CN207616404U - 研磨滴液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及研磨机械领域,具体而言,涉及研磨滴液装置;其包括滴液本体、滴液管、储液装置、动力装置、匀液装置和搅拌装置;滴液本体设置有滴液槽,匀液装置可移动地设置于滴液槽的内部;动力装置连接滴液管,滴液管的进液口设置于储液装置,滴液管的出液口设置于滴液本体;搅拌装置设置于储液装置;其能够在进行滴液前,将研磨液充分的混合均匀,避免混合的研磨液中具有颗粒的聚集;该研磨滴液装置在进行滴液时,滴液均匀,研磨颗粒不会聚集在滴液槽的沟槽死角的地方,以减少研磨液的使用量。
Description
技术领域
本实用新型涉及研磨机械领域,具体而言,涉及研磨滴液装置。
背景技术
随着材料科学的进步和发展,用于晶体、半导体、金属等材料加工的磨抛机广泛的应用于各个领域,在材料进行磨抛的过程中,由于需要加入研磨液进行研磨,因此研磨液的滴加装置则在研磨过程中必不可少。
现有的研磨液滴加装置主要具有以下问题:1、研磨液用量多,液滴不均匀;2、研磨颗粒堆积在研磨液滴加装置的沟槽的死角,从流液孔流出的研磨液中研磨颗粒较少;3、研磨液没有充分搅拌均匀,颗粒聚集,导致加工产品表面质量差;4、导致加工产品厚度去除量不稳定,不能定时间控制。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种研磨滴液装置,其能够在进行滴液前,将研磨液充分的混合均匀,避免混合的研磨液中具有颗粒的聚集;该研磨滴液装置在进行滴液时,滴液均匀,研磨颗粒不会聚集在滴液槽的沟槽死角的地方,以减少研磨液的使用量。
本实用新型的实施例是这样实现的:
一种研磨滴液装置,其包括滴液本体、滴液管、储液装置、动力装置、匀液装置和搅拌装置;滴液本体设置有滴液槽,匀液装置可移动地设置于滴液槽的内部;动力装置连接滴液管,滴液管的进液口设置于储液装置,滴液管的出液口设置于滴液本体;搅拌装置设置于储液装置。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述匀液装置包括毛刷和伸缩组件,毛刷连接伸缩组件的一端,毛刷与滴液槽的底面相抵。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述伸缩组件包括套筒和连接杆,套筒可滑动地套设于连接杆,连接杆的一端连接毛刷。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述连接杆设置有外螺纹,套筒设置有内螺纹,外螺纹和外螺纹配合。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述伸缩组件还包括插接件,连接杆设置有第一通孔,套筒设置有第二通孔,插接件可拆卸地设置于第二通孔和第一通孔。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述搅拌装置为磁力搅拌器,磁力搅拌器设置于储液装置的底部。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述搅拌装置包括驱动装置、搅拌轴和搅拌扇叶,驱动装置设置于储液装置,搅拌轴连接驱动装置并伸入储液装置的内部,搅拌扇叶设置于搅拌轴。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述动力装置为蠕动泵或水泵。
在本实用新型较佳的实施例中:
上述研磨滴液装置还包括阀门,阀门设置于滴液管的出液口。
一种研磨滴液装置,其包括滴液本体、滴液管、储液装置、动力装置、匀液装置和搅拌装置;滴液本体设置有滴液槽,滴液槽为圆环状,匀液装置设置于滴液槽的内部,且匀液装置能沿滴液槽的周向移动;动力装置连接滴液管,滴液管的进液口设置于储液装置,滴液管的出液口设置于滴液本体;搅拌装置设置于储液装置。
本实用新型实施例的研磨滴液装置的有益效果是:
本实施例的研磨滴液装置,在进行滴液前,将研磨液充分的混合均匀,避免混合的研磨液中具有颗粒的聚集;该研磨滴液装置在进行滴液时,滴液均匀,研磨颗粒不会聚集在滴液槽的沟槽死角的地方,以减少研磨液的使用量。由于该研磨滴液装置滴加的研磨液均匀,且研磨颗粒不会在滴液槽的沟槽死角等地方积累,因此在使用在研磨滴液装置加工后的产品表面质量好,产品厚度去除量较稳定,加工时间容易控制。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型实施例中研磨滴液装置的结构示意图一;
图2为本实用新型实施例中匀液装置的结构示意图一;
图3为本实用新型实施例中匀液装置的结构示意图二;
图4为本实用新型实施例中研磨滴液装置的结构示意图二。
图标:10-研磨滴液装置;100-滴液本体;110-滴液管;120-储液装置;130-动力装置;140-匀液装置;150-搅拌装置;111-滴液槽;141-毛刷;142-伸缩组件;143-套筒;144-连接杆;145-外螺纹;146-内螺纹;147-插接件;148-第一通孔;149-第二通孔;151-驱动装置;152-搅拌轴;153-搅拌扇叶。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型实施例的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型实施例的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参照图1,本实施例提供一种研磨滴液装置10,其包括滴液本体100、滴液管110、储液装置120、动力装置130、匀液装置140和搅拌装置150。
上述滴液本体100设置有滴液槽111,滴液槽111的底部设置有滴液孔,流入滴液本体100的滴液槽111的研磨液可以从滴液孔流出,再用于研磨加工中。本实施例中的滴液槽111是圆环状的,可选的,在其它实施例中,滴液槽111还可以是长条状或者矩形水槽状等形状的。
上述匀液装置140设置在滴液槽111的内部,且匀液装置140可以在滴液槽111内部来回移动,进而将滴液槽111中的研磨液搅动,可以使滴液槽111中的研磨液更加均匀的从滴液孔中流出。本实施例中,匀液装置140能够沿着圆环状滴液槽111的周向移动,并在移动的过程中将滴液槽111中的研磨液混合均匀。
需要说明的是,匀液装置140在滴液槽111中的移动可以是工人手动带动匀液装置140在滴液槽111内做圆周移动;还可以是由电机和驱动杆共同驱动匀液装置140做周向运动的,例如:可以在滴液本体100的中间设置一个驱动电机,驱动杆的一端连接驱动电机,另一端连接该匀液装置140,驱动电机带着驱动杆绕电机转动,驱动杆远离电机的一端带动匀液装置140做圆周运动,进而可以是匀液装置140在圆环状的滴液槽111内做周向移动。
请参照图2,详细地,上述匀液装置140包括毛刷141和伸缩组件142,毛刷141连接于伸缩组件142的一端,且毛刷141能够与滴液槽111的底面相抵。当匀液装置140在滴液槽111内移动时,毛刷141能够与滴液槽111中的研磨液充分接触,滴液槽111中的研磨液在毛刷141的作用下,被充分的混合均匀,并不会聚集在死角,再均匀的从滴液孔流出。
进一步地,上述伸缩组件142包括套筒143和连接杆144,套筒143可滑动地设置于连接杆144,连接杆144的一端连接毛刷141,将套筒143向远离毛刷141的一端移动,可以延长匀液装置140的总长度,将套筒143向靠近毛刷141的一端移动,可以缩短匀液装置140的总长度,使得匀液装置140可以适用于各种深度的滴液槽111。
作为优选,上述伸缩组件142还包括连接盘,连接盘可以用于设置毛刷141,连接盘远离毛刷141的一侧连接连接杆144;利用连接盘将毛刷141设置于伸缩组件142,可以增加毛刷141的表面积,有利于滴液槽111中的研磨液更加高效地混合均匀,清扫面积更大,避免研磨颗粒在沟槽死角聚集。
需要说明的是,连接盘可以是圆形、矩形或者三角形等,在此不作具体限定。需要进一步说明的是,上述毛刷141可以是由高韧性树脂纤维材料制备的。
再进一步地,上述连接杆144设置有外螺纹145,套筒143设置有内螺纹146,且外螺纹145和内螺纹146配合,即套筒143可以通过螺纹配合实现沿连接杆144的长度方向地滑动,详细地,旋转套筒143即可实现伸缩。
可选的,在其它实施例中,请参照图3,上述伸缩组件142还可以包括插接件147,连接杆144可以设置第一通孔148,套筒143可以设置第二通孔149,插接件147可以可拆卸地设置于第二通孔149和第一通孔148;连接杆144上的第一通孔148的数量可以是1个,也可以大于1个;若连接杆144上的第一通孔148数量为1个,在将套筒143和连接盘抵靠时,第一通孔148位于第二通孔149的上方,将套筒143向远离毛刷141的方向移动,当第二通孔149和第一通孔148相对时,将插接件147嵌设于第二通孔149和第一通孔148中,实现伸缩组件142的延长;若连接杆144上第一通孔148的数量大于1个,多个第一通孔148可以沿连接杆144的长度方向分布,将套筒143滑动到需要的高度后,将插接件147嵌入第二通孔149和第一通孔148即可。需要说明的是,插接件147可以是插销、插杆等。
请继续参照图1,前述的动力装置130连接滴液管110,滴液管110的进液口设置于储液装置120,滴液管110的出液口设置于上述滴液本体100的滴液槽111,作为优选,滴液管110的进液口被储液装置120中的研磨液浸没,出液口能够伸入滴液槽111的内部,即储液装置120中的研磨液,可以在动力装置130的作用下经过滴液管110被引入滴液槽111。上述储液装置120可以是储液桶、储液槽等装置。
进一步地,本实施例中的动力装置130可以是蠕动泵,储液装置120中的研磨液在蠕动泵的作用下经过滴液管110进入滴液槽111。可选的,在其它实施例中,动力装置130还可以是水泵等。
更进一步地,该研磨滴液装置10还可以包括阀门(图未示),且阀门可以设置于滴液管110的出液口处,阀门的设置可以用控制研磨液的流量。
前述的搅拌装置150可以设置储液装置120,用于搅拌储液装置120中的研磨液,使研磨液中的研磨颗粒分散均匀,不聚集在一起。
进一步地,上述搅拌装置150可以是磁力搅拌器,该磁力搅拌器可以设置于储液装置120的底部。
可选的,在其它实施例中,请参照图4,搅拌装置150可以包括驱动装置151、搅拌轴152和搅拌扇叶153,驱动装置151设置于储液装置120,搅拌轴152连接驱动装置151并且伸入储液装置120的内部,搅拌扇叶153可以设置于搅拌轴152;当驱动装置151工作时,驱动装置151带动搅拌轴152转动,搅拌扇叶153随着搅拌轴152一并转动,以便将储液装置120中的研磨液搅拌均匀。需要说明的是,上述驱动装置151可以是步进电机、旋转电机或加速电机等;驱动装置151可以设置于储液装置120的顶部或底部或侧壁等。
需要说明的是,本实用新型实施例中涉及到的驱动装置151、电机等需要用电的设备,可以是自带电源的,也可以是电连接设备外部的交流电插座实现供电的。
研磨滴液装置10的工作原理是:将研磨液加入储液装置120中,开启储液装置120底部的磁力搅拌器,使储液装置120中的研磨液充分的搅拌均匀,将连接了蠕动泵的滴液管110的进液口伸入储液装置120中,并将滴液管110的出液口放置于滴液本体100的滴液槽111的内部,开启蠕动泵,在蠕动泵的作用下,储液装置120中的研磨液经过滴液管110流入滴液槽111;匀液装置140在滴液槽111中不断的移动,使滴液槽111中的研磨液在从滴液孔流出之前继续被搅动,一方面保持研磨液较高的均匀程度,另一方面可以避免研磨液中的研磨颗粒积累在滴液槽111的死角处。该研磨滴液装置10能够使研磨液充分均匀,且不容易聚集在滴液槽111的沟槽死角。
综上所述,本实用新型的研磨滴液装置的有益效果是:
本实施例的研磨滴液装置,在进行滴液前,将研磨液充分的混合均匀,避免混合的研磨液中具有颗粒的聚集;该研磨滴液装置在进行滴液时,滴液均匀,研磨颗粒不会聚集在滴液槽的沟槽死角的地方,以减少研磨液的使用量。由于该研磨滴液装置滴加的研磨液均匀,且研磨颗粒不会在滴液槽的沟槽死角等地方积累,因此在使用在研磨滴液装置加工后的产品表面质量好,产品厚度去除量较稳定,加工时间容易控制。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种研磨滴液装置,其特征在于,包括滴液本体、滴液管、储液装置、动力装置、匀液装置和搅拌装置;所述滴液本体设置有滴液槽,所述匀液装置可移动地设置于所述滴液槽的内部;所述动力装置连接所述滴液管,所述滴液管的进液口设置于所述储液装置,所述滴液管的出液口设置于所述滴液本体;所述搅拌装置设置于所述储液装置。
2.根据权利要求1所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述匀液装置包括毛刷和伸缩组件,所述毛刷连接所述伸缩组件的一端,所述毛刷与所述滴液槽的底面相抵。
3.根据权利要求2所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述伸缩组件包括套筒和连接杆,所述套筒可滑动地套设于连接杆,连接杆的一端连接所述毛刷。
4.根据权利要求3所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述连接杆设置有外螺纹,所述套筒设置有内螺纹,所述外螺纹和所述外螺纹配合。
5.根据权利要求3所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述伸缩组件还包括插接件,所述连接杆设置有第一通孔,所述套筒设置有第二通孔,所述插接件可拆卸地设置于所述第二通孔和所述第一通孔。
6.根据权利要求1所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述搅拌装置为磁力搅拌器,所述磁力搅拌器设置于所述储液装置的底部。
7.根据权利要求1所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述搅拌装置包括驱动装置、搅拌轴和搅拌扇叶,所述驱动装置设置于所述储液装置,所述搅拌轴连接所述驱动装置并伸入所述储液装置的内部,所述搅拌扇叶设置于所述搅拌轴。
8.根据权利要求1所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述动力装置为蠕动泵或水泵。
9.根据权利要求1所述的研磨滴液装置,其特征在于,所述研磨滴液装置还包括阀门,所述阀门设置于所述滴液管的出液口。
10.一种研磨滴液装置,其特征在于,包括滴液本体、滴液管、储液装置、动力装置、匀液装置和搅拌装置;所述滴液本体设置有滴液槽,所述滴液槽为圆环状,所述匀液装置设置于所述滴液槽的内部,且所述匀液装置能沿所述滴液槽的周向移动;所述动力装置连接所述滴液管,所述滴液管的进液口设置于所述储液装置,所述滴液管的出液口设置于所述滴液本体;所述搅拌装置设置于所述储液装置。
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Cited By (1)
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CN110962040A (zh) * | 2018-09-28 | 2020-04-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 清洁方法以及清洁系统 |
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2017
- 2017-12-26 CN CN201721858703.3U patent/CN207616404U/zh active Active
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