CN207498057U - 一种氢氟酸提纯设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种氢氟酸提纯设备，包括依次连接的电离处理器，第一过滤器，精馏塔，冷凝器、第二过滤器、吸收塔、微滤器和成品收集器，所述电离处理器包括电离腔以及挥发腔，所述挥发腔与所述电离腔之间设置有滑动隔板，所述滑动隔板连接有升降电机，所述电离腔内设置有正极和负极，所述正极和负极连接1‑3伏直流电源，所述电离腔连接有废气回收腔，所述电离处理器与所述过滤器之间设置有阀门。采用该结构在电离处理器通过电离作用使得氢氟酸中的易挥发的三价砷转化成不易挥发的五价砷，并且将电极产生的废气通过废气回收腔回收，防止用高锰酸钾氧化三价砷而产生混入挥发性锰化合物，从而提高氢氟酸的纯度。
Description
技术领域
本实用新型属于氢氟酸提纯设备技术领域，特别是一种氢氟酸提纯设备。
背景技术
氢氟酸为物色透明液体，强酸性，其对金属、玻璃有强烈的腐蚀性，为剧毒。超高纯度氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰乙酸、过氧化氢和氢氧化铵等配合使用，主要用于大规模集成电路的生产。
目前普遍采用的氢氟酸的提纯方法是：将工业污水氟化氢直接投入到精馏塔中，再经过精馏塔中加高锰酸钾后精馏纯化，经吸收塔吸收后得到纯化氟化氢。该装置生产的氢氟酸最大的缺点是氢氟酸的纯度仍然不高，在蒸馏出来时有可能被挥发性锰化合物污染。
发明内容
本实用新型针对现有技术不足，提供一种氢氟酸提纯设备，该种氢氟酸提纯设备能够提高氢氟酸提纯的纯度，防止混入挥发性锰化合物。
为了解决上述技术问题，本实用新型通过下述技术方案得以解决：一种氢氟酸提纯设备，包括依次连接的电离处理器，第一过滤器，精馏塔，冷凝器、第二过滤器、吸收塔、微滤器和成品收集器，所述电离处理器包括电离腔以及挥发腔，所述挥发腔与所述电离腔之间设置有滑动隔板，所述滑动隔板连接有升降电机，所述电离腔内设置有正极和负极，所述正极和负极连接1-3伏直流电源，所述电离腔连接有废气回收腔，所述电离处理器与所述第一过滤器之间设置有阀门。采用该结构在电离处理器通过电离作用使得氢氟酸中的易挥发的三价砷转化成不易挥发的五价砷，并且将电极产生的废气通过废气回收腔回收，防止用高锰酸钾氧化三价砷而产生混入挥发性锰化合物，从而提高氢氟酸的纯度。
上述技术方案中，优选的，电离处理器内设置有温度传感器。设置温度传感器使得电离处理器内的温度能够实时观察，从而控制挥发。
上述技术方案中，优选的，电离处理器内设置有第一螺旋管道和第二螺旋管道，所述第一螺旋管道连接循环冷却水管道，所述第二螺旋管道内设置有电热丝。采用该结构使得电离处理器内的反应温度能够调节，从而控制氢氟酸的电离温度。
上述技术方案中，优选的，所述正极和所述负极设置于所述滑动隔板上。采用该结构使得正极和负极能够随着隔板升降而升降，从而保证在液位降低时正极和负极能够浸入到液面以下。
本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：采用该结构在电离处理器通过电离作用使得氢氟酸中的易挥发的三价砷转化成不易挥发的五价砷，并且将电极产生的废气通过废气回收腔回收，防止用高锰酸钾氧化三价砷而产生混入挥发性锰化合物，从而提高氢氟酸的纯度。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图。
图2为本实用新型实施例中电离处理器的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：参见图1至图2，一种氢氟酸提纯设备，包括依次连接的电离处理器1，第一过滤器21，精馏塔3，冷凝器4、第二过滤器22、吸收塔5、微滤器6和成品收集器7，所述电离处理器1包括电离腔11以及挥发腔12，所述挥发腔12与所述电离腔11之间设置有滑动隔板13，所述滑动隔板13连接有升降电机14，所述电离腔11内设置有正极15和负极16，所述正极15和负极16连接1-3伏直流电源17，所述电离腔11连接有废气回收腔18，所述电离处理器1与所述第一过滤器21之间设置有阀门8。采用该结构在电离处理器通过电离作用使得氢氟酸中的易挥发的三价砷转化成不易挥发的五价砷，并且将电极产生的废气通过废气回收腔回收，防止用高锰酸钾氧化三价砷而产生混入挥发性锰化合物，从而提高氢氟酸的纯度。
所述电离处理器1内设置有温度传感器9。设置温度传感器使得电离处理器内的温度能够实时观察，从而控制挥发。
所述电离处理器1内设置有第一螺旋管道19和第二螺旋管道110，所述第一螺旋管道19连接循环冷却水管道，所述第二螺旋管道110内设置有电热丝。采用该结构使得电离处理器内的反应温度能够调节，从而控制氢氟酸的电离温度。
所述正极15和所述负极16设置于所述滑动隔板13上。采用该结构使得正极和负极能够随着隔板升降而升降，从而保证在液位降低时正极和负极能够浸入到液面以下。
Claims (4)
1.一种氢氟酸提纯设备，其特征在于：包括依次连接的电离处理器（1），第一过滤器（21），精馏塔（3），冷凝器（4）、第二过滤器（22）、吸收塔（5）、微滤器（6）和成品收集器（7），所述电离处理器（1）包括电离腔（11）以及挥发腔（12），所述挥发腔（12）与所述电离腔（11）之间设置有滑动隔板（13），所述滑动隔板（13）连接有升降电机（14），所述电离腔（11）内设置有正极（15）和负极（16），所述正极（15）和负极（16）连接1-3伏直流电源（17），所述电离腔（11）连接有废气回收腔（18），所述电离处理器（1）与所述第一过滤器（21）之间设置有阀门（8）。
2.如权利要求1所述的一种氢氟酸提纯设备，其特征在于：所述电离处理器（1）内设置有温度传感器（9）。
3.如权利要求1所述的一种氢氟酸提纯设备，其特征在于：所述电离处理器（1）内设置有第一螺旋管道（19）和第二螺旋管道（110），所述第一螺旋管道（19）连接循环冷却水管道，所述第二螺旋管道（110）内设置有电热丝。
4.如权利要求1所述的一种氢氟酸提纯设备，其特征在于：所述正极（15）和所述负极（16）设置于所述滑动隔板（13）上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201721336085.6U CN207498057U (zh) | 2017-10-17 | 2017-10-17 | 一种氢氟酸提纯设备 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
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| CN201721336085.6U Active CN207498057U (zh) | 2017-10-17 | 2017-10-17 | 一种氢氟酸提纯设备 |
Country Status (1)
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2017
- 2017-10-17 CN CN201721336085.6U patent/CN207498057U/zh active Active
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