531574A CN105531574A (zh) 2016-04-27
CN105531574B true CN105531574B (zh) 2019-03-08

Family

ID=51429261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480046685.1A Active CN105531574B (zh) 2013-08-29 2014-08-18 薄膜室被抽空时的气密性测试

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9784639B2 (zh)
EP (1) EP3039394B1 (zh)
JP (1) JP6492084B2 (zh)
CN (1) CN105531574B (zh)
AU (1) AU2014314433B2 (zh)
DE (1) DE102013217288A1 (zh)
WO (1) WO2015028338A2 (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3000215B1 (fr) * 2012-12-21 2016-02-05 Aneolia Dispositif et procede de test d'un echantillon, en particulier de discrimination d'un gaz d'un echantillon
SI24534A (sl) * 2013-11-05 2015-05-29 Peter Kozin Indikator za preverjanje tesnosti zvarov pri embalaži, sestoječi iz vsaj deloma prosojne termoplastične folije
DE102014224799A1 (de) * 2014-12-03 2016-06-09 Inficon Gmbh Dichtheitsprüfung mit Trägergas in Folienkammer
US9915581B2 (en) * 2016-03-31 2018-03-13 Glttek Co., Ltd Seal detecting device and means thereof
US10365180B2 (en) * 2016-12-15 2019-07-30 The Boeing Company Non-destructive leak source detection and identification for complex bagging in conjunction with flow measurement systems
CN106644317B (zh) * 2016-12-30 2019-09-17 楚天智能机器人(长沙)有限公司 一种成型泡罩的真空检测方法、检测装置及泡罩机
DE102017201004A1 (de) * 2017-01-23 2018-07-26 Inficon Gmbh Folienkammer mit Doppelfolie
CN109115431A (zh) * 2018-09-30 2019-01-01 广州市和晋自动化控制技术有限公司 一种气、液体软包装袋真空检漏装置及检漏方法
EP3690419B1 (en) * 2019-02-01 2021-11-03 Sartorius Stedim Fmt Sas System and method for detecting a possible loss of integrity of a flexible bag for biopharmaceutical product

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3813923A (en) * 1972-05-23 1974-06-04 Universal Sales Eng Inc Adaptive fixture for leak testing of containers
US3818752A (en) * 1971-04-28 1974-06-25 N Lindeberg Method and apparatus for testing tightness
US6732571B1 (en) * 1998-10-10 2004-05-11 Inficon Gmbh Film leak detector
CN1965220A (zh) * 2004-06-07 2007-05-16 检测机械(第二)集团有限公司 测试软包装体缺陷的装置和方法
CN1997881A (zh) * 2005-01-10 2007-07-11 膜康公司 探测气密封包装中泄漏的仪器和方法
CN101761780A (zh) * 2010-01-11 2010-06-30 中国石油大学(华东) 输气管道泄漏检测定位装置及其检测定位方法
CN102252811A (zh) * 2011-07-09 2011-11-23 无锡隆盛科技有限公司 一种真空腔的泄露量检测仪及检测方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1246278B (de) 1961-01-12 1967-08-03 Kernforschung Gmbh Ges Fuer Verfahren und Vorrichtung zur Auffindung von Leckstellen in mit Fluessigkeit gefuellten Anlagen und Rohrleitungen
US4776206A (en) * 1987-08-11 1988-10-11 Xetron Corporation Leak testing by gas flow signature analysis
US5513516A (en) * 1992-05-01 1996-05-07 Visi-Pack, Inc. Method and apparatus for leak testing a container
US5520003A (en) * 1994-12-01 1996-05-28 Cornfield; Lloyd Leak container and method
NL1000311C2 (nl) * 1995-05-04 1996-11-05 Sara Lee De Nv Werkwijze en inrichting voor het onderzoeken van tenminste een flexibele verpakking op de aanwezigheid van een lek.
JP3688083B2 (ja) * 1996-12-26 2005-08-24 東洋自動機株式会社 密封体の漏れ検査方法および装置
US6082184A (en) * 1997-05-27 2000-07-04 Martin Lehmann Method for leak testing and leak testing apparatus
DE19962006A1 (de) * 1998-10-10 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher
US6584828B2 (en) * 1999-12-17 2003-07-01 Atc, Inc. Method and apparatus of nondestructive testing a sealed product for leaks
JP4685260B2 (ja) * 2001-03-19 2011-05-18 株式会社エアレックス 陰圧式グローブ気密性検査装置及びその検査方法
JP2004239804A (ja) * 2003-02-07 2004-08-26 Nakamura Mfg Co Ltd プレス加工金属板のエアリーク検査装置
US7231811B2 (en) * 2004-05-07 2007-06-19 Nehemia Sagi Adaptive leak testing method
DE102007057944A1 (de) * 2007-12-01 2009-06-04 Inficon Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
CN101983324B (zh) * 2008-03-31 2014-02-26 Atmi包装公司 用于柔性容器完整性测试的设备和方法
DE102011086486B4 (de) * 2011-11-16 2023-01-19 Inficon Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Lecksuche an formsteifen/schlaffen Verpackungen ohne Zusatz von Prüfgas
DE102012200063A1 (de) * 2012-01-03 2013-07-04 Inficon Gmbh Verfahren zur Lecksuche an einem nicht formstarren Prüfling
DE102012217945A1 (de) * 2012-10-01 2014-04-03 Inficon Gmbh Folienkammer und Verfahren zur Leckagedetektion an einem nicht formstarren Prüfling

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3818752A (en) * 1971-04-28 1974-06-25 N Lindeberg Method and apparatus for testing tightness
US3813923A (en) * 1972-05-23 1974-06-04 Universal Sales Eng Inc Adaptive fixture for leak testing of containers
US6732571B1 (en) * 1998-10-10 2004-05-11 Inficon Gmbh Film leak detector
CN1965220A (zh) * 2004-06-07 2007-05-16 检测机械(第二)集团有限公司 测试软包装体缺陷的装置和方法
CN1997881A (zh) * 2005-01-10 2007-07-11 膜康公司 探测气密封包装中泄漏的仪器和方法
CN101761780A (zh) * 2010-01-11 2010-06-30 中国石油大学(华东) 输气管道泄漏检测定位装置及其检测定位方法
CN102252811A (zh) * 2011-07-09 2011-11-23 无锡隆盛科技有限公司 一种真空腔的泄露量检测仪及检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015028338A2 (de) 2015-03-05
CN105531574A (zh) 2016-04-27
WO2015028338A3 (de) 2015-04-16
US20160209294A1 (en) 2016-07-21
JP2016529503A (ja) 2016-09-23
JP6492084B2 (ja) 2019-03-27
EP3039394A2 (de) 2016-07-06
AU2014314433A1 (en) 2016-03-10
DE102013217288A1 (de) 2015-03-05
EP3039394B1 (de) 2018-10-10
US9784639B2 (en) 2017-10-10
AU2014314433B2 (en) 2018-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105531574B (zh) 薄膜室被抽空时的气密性测试
CN106461498B (zh) 使用薄膜腔室的压差测量
US9810600B2 (en) Method for detecting a leak on a non-rigid test specimen
CN103822761B (zh) 密封性检测装置及方法
CN107076636B (zh) 具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔
CN108151961B (zh) 一种极高真空校准装置及方法
US10670489B2 (en) Device and method for calibrating a film chamber for leak detection
US11846566B2 (en) System and method for detecting a possible loss of integrity of a flexible bag for biopharmaceutical product
US10900862B2 (en) Gross leak measurement in an incompressible test item in a film chamber
JP2016529503A5 (zh)
CN106662498B (zh) 薄膜腔中的气体密度增加的测量
CN111551476A (zh) 基于压差法的气体渗透性能测试系统及方法
CN113853517A (zh) 充满液体的测试对象的密封性测试
CN101509823B (zh) 使用压差法的中空容器透气性测试装置
JP3151843U (ja) ガス導入装置
JP6944527B2 (ja) 二重フィルムを有するフィルムチャンバ
CN207081524U (zh) 一种多介质高效测漏仪
CN109752135A (zh) 一种密封器件腔体真空度测量装置及测量方法
JP2024510727A (ja) 液体で満たされている試験体のリーク検査を行うリーク検知装置の機能性試験

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant