CN203816550U - 一种硅片研磨液的搅拌装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种新型硅片研磨液的搅拌装置包括搅拌叶、搅拌轴、搅拌桶、定时装置,转向装置,电机。由于所述搅拌装置设有定时装置和转向装置,从而可以控制搅拌时间和搅拌方向,使得搅拌更加的均匀,从而提高了研磨液的质量。所述搅拌桶下部设有过滤板,储液槽,所述储液槽位于过滤板的下部;所述搅拌桶底部设有出液口。所述过滤板用来过滤未充分搅拌剩下来的大的颗粒;所述储液槽,用来让搅拌充分完成的研磨液流向出液口,从而获取高质量的研磨液。
Description
技术领域
本发明涉及一种搅拌装置,具体涉及一种硅片研磨液的搅拌装置。
背景技术
硅片加工过程中,为了保证硅片的设计要求,要求硅片进行研磨。现加工所需要的研磨液,一般采用手工搅拌。该方法使得工作效率低,且搅拌不均匀。并且搅拌时采用单向搅拌,使得搅拌不够彻底。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对以上弊端提供一种硅片研磨液的搅拌装置,本装置结构简单,搅拌均匀,提高了研磨液的质量。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种新型硅片研磨液的搅拌装置,包括搅拌叶、搅拌轴、搅拌桶、定时装置,转向装置,电机,其中所述搅拌桶内设有搅拌轴,所述搅拌轴上设有两片搅拌叶,所述搅拌桶上部设有转向装置,转向装置上部有定时装置,定时装置上部设有电机。所述电机的转轴通过定时装置和转向装置的一端相连且设置于搅拌桶的上方;所述搅拌轴垂直设置在搅拌桶的中部,所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端,所述搅拌叶为螺旋搅拌叶。
上述一种新型硅片研磨液的搅拌装置,其中所述搅拌桶下部设有过滤板,储液槽,所述储液槽位于过滤板的下部;所述搅拌桶底部设有出液口。所述过滤板用来过滤未充分搅拌剩下来的大的颗粒;所述 储液槽,用来让搅拌充分完成的研磨液流向出液口。
工作时,按动定时装置中的定时器,设定搅拌时间;当顺时针搅拌到一段时间后,再设置转向装置,就可以逆时针搅拌一段时间。这样双向搅拌可以使得搅拌更加的均匀,进而提高了研磨液的质量。
本发明的有益效果:由于所述搅拌装置设有定时装置和转向装置,从而可以控制搅拌时间和搅拌方向,从而可以使得搅拌更加的均匀,从而提高了研磨液的质量。所述搅拌桶下部设有过滤板,储液槽,所述储液槽位于过滤板的下部;所述搅拌桶底部设有出液口。所述过滤板用来过滤未充分搅拌剩下来的大的颗粒;所述储液槽,用来让搅拌充分完成的研磨液流向出液口,从而获取高质量的研磨液
附图说明
图1为本发明的结构示意图
具体实施方式
如图所示一种新型硅片研磨液的搅拌装置,包括搅拌叶1、搅拌轴2、搅拌桶3、定时装置4,转向装置5,电机6,其中所述搅拌桶3内设有搅拌轴2,所述搅拌轴上设有两片搅拌叶1,所述搅拌桶上部设有转向装置5,转向装置5上部有定时装置4,定时装置4上部设有电机6。所述电机6的转轴通过定时装置4和转向装置5的一端相连且设置于搅拌桶3的上方;所述搅拌轴2垂直设置在搅拌桶3的中部,所述搅拌叶1垂直固定在搅拌轴2的下端,所述搅拌叶1为螺旋形搅拌叶1。
所述搅拌桶3下部设有过滤板6,储液槽7,所述储液槽7位于过滤板的下部;所述搅拌桶3底部设有出液口8。所述过滤板6用来 过滤未充分搅拌剩下来的大的颗粒;所述储液槽7,用来让搅拌充分完成的研磨液流向出液口8。
工作时,可以通过定时装置4和转向装置5设定搅拌时间及搅拌方向,当搅拌按顺时针方向转动一段时间后,设置转向装置后就可以逆时针搅拌一段时间。这样双向搅拌可以使得搅拌更加的均匀,进而提高了研磨液的质量。所述搅拌桶3下部设有过滤板6,储液槽7,所述储液槽7位于过滤板的下部;所述搅拌桶3底部设有出液口8。从而获取高质量的研磨液。
这里本发明的描述和应用是说明性的,并非想将本发明的范围限制在上述实施例中,因此,本发明不受本实施例的限制,任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。
Claims (2)
1.一种新型硅片研磨液的搅拌装置,包括搅拌叶、搅拌轴、搅拌桶、定时装置,转向装置,电机,其中所述搅拌桶内设有搅拌轴,所述搅拌轴上设有两片搅拌叶,所述搅拌桶上部设有转向装置,转向装置上部有定时装置,定时装置上部设有电机;所述电机的转轴通过定时装置和转向装置的一端相连且设置于搅拌桶的上方;所述搅拌轴垂直设置在搅拌桶的中部,所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端,所述搅拌叶为螺旋搅拌叶。
2.如权利要求1所述的一种新型硅片研磨液的搅拌装置,其特征在于所述搅拌桶下部设有过滤板,储液槽,所述储液槽位于过滤板的下部;所述搅拌桶底部设有出液口;所述过滤板用来过滤未充分搅拌剩下来的大的颗粒;所述储液槽,用来让搅拌充分完成的研磨液流向出液口。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103691350A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-02 | 镇江市港南电子有限公司 | 一种硅片研磨液的搅拌装置 |
CN106474968A (zh) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 安徽亚环生物科技有限公司 | 一种有机复合肥搅拌装置 |
CN107376728A (zh) * | 2017-09-19 | 2017-11-24 | 苏州英得福机电科技有限公司 | 一种结构简单的轻便式搅拌桶 |
CN110252187A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-20 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种搅拌装置和研磨设备 |
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GR01 | Patent grant | ||
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