CN207399648U - 蚀刻装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蚀刻装置，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。本实用新型设置干燥装置对传送的产品进行吹干，防止传动过程中产生的水迹污染和表面氧化。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蚀刻装置。
背景技术
在印刷线路板领域，以手机、平板电脑为代表的移动电子产品轻薄化的技术驱动，促使精细线路不断发展,这些电子产品所采用的高密度互连线路板线路设计从3/3mil、2.4/2.4mil、到近期量产的2/2mil，产品结构不断升级。时至今日，又面临1.6/1.6mil更加精细线路的技术需求。为应对精细线路的制作，开发了适合精细线路制作工艺。但由于精细线路间距小、密度高，增加了蚀刻的难度，在线路间距小的地方存在蚀刻能力不足的现象，导致产品良率较低，从而需要进行制作工艺的优化和改良。
实用新型内容
本实用新型为解决上述技术问题，提供一种蚀刻装置。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
一种蚀刻装置，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的传送段包括：两段间隔设置的传送滚轮，干燥装置设置于两段传送滚轮之间。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的干燥装置包括：对称设置于产品的上方、下方的一对风刀，每个风刀连接一台鼓风机。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的风刀的出风口为长条形或圆形的孔。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的传送滚轮的底部设有托水盘，托水盘中盛有流动的水，水流的方向为逆传送方向。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的托水盘中的水的深度为1/3传送滚轮的高度。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的蚀刻槽包括：母液暂存槽、第一三芯过滤器和第二三芯过滤器，其中：母液暂存槽与第一三芯过滤器相连通，第一三芯过滤器与第二三芯过滤器相连通，第二三芯过滤器与母液暂存槽相连通。
根据本实用新型的一个实施方案，所述的第一三芯过滤器为棉芯，第二三芯过滤器为碳芯。
本实用新型设置干燥装置对传送的产品进行吹干，防止传动过程中产生的水迹污染和表面氧化。设置托水盘，对传送滚轮进行冲洗，解决传送滚轮上异物粘附和有机污染发粘的问题。针对蚀刻槽，优化过滤系统，将一组三芯过滤器，改为两组三芯过滤器，并分别使用棉芯和碳芯进行过滤，加强过滤效果，减少槽液内油性物质和板碎杂物的污染。
附图说明
图1为干燥装置的结构示意图；
图2为托水盘的俯视图；
图3为托水盘的前侧视图；
图4为托水盘的左侧视图；
图5为蚀刻槽的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1所示，本实施例蚀刻装置，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。所述的传送段包括：两段间隔设置的传送滚轮，干燥装置设置于两段传送滚轮之间。所述的干燥装置包括：对称设置于产品的上方、下方的一对风刀1，每个风刀1连接一台鼓风机2。所述的风刀1的出风口为长条形或圆形的孔3。传送产品从上、下对称设置的一对风刀1中通过，风刀1对传送产品进行吹干。干燥装置对传送的产品进行吹干，防止传动过程中产生的水迹污染和表面氧化。
如图2、图3和图4所示，所述的传送滚轮5的底部设有托水盘4，托水盘4中盛有流动的水，水流的方向为逆传送方向。在沿着传送方向一侧设置进水口6。所述的托水盘4中的水的深度为1/3传送滚轮5的高度。设置托水盘4，托水盘4中流动的水对传送滚轮5进行冲洗，解决传送滚轮5上异物粘附和有机污染发粘的问题。
如图5所示，所述的蚀刻槽包括：母液暂存槽7、第一三芯过滤器8和第二三芯过滤器9，其中：母液暂存槽7与第一三芯过滤器8相连通，第一三芯过滤器8与第二三芯过滤器9相连通，第二三芯过滤器9与母液暂存槽7相连通。所述的第一三芯过滤器8为棉芯，第二三芯过滤器9为碳芯。槽液从母液暂存槽7依次通过第一三芯过滤器8和第二三芯过滤器9过滤回到母液暂存槽7。针对蚀刻槽，优化过滤系统，将一组三芯过滤器8，改为两组三芯过滤器8，并分别使用棉芯和碳芯进行过滤，加强过滤效果，减少槽液内油性物质和板碎杂物的污染。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
Claims (8)
1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：依次设置的显影槽、传送段和蚀刻槽，其中，传送段的两端分别连接显影槽和蚀刻槽，传送段用于将显影槽中处理完的产品输送至蚀刻槽进行处理，显影槽和传送段的连接处设置干燥装置。
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的传送段包括：两段间隔设置的传送滚轮，干燥装置设置于两段传送滚轮之间。
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的干燥装置包括：对称设置于产品的上方、下方的一对风刀，每个风刀连接一台鼓风机。
4.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的风刀的出风口为长条形或圆形的孔。
5.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的传送滚轮的底部设有托水盘，托水盘中盛有流动的水，水流的方向为逆传送方向。
6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的托水盘中的水的深度为1/3传送滚轮的高度。
7.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的蚀刻槽包括：母液暂存槽、第一三芯过滤器和第二三芯过滤器，其中：母液暂存槽与第一三芯过滤器相连通，第一三芯过滤器与第二三芯过滤器相连通，第二三芯过滤器与母液暂存槽相连通。
8.根据权利要求7所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的第一三芯过滤器为棉芯，第二三芯过滤器为碳芯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721353580.8U CN207399648U (zh) | 2017-10-20 | 2017-10-20 | 蚀刻装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN207399648U true CN207399648U (zh) | 2018-05-22 |
Family
ID=62329019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721353580.8U Active CN207399648U (zh) | 2017-10-20 | 2017-10-20 | 蚀刻装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207399648U (zh) |
-
2017
- 2017-10-20 CN CN201721353580.8U patent/CN207399648U/zh active Active
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