CN207373883U - 贴光学膜压版工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种贴光学膜压版工具，包括用于放置光学膜的基板、设于所述基板上用于将待贴膜工件支撑悬置于光学膜上方的弹性支撑件、固定于基板上以定位待贴膜工件的定位组件以及用于对弹性支撑件承载的待贴膜工件施力以克服弹性支撑件的弹力而将待贴膜工件与光学膜压合的压板，所述压板的与待贴膜工件相抵接的一侧表面还在预定位置设有用于定位容纳铁片的铁片容纳组件。本实用新型通过在压板的预定位置设有铁片容纳组件，可预先在铁片容纳组件内放置铁片，再在铁片外表面涂胶水，从而在通过压板将待贴膜工件压合光学膜上时，铁片也通过胶水牢固、精准地定位贴合于待贴膜工件上，有效提高贴合效率，且铁片的贴合精度高。

Description

贴光学膜压版工具

技术领域

本实用新型实施例涉及光学膜贴膜技术领域，尤其涉及一种贴光学膜压版工具。

背景技术

在光罩的生产过程中，需要在生产出来的光罩产品表面贴光学膜以保证产品的。现有的一种贴光学膜压版工具主要包括：用于承载光学膜的基板、围绕所述基板上的承载光学膜的区域设置于基板上且用于承载光罩的弹性支撑件、用于定位光罩的定位组件以及对光罩施力以克服弹性支撑件的弹力而将光罩与光学膜贴合的压板。

然而，随着光罩产品的不断发展，现有一款光罩产品还需要在光罩的与贴有光学膜的一侧表面相背的一侧表面贴合铁片以便后续的加工和使用，然而上述现有的贴光学膜压版工具仅能满足贴光学膜的功能需求，功能单一，导致只能分两道工序分别贴光学膜和铁片，不仅生产效率低，而且，现有贴合工艺中，贴铁片都要依赖于人工肉眼观察对位，精度难以保障。

实用新型内容

本实用新型实施例要解决的技术问题在于，提供一种贴光学膜压版工具，能同时将光学膜和铁片贴合于光罩表面。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种贴光学膜压版工具，包括用于放置光学膜的基板、设于所述基板上用于将待贴膜工件支撑悬置于光学膜上方的弹性支撑件、固定于基板上以定位待贴膜工件的定位组件以及用于对弹性支撑件承载的待贴膜工件施力以克服弹性支撑件的弹力而将待贴膜工件与光学膜压合的压板，所述压板的与待贴膜工件相抵接的一侧表面还在预定位置设有用于定位容纳铁片的铁片容纳组件。

进一步地，所述铁片容纳组件包括自压板表面内凹形成的凹坑以及设置于凹坑内用于吸住铁片的磁铁，所述凹坑的形状与待贴合的铁片形状相匹配。

进一步地，所述铁片容纳组件为由设置于压板表面的固定臂以及可沿压板表面相对于所述固定臂活动张合的弹性臂组合而成的夹具，所述铁片由所述固定臂与弹性臂配合而夹持住。

进一步地，所述定位组件为若干根自基板表面凸伸出来的定位柱，所述若干根定位柱分为两组排列，每一组的定位柱成直线排列且所述两组定位柱分别对应抵接待贴膜工件的相邻两侧边。

进一步地，所述压板上设有供所述定位柱对应穿过而配合定位压板的定位孔。

进一步地，所述基板上在承载光学膜区域的外侧还设有定位槽，而所述压板上对应设有与所述定位槽相适配的定位凸块。

进一步地，所述基板的放置光学膜的一侧表面还设有用于容纳及定位所述光学膜的容纳槽。

进一步地，所述弹性支撑件为由弹簧和销杆组合而成的弹性销杆，所述基板上对应开设有容纳所述弹性销杆的阶梯轴孔，所述销杆自所述阶梯轴孔的大径端插入且一端从阶梯轴孔的小径端的孔口伸出，所述销杆容纳于阶梯轴孔的大径端的部分具有外径大于所述阶梯轴孔的小径端内径的挡止部，所述阶梯轴孔的大径端孔口由盖片封闭，弹簧容纳于阶梯轴孔的大径端内部且两端分别抵于所述挡止部和盖片上。

进一步地，所述压板的与待贴膜工件相抵接的一侧表面还在对应于待贴膜工件的靠边缘处设有用于抵压待贴膜工件的压块。

采用上述技术方案，本实用新型实施例至少具有以下有益效果：本实用新型实施例通过在压板的与待贴膜工件相抵接的一侧表面还在预定位置设有用于定位容纳铁片的铁片容纳组件，在要压合光学膜时，可以预先在所述铁片容纳组件内放置铁片，再在铁片外表面涂胶水，从而在通过压板将待贴膜工件压合光学膜上时，铁片也通过胶水牢固、精准地定位贴合于待贴膜工件上，从而可以在一个步骤中实现了现有的贴光学膜和贴铁片两个工序，能有效提高贴合效率，且铁片的贴合精度高。

附图说明

图1是本实用新型贴光学膜压版工具一个实施例的立体结构示意图。

图2是本实用新型贴光学膜压版工具一个实施例沿弹性支撑的局部剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1所示，本实用新型实施例提供一种贴光学膜压版工具，包括用于放置光学膜90的基板1、设于所述基板1上用于将待贴膜工件92支撑悬置于光学膜90上方的弹性支撑件2、固定于基板1上以定位待贴膜工件92的定位组件3以及用于对弹性支撑件2承载的待贴膜工件92施力以克服弹性支撑件92的弹力而将待贴膜工件92与光学膜90压合的压板4，所述压板4的与待贴膜工件92相抵接的一侧表面还在预定位置设有用于定位容纳铁片94的铁片容纳组件40。在图1中，为清楚阐述压板4的底面结构，是将压板4竖向摆放，而在实际使用时，压板4将从图1所示的竖向转动90度至压板4的底面与待贴膜工件92的上表面平行的状态。

本实用新型实施例通过在压板4的与待贴膜工件92相抵接的一侧表面还在预定位置设有用于定位容纳铁片94的铁片容纳组件40，当要在待贴膜工件92（例如光罩）相对的两个表面分别压合光学膜90和铁片94时，可以预先在所述铁片容纳组件40内放置铁片94，再在铁片94外表面涂胶水，从而在通过压板4将待贴膜工件92压合光学膜90上时，铁片94也通过胶水牢固、精准地定位贴合于待贴膜工件92上，从而可以在一个步骤中实现了现有的贴光学膜90和贴铁片94两个工序，能有效提高贴合效率，且铁片94的贴合精度高。而且铁片94与待贴膜工件92通过胶水牢固粘贴一体，稍用力即可使铁片从铁片容纳组件40中脱离出来。

在本实用新型的一个实施例中，所述铁片容纳组件40包括自压板4表面内凹形成的凹坑400以及设置于凹坑400内用于吸住铁片94的磁铁402，所述凹坑400的形状与待贴合的铁片94形状相匹配。从而可以通过凹坑400定位铁片94以实现铁片的精确定位，并通过磁铁吸住铁片94而避免铁片从压板4上脱落。而在铁片94与待贴膜工件92牢固贴合后，稍用力即可使铁片94克服磁铁402的吸力而脱离。

而在本实用新型的另一个实施例中，所述铁片容纳组件40可以为由设置于基板4表面的固定臂（图未示出）以及可沿基板4表面相对于所述固定臂活动张合的弹性臂（图未示出）组合而成的夹具，所述铁片94由所述固定臂与弹性臂配合而夹持住。由固定臂和弹性臂配合组成的夹具同样可以有效地夹持定位铁片94，且在铁片94与待贴膜工件92牢固贴合后，稍用力即可使铁片94克服弹性臂的弹性夹持力而脱离。

在本实用新型的一个可选实施例，所述定位组件3具体为若干根自基板1表面凸伸出来的定位柱，所述若干根定位柱分为两组排列，每一组的定位柱成直线排列且所述两组定位柱分别对应抵接待贴膜工件92的相邻两侧边，从而可以使待贴膜工件得到精确地定位。

在本实用新型的一个进一步的实施例中，所述压板4上设有供所述定位柱对应穿过而配合定位压板4的定位孔42。而且在具体实施时，还可以将所述定位柱的顶端设计为外凸的半球面，从而方便快速引导定位柱顺畅地插入定位孔42内。可以理解的是，压板4也可以如同待贴膜工件92那样依靠侧边抵靠于定位柱上而实现定位。

在本实用新型的另一个可选实施例中，所述基板1上在承载光学膜90的区域的外侧还设有定位槽10，而所述压板4上对应设有与所述定位槽10相适配的定位凸块44。在实施压合时，所述定位凸块44对应插入所述定位槽10，而进一步实现精确对位。在具体实施时，所述定位凸块44的顶缘可以设置有斜面倒角或圆倒角，以方便快速、顺畅插入定位槽10内。

在本实用新型的另一个可选实施例中，所述基板1的放置光学膜90的一侧表面还设有用于容纳及定位所述光学膜90的容纳槽12。通过设置容纳槽12，可以使光学膜90更精确地放置于基板1上。

而在本实用新型的另一个可选实施例中，如图2所示，所述弹性支撑件2为由弹簧20和销杆22组合而成的弹性销杆，所述基板1上对应开设有容纳所述弹性销杆的阶梯轴孔14，所述销杆22自所述阶梯轴孔14的大径端插入且一端从阶梯轴孔14的小径端的孔口伸出，所述销杆22容纳于阶梯轴孔14的大径端的部分具有外径大于所述阶梯轴孔14的小径端内径的挡止部220，所述阶梯轴孔14的大径端孔口由盖片16封闭，弹簧20容纳于阶梯轴孔14的大径端内部且两端分别抵于所述挡止部220和盖片16上。采用如此设计，结构简单，且能方便地实现销杆的弹性伸出及缩回，在销杆22伸出时，销杆22顶端面即可承载待贴膜工件92，而在销杆22缩回时，承载于销杆22顶端面的待贴膜工件92同步下降而与基板1上的光学膜90有效贴合。而且，当完成压合，移走压板后，销杆22又会在弹簧20作用下自动伸出而可承载下一个待贴膜工件92。

在本实用新型的又一个实施例中，所述压板4的与待贴膜工件92相抵接的一侧表面还在对应于待贴膜工件92的靠边缘处设有用于抵压待贴膜工件92的压块46。通过所述压块46抵压待贴膜工件92，避免整面抵压可能对待贴膜工件92造成意外的损伤。

采用本实用新型实施例提供的贴光学膜压版工具在光罩表面幅光学膜90和铁片94的具体过程如下：

首先，将压版工具在净化室环境下擦拭干净，然后将基板1设有容纳槽12的一侧面朝上摆放好，再将光学膜90放置于容纳槽7中。

然后，将光罩的贴膜面朝下放置于弹性支撑件2上并将光罩的相邻两边对应紧靠定位柱，而实现定位。

接着，将铁片94置入压板4的凹坑400内由磁铁402吸住，并在铁片94外侧面涂抹胶水。

再然后，将压板4吸附有铁片94一侧面朝下使定位孔42对准定位柱下移，使定位孔42套住定位柱，当压板4下移至抵压住光罩时，则进一步克服弹性支撑件2的弹力而下压，使光罩抵压在光学膜90上表面，此时，静置预定时长（例如5分钟）后，即可移走压板4，而且在移走压板4时，稍微对光罩施力，即可使粘贴于光罩上的铁片从压板4上脱离下来，即可将贴好光学膜92和铁片94的光罩取出。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同范围限定。

Claims (9)

1.一种贴光学膜压版工具，包括用于放置光学膜的基板、设于所述基板上用于将待贴膜工件支撑悬置于光学膜上方的弹性支撑件、固定于基板上以定位待贴膜工件的定位组件以及用于对弹性支撑件承载的待贴膜工件施力以克服弹性支撑件的弹力而将待贴膜工件与光学膜压合的压板，其特征在于：所述压板的与待贴膜工件相抵接的一侧表面还在预定位置设有用于定位容纳铁片的铁片容纳组件。

2.根据权利要求1所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述铁片容纳组件包括自压板表面内凹形成的凹坑以及设置于凹坑内用于吸住铁片的磁铁，所述凹坑的形状与待贴合的铁片形状相匹配。

3.根据权利要求1所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述铁片容纳组件为由设置于压板表面的固定臂以及可沿压板表面相对于所述固定臂活动张合的弹性臂组合而成的夹具，所述铁片由所述固定臂与弹性臂配合而夹持住。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述定位组件为若干根自基板表面凸伸出来的定位柱，所述若干根定位柱分为两组排列，每一组的定位柱成直线排列且所述两组定位柱分别对应抵接待贴膜工件的相邻两侧边。

5.根据权利要求4所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述压板上设有供所述定位柱对应穿过而配合定位压板的定位孔。

6.根据权利要求4所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述基板上在承载光学膜区域的外侧还设有定位槽，而所述压板上对应设有与所述定位槽相适配的定位凸块。

7.根据权利要求1所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述基板的放置光学膜的一侧表面还设有用于容纳及定位所述光学膜的容纳槽。

8.根据权利要求1所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述弹性支撑件为由弹簧和销杆组合而成的弹性销杆，所述基板上对应开设有容纳所述弹性销杆的阶梯轴孔，所述销杆自所述阶梯轴孔的大径端插入且一端从阶梯轴孔的小径端的孔口伸出，所述销杆容纳于阶梯轴孔的大径端的部分具有外径大于所述阶梯轴孔的小径端内径的挡止部，所述阶梯轴孔的大径端孔口由盖片封闭，弹簧容纳于阶梯轴孔的大径端内部且两端分别抵于所述挡止部和盖片上。

9.根据权利要求1所述的贴光学膜压版工具，其特征在于：所述压板的与待贴膜工件相抵接的一侧表面还在对应于待贴膜工件的靠边缘处设有用于抵压待贴膜工件的压块。